制造具有电阻尖端的半导体探针的方法

    公开(公告)号:CN1765011A

    公开(公告)日:2006-04-26

    申请号:CN200380110246.4

    申请日:2003-11-11

    CPC classification number: G01Q60/30 G01Q80/00 G11B9/1409

    Abstract: 提供了一种制造具有电阻尖端的半导体探针的方法。该方法包括:在掺杂第一杂质的基板上形成掩模层以及在未被掩模层覆盖的基板上形成用第二杂质重度掺杂的第一和第二半导体电极区,退火第一和第二半导体电极区,将第一和第二半导体电极区的第二参杂剂扩散到彼此面对的部分以在第一和第二半导体电极区的外边界形成用第二杂质轻度掺杂的电阻区,以预定的形状构图掩模层并蚀刻未被构图后的掩模层覆盖的基板的部分顶部表面来形成电阻尖端。

    制造具有电阻尖端的半导体探针的方法

    公开(公告)号:CN1755839A

    公开(公告)日:2006-04-05

    申请号:CN200510092308.4

    申请日:2005-08-26

    CPC classification number: G01Q70/10 G01Q70/16

    Abstract: 本发明涉及一种制造具有电阻尖端的半导体探针的方法。该方法包括:在硅基板上形成具有矩形形状的第一和第二掩模膜;第一次蚀刻硅基板的上表面;通过蚀刻第一掩模膜形成相应于尖端颈部宽度的第三掩模膜;通过利用第三掩模膜作为掩模第二次蚀刻硅基板形成尖端颈部的宽度到预定的宽度;且在去除第三掩模膜之后通过退火硅基板形成峰形成部分。可以制造具有均匀高度和尖端颈部具有均匀宽度的半导体探针。

    液晶排列材料的再生方法

    公开(公告)号:CN1214279C

    公开(公告)日:2005-08-10

    申请号:CN99127834.8

    申请日:1999-12-30

    CPC classification number: G02F1/133711

    Abstract: 本发明涉及液晶排列材料的再生方法,其中与LCD液晶加工中原始液晶排列材料等效的再生液晶排列层可通过收集排列材料的废溶液而再生,该废溶液是在使用液晶排列材料的LCD制造过程中大量产生的。通过将排列材料的废溶液放入一种有机溶剂或超纯水中而固化聚酰氨酸和可溶聚酰亚胺,液晶排列材料组分聚酰氨酸和可溶聚酰亚胺不溶于该有机溶剂或超纯水中,从有机溶剂或者超纯水分离聚酰氨酸和可溶聚酰亚胺,并将所分离的固体聚酰氨酸和可溶聚酰亚胺溶解在一种溶剂中而做到这一点。用此方法再生液晶排列层材料能大大有助于降低生产成本。

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