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公开(公告)号:CN101887467B
公开(公告)日:2012-08-22
申请号:CN200910050941.5
申请日:2009-05-11
Applicant: 复旦大学
IPC: G06F17/50 , H01L21/321 , H01L21/768
Abstract: 本发明属半导体铜互连化学机械抛光工艺领域,具体涉及一种粗糙打磨垫化学机械抛光工艺模型的建立方法。该方法采用概率密度函数来表征打磨垫表面的高度特性,用自相关函数来表征打磨垫表面的横向特性,并采用谱展开方法和非线性变换方法生成符合给定概率密度特性的打磨垫粗糙表面。本发明方法不需要对打磨垫表面做任何的几何简化和近似,可以严格地表征打磨垫表面任意随机分布的几何特性,本方法利用接触力学方程精确求解打磨垫粗糙表面和芯片表面的接触问题,从而实现对整个化学机械抛光工艺的建模,可用于检测化学机械抛光工艺的结果。
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公开(公告)号:CN101964001B
公开(公告)日:2012-08-01
申请号:CN200910055196.3
申请日:2009-07-22
Applicant: 复旦大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 本发明属集成电路半导体制造技术领域,涉及一种化学机械抛光工艺的哑元填充方法。本发明将求解最小化哑元金属数目的哑元填充问题转化成一类特殊的覆盖线性规划CLP问题,然后根据CLP问题的特点,应用组合优化领域中一种完全多项式时间近似算法FPTAS来求解最小哑元填充问题。该方法既可以保证最终结果的ε最优性,又可以实现最终结果精度和计算速度的折中,解决了现有方法中存在的速度和精度不能兼顾的难题;该方法还可以在线性时间复杂度下,获得近似最少的哑元填充数目,可用于解决大规模版图哑元填充问题。
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公开(公告)号:CN102054090A
公开(公告)日:2011-05-11
申请号:CN201010511525.3
申请日:2010-10-19
Applicant: 复旦大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 本发明涉及一种统计静态时序分析方法。该方法基于改进的嵌套式稀疏网格积分法的自适应随机配置法MASCM来求解统计静态时序分析方法中的MAX逼近问题。在MASCM中,将MAX逼近按照输入端情况分为两类:线性输入条件和非线性输入条件。在线性输入条件下,MASCM选择具有最大均值的那个输入端作为MAX的输出。在非线性输入条件下,MASCM利用改进的嵌套式稀疏网格积分法来计算正交多项式展开系数。改进的嵌套式稀疏网格积分法提高了随机配置法中积分点的利用率,在保证积分精度的同时,减少了配置点的个数,降低了统计静态时序分析中的计算时间。本发明提出的MASCM方法具有与现有方法相当的计算精度,但所需要的积分点个数以及计算时间都大大降低。
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公开(公告)号:CN101887467A
公开(公告)日:2010-11-17
申请号:CN200910050941.5
申请日:2009-05-11
Applicant: 复旦大学
IPC: G06F17/50 , H01L21/321 , H01L21/768
Abstract: 本发明属半导体铜互连化学机械抛光工艺领域,具体涉及一种粗糙打磨垫化学机械抛光工艺模型的建立方法。该方法采用概率密度函数来表征打磨垫表面的高度特性,用自相关函数来表征打磨垫表面的横向特性,并采用谱展开方法和非线性变换方法生成符合给定概率密度特性的打磨垫粗糙表面。本发明方法不需要对打磨垫表面做任何的几何简化和近似,可以严格地表征打磨垫表面任意随机分布的几何特性,本方法利用接触力学方程精确求解打磨垫粗糙表面和芯片表面的接触问题,从而实现对整个化学机械抛光工艺的建模,可用于检测化学机械抛光工艺的结果。
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公开(公告)号:CN100383795C
公开(公告)日:2008-04-23
申请号:CN200410016238.X
申请日:2004-02-11
Applicant: 复旦大学
IPC: G06F17/50 , H01L27/04 , H03K19/177
Abstract: 本发明为一种新的可配置模拟单元(CAU)结构。它由编程可共享的电容阵列PSCA、模拟函数发生器AFG、高速模数/数模转换器ADC/DAC和方向选择器DS经电路连接构成。这种结构的CAU能实现大多数诸如增益放大、积分、滤波等线性以及一些非线性函数的功能。本发明具有实现功能多而灵活、占用芯片面积小的优点,可以适用于FPAA和FPMA的设计中。
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公开(公告)号:CN1831830A
公开(公告)日:2006-09-13
申请号:CN200610025692.0
申请日:2006-04-13
Applicant: 复旦大学
IPC: G06F17/50
CPC classification number: H04L41/12
Abstract: 本发明属于电子技术领域,具体为一种超大规模集成电路中的时钟分布电路的拓扑结构优化方法。该方法可以任何其他方法产生的拓扑关系作为输入,在时钟树构造过程中通过对其拓扑结构进行局部修正以优化费用。每次优化过程从时钟树的叶结点开始,对所有结点利用二叉树变换操作做出局部调整,向上进行到根结点后完成。优化过程迭代进行,直到费用不能再进一步减小为止。本发明方法通用性强,效率高,费用减小比率达6-10%,能够高效处理超大规模集成电路的时钟布线问题;另外,还具有良好的可扩展性,可与其他优化策略结合,力求获得最优解。
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公开(公告)号:CN1822008A
公开(公告)日:2006-08-23
申请号:CN200610025275.6
申请日:2006-03-30
Applicant: 复旦大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 本发明属于电子技术领域,具体为一种大规模集成电路中的时钟分布电路的拓扑结构优化方法。该方法可以任何其他方法产生的拓扑关系作为输入,在时钟树构造过程中通过对其拓扑结构进行局部修正以优化费用。每次优化过程从时钟树的叶结点开始,对所有结点利用二叉树变换操作做出局部调整,向上进行到根结点后完成。优化过程迭代进行,直到费用不能再进一步减小为止。本发明方法通用性强,效率高,费用减小比率达6-10%,能够高效处理超大规模集成电路的时钟布线问题;另外,还具有良好的可扩展性,可与其他优化策略结合,力求获得最优解。
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公开(公告)号:CN1555091A
公开(公告)日:2004-12-15
申请号:CN200310122897.7
申请日:2003-12-27
Applicant: 复旦大学
IPC: H01L21/70 , H01L23/48 , H01L23/535 , H01L27/04
Abstract: 本发明为一种基于传输线模型的树状互连电路模拟方法。它先对单根互连线进行模拟(STS),具体依次求出传输线的特征阻抗、输入端和输出端的电压反向系数、输入端的等效阻抗,再求得负载上的电压。即对于树状互连电路,以STS方法为基础,首先从末端分支开始,逐层向顶层进行阻抗等效,到达顶端后再逐层向末端进行电压等效,最终获得负载端电压,能精确模拟信号传输过程中的过冲、下冲和振荡等效应,最终得到全波形拟模结果。
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公开(公告)号:CN119026558A
公开(公告)日:2024-11-26
申请号:CN202310589361.3
申请日:2023-05-23
IPC: G06F30/394 , G06F30/398
Abstract: 本申请实施例提供了一种电路模型的降阶方法和相关设备。该方法包括:根据目标电路中的多个互连线,确定至少一个初始耦合电容矩阵、每个互连线的初始电阻矩阵和初始电容矩阵;根据每个互连线的初始电阻矩阵,确定每个互连线的投影矩阵;根据每个互连线的投影矩阵,对至少一个初始耦合电容矩阵、每个互连线的初始电阻矩阵和初始电容矩阵进行降阶,确定目标电路的降阶后的电路模型。该方法可以对目标电路的降阶前的电路模型中的每个互连线对应的块矩阵分别进行降阶,从而使得降阶前后的电路模型中的矩阵的结构可以保持不变,进而可以降低计算输出信号时的计算量,提高计算输出信号的效率,并且使得对电路模型进行降阶的效率更高。
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