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公开(公告)号：CN111668080A
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN202010363614.1
申请日：2020-04-30
Applicant: 北京师范大学 , 广东省广新离子束科技有限公司
IPC: H01J37/08
Abstract: 本发明公开一种金属离子源发射装置，包括密封连接的陶瓷筒、引出电极室和三个并排设置的阴极，触发电极固定在陶瓷绝缘电极上，阴极靶材固定在间接冷却通道上，限位电极固定在固定电极上，固定电极通过螺扣将间接冷却通道固定在阴极冷却管上，阴极冷却管固定在阴极法兰上，触发接线柱通过导线和触发电极相连；引出电极室中位于阴极正下方设置有引出电极和加速电极，加速电极和引出电极上均设置有引出缝隙。该金属离子源发射装置，能够在一个阳极的情况下，同时让3个阴极进行工作，增大了离子源的照射面积，提高了工作效率、能源利用率；发射源更加紧凑，处理面积更大。
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公开(公告)号：CN111534820A
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN202010541095.3
申请日：2020-06-15
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明属于涂层技术领域，特别涉及一种自支撑绝缘介质及其制备方法和应用。本发明提供的自支撑绝缘介质，包括绝缘基体和由绝缘基体向自支撑绝缘介质表面依次设置的硅接枝层、碳化硅层、氧化铝层和聚四氟乙烯层。在本发明中，绝缘基体保证自支撑绝缘介质具有较大的整体电阻；接枝层有利于保证无机膜层与绝缘基体之间具有优良的结合力；碳化硅层和氧化铝层同时作为聚四氟乙烯层的支撑层，且氧化铝层具备很好的绝缘特性，还有阻氧扩散的作用；聚四氟乙烯层具有降低自支撑绝缘介质摩擦系数和保证绝缘性的作用。实施例测试结果表明，本发明提供的自支撑绝缘介质的电阻≥108Ω，摩擦系数≤0.1，维氏硬度≥1000HV，结合强度≥80MPa。
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公开(公告)号：CN111485208A
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN202010198940.1
申请日：2020-03-20
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种气浮电机润滑涂层制备方法，包括以下步骤：S1：利用气体离子源对基体表面进行高低能交替清洗；S2：利用BN加热器在真空度1×10-2-1×10-3Pa下对清洗后的基体进行加温至第一预定温度，保温1-5h；S3：将温度降至第二预定温度，利用磁过滤沉积技术，同时在基体上施加高功率脉冲偏压复合直流偏压进行类石墨涂层的沉积；然后将温度升至第三预定温度；S4：利用激光器对所述类石墨涂层进行表面刻蚀。该方法沉积速率高，成本低，能实现批量化生产。采用该方法制备的类金刚石涂层为硬度和氢含量循环交替变化的类石墨层状碳结构；且具备高耐腐蚀性，高抗裂纹扩展特性，高抗磨能力，同时具有高导电性，并且膜层致密性好。
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公开(公告)号：CN109306449B
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：CN201811381462.7
申请日：2018-11-20
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种生物针灸表面处理技术及设备，包括针柄、针身和针尖，针身基于离子束技术制备了超薄、超高绝缘以及超硬的类金刚石涂层,类金刚石涂层的厚度为1‑6nm，在针身的类金刚石膜层上沉积三条宽2‑5μm测试通道线；针柄连接电针仪电极，测试通道线连接生物电流测试系统；外接电极电流从针尖定向导入作用于深层的病变部位，同时相关病变部位的生物电流反馈测试系统。本发明因采用了类金刚石超薄纳米涂层，配合电针仪以及生物电流测试系统使用时产生治疗和监控作用，不但可以大幅提高治疗效果，同时很好的监控医患的病变部位的生物特征。本发明适用于针灸针，定向导电针灸针绝缘层制备方法、生物电流测试方法及其通道线的制备工艺。
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公开(公告)号：CN108842133B
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN201810546801.6
申请日：2018-05-31
Applicant: 北京师范大学
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明公开了一种图形化静电卡盘的制备方法及设备，制备方法包括：选取超大尺寸(大于300mm)陶瓷片(AIN或Al2O3)作为基底，并印上图形化有机胶掩膜，利用离子束技术沉积具有高电阻率、高硬度、耐磨损性、抗离子冲蚀性的DLC膜层。沉积方法包括：采用高能金属真空蒸汽离子源(MEVVA)在基底注入金属元素形成梯度伪扩散层，接着采用90度超宽磁过滤金属阴极真空弧(FCVA)技术，沉积金属过渡层；在金属过渡层上，采用单T型磁过滤阴极真空弧(FCVA)沉积得到高sp2含量的DLC膜层；在所述高sp2含量DLC膜层上利用双T型磁过滤阴极真空弧(FCVA)沉积得到超硬DLC膜层；膜层的电阻可达到10‑50MΩ，硬度可达到80Gpa以上。通过实施本发明，能使静电卡盘具有优异的耐磨性和使用寿命。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108359942B
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN201810263024.4
申请日：2018-03-28
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种类金刚石涂层的制备方法，包括以下步骤：S1：利用气体离子源对基体表面进行高低能交替清洗；S2：以碳靶为阴极，利用磁过滤沉积技术在所述基体上进行类金刚石涂层的沉积；该方法沉积速率高，成本低，能实现大批量生产；S3：利用激光器对类金刚石涂层进行表面刻蚀，刻蚀间隔为2‑10微米；S4：利用气体离子源对图形化类金刚石膜进行表面处理。采用该方法制备的涂层为四面体非晶形碳高sp3和低sp3含量交替变化结构；该涂层具备高耐磨损性能，比含氢类金刚石、高sp3含量类金刚石以及低sp3含量类金刚石具备更高的抗裂纹生长能力以及抗摩擦磨损性能。
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公开(公告)号：CN110144562B
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201910548727.6
申请日：2019-06-24
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明涉及一种超厚吸能涂层的制备方法，包括：S01:对基体进行气体离子源清洗；S02：基体进行高功率脉冲金属离子清洗；S03：通入乙炔和氮气沉积CrAlNC；S04：关闭乙炔阀门，高功率脉冲磁控沉积ZrN；S05：关闭氮气通入乙炔沉积CrAlC；S06：循环沉积膜层直至膜层厚度大于20微米。本发明实施例提供的方法，通过气体离子源、高功率脉冲磁控、多弧离子镀技术相结合的方式，沉积的超厚涂层其内应力低、韧性、抗冲击及吸能特性性好。因其方法简单、易操作，且成本低、效率高，非常适合批量生产。
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公开(公告)号：CN110993886A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201911366423.4
申请日：2019-12-26
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明涉及一种锂电池集流体的制备装置，用于在聚合物表面制备集流体，包括：真空腔室上开设有第一法兰接口以及第二法兰接口；离子源模块设于第一法兰接口上；磁过滤模块设于第二法兰接口上；每个转轴均设于真空腔室中，每个转轴的形状均为中空圆环柱，每个转轴均与聚合物接触，每个转轴均用于传送聚合物通过真空腔室。本发明通过大幅降低集流体制备过程中对材料处理难度，在物体上覆盖沉积金属离子实现集流体的制备，大幅降低制成的集流体厚度，实现对6微米以下的集流体的制备，不需对铜箔进行压延处理，制备的集流体硬度与韧度均衡，所以不易撕裂、破损，由此，本发明制备的集流体可以批量生产，成品率高，在表面打孔时也不易破损。
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公开(公告)号：CN108531856B
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201810358042.0
申请日：2018-04-20
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种电极涂层的制备方法，包括以下步骤：1S：利用气体离子源对电极基体表面进行高低能交替清洗；2S：以碳靶为阴极，利用凯赛奥弧磁过滤沉积方法在所述电极基体上进行电极涂层的沉积。该方法沉积速率高，成本低，能实现大规模的卷对卷生产。采用该方法制备的电极涂层为四面体非晶形碳与含氢DLC的混合掺杂结构；该涂层具备高耐腐蚀性，比含氢DLC具备更高的耐温特性；同时具有高导电性，并且膜层致密性好。
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公开(公告)号：CN110923630A
公开(公告)日：2020-03-27
申请号：CN201911252427.X
申请日：2019-12-09
Applicant: 北京师范大学 , 稳力(广东)科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种超高速电机轴承表面处理方法，包括以下步骤：1)表面喷砂处理：对轴承进行干喷表面处理，处理后表面粗糙度Ra不大于0.5；2)高温下气体刻蚀：利用真空腔室对轴承进行进一步表面处理，真空腔室内温度为0-650℃；3)喷涂聚合物纳米颗粒涂层：对轴承基体表面喷涂纳米复合涂层；4)抛光处理；5)离子束沉积超硬超韧涂层：利用低能磁过滤沉积技术对轴承基体进行表面沉积，以TiSi靶为阴极材料，起弧电流为100-140A，沉积时通入乙炔和氮气，乙炔和氮气的比值大于4：1。本发明通过采用耦合气体离子源技术、离子注入技术、磁过滤沉积技术以及热喷涂技术对轴承进行表面处理，以提高超高速电机的起停次数等关键技术指标。
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