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公开(公告)号：CN116601500A
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202180085137.X
申请日：2021-12-17
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
IPC: G01P15/08
Abstract: 提供了一种微机电系统(MEMS)加速度计，包括：设置在由第一轴和垂直于第一轴的第二轴限定的平面中的基板；第一检验质量块和第二检验质量块，耦合到所述基板并且被配置为沿着垂直于所述第一轴和所述第二轴的第三轴在彼此相反的方向上平移；以及至少一个杆，将所述第一检验质量块耦合到所述第二检验质量块，其中所述MEMS加速度计被配置为经由检测所述第一和第二检验质量块沿着所述第三轴的平移来检测沿着所述第一轴和所述第二轴的加速度；并且所述MEMS加速度计表现出围绕所述第一轴和所述第二轴的对称性。
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公开(公告)号：CN114026437A
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN202080047393.5
申请日：2020-06-26
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
IPC: G01P15/125 , B81B3/00 , H01L29/84
Abstract: 公开具有多个锚固件的单轴摆动式加速度计。多个锚固件可围绕摆动式检测质量块的旋转轴布置。多个锚固件中的每个可以通过均沿着旋转轴延伸的两个扭转弹簧耦合到检测质量块。多个锚固件允许耦合到检测质量块的扭转弹簧的数量增加，并因此可实现检测质量块的更大的扭转刚度。由于较高的扭转刚度，公开的单轴摆动式加速度计可部署在需要增加扭转刚度的高频环境中，例如约20kHz及以上。
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公开(公告)号：CN112739642A
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：CN201980062199.1
申请日：2019-09-18
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
IPC: B81B3/00 , G01P15/18 , G01P15/13 , G01P15/125
Abstract: 三轴加速度计包括单集成质量块，包括至少一个横向(x‑y)质量块和至少一个垂直(z)质量块。垂直质量块被布置为跷跷板质量块，其位于横向质量块内。垂直质量块使用一个或多个扭转弹簧机械地耦合到横向质量块，并且横向质量块使用一个或多个横向弹簧机械地耦合到一个或多个锚。所述至少一个垂直质量块可以围绕三轴加速度计的一个或多个轴对称地定位，使得3‑轴加速度计具有面内对称性。三轴加速度计可能不太容易受到机械串扰或噪声的影响，并且可以提供较小的封装解决方案来感测三个方向的加速度。
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公开(公告)号：CN109387668A
公开(公告)日：2019-02-26
申请号：CN201810899768.5
申请日：2018-08-09
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
Inventor： 张欣
IPC: G01P15/08 , G01P15/125
Abstract: 本公开涉及集成线性和角度MEMS加速度计。描述机电系统(MEMS)加速度计。TMEMS加速度计可以被配置成沿一个、两个或三个轴感测线性加速度，并且围绕一个、两个或三个轴感测角度加速度。因此，MEMS加速度计可以用作2轴、3轴、4轴、5轴或6轴惯性加速度计。在一些实施方案中，MEMS加速度计可以包括通过多个系链连接到至少一个锚固件的单个质量块。在其他实施方案中，MEMS加速度计可以包括通过多个系链连接到至少一个锚固件的检验质量块和通过第二多个系链连接到检验质量块的一个或多个穿梭质量块。可以使用电容传感器来感测MEMS加速度计的旋转和线性运动。
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公开(公告)号：CN108450009A
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201680069861.2
申请日：2016-10-14
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
IPC: G01P15/097 , G01P15/18
CPC classification number: G01P15/097 , G01P15/18
Abstract: 多轴共振加速度计基于检测一个或多个静电驱动谐振器质量块在加速度下由于静电间隙变化而引起的共振频率变化。具体而言，一个或多个谐振器质量块被配置成在与不同灵敏度轴(例如，X、Y和/或Z轴)相关联的不同方向上同时共振。通过一个或多个静电耦合感测电极监测每个谐振器质量块的运动。沿着特定的灵敏度轴的加速度引起相应的谐振器质量块和与该灵敏度轴相关的感测电极之间的静电间隙的微小变化，并且这种静电间隙的变化表现为谐振器谐振频率的微小变化，从中可以产生加速度计输出信号。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102714773A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201080059337.X
申请日：2010-11-04
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
Inventor： 张欣
CPC classification number: H04R19/04 , H04R1/222 , H04R7/20 , H04R19/005 , H04R31/00 , H04R2201/34 , H04R2400/11 , H04R2499/11
Abstract: 一种MEMS传声器，具有：1)背板，背板有背板内表面和多个通孔；以及2)与背板间隔开的膜片。膜片与背板可移动地耦合以构成可变电容器。至少两个通孔(在背板内表面上)的内部立体形状具有多个凸部和多个凹部。
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公开(公告)号：CN118591880A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202380017673.5
申请日：2023-01-24
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
Abstract: 描述了包括微机电系统(MEMS)器件和多个专用集成电路(ASIC)的紧凑封装。这些封装足够小，适用于空间要求特别严格的环境，例如消费电子产品。这些封装涉及垂直管芯堆叠。第一ASIC可以被定位在管芯堆叠的一侧上，而另一ASIC可以被安置在管芯堆叠的另一侧上。包括MEMS器件(例如，加速度计、陀螺仪、开关、谐振器、光学器件)的管芯定位在ASIC之间。可选地，用作MEMS器件的盖基板的中介层也定位在ASIC之间。在一个示例中，本文所述类型的封装在平面轴上具有2mm×2mm的延伸，并且高度小于500‑800μm。
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公开(公告)号：CN112739642B
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN201980062199.1
申请日：2019-09-18
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
IPC: B81B3/00 , G01P15/18 , G01P15/13 , G01P15/125
Abstract: 三轴加速度计包括单集成质量块，包括至少一个横向(x‑y)质量块和至少一个垂直(z)质量块。垂直质量块被布置为跷跷板质量块，其位于横向质量块内。垂直质量块使用一个或多个扭转弹簧机械地耦合到横向质量块，并且横向质量块使用一个或多个横向弹簧机械地耦合到一个或多个锚。所述至少一个垂直质量块可以围绕三轴加速度计的一个或多个轴对称地定位，使得3‑轴加速度计具有面内对称性。三轴加速度计可能不太容易受到机械串扰或噪声的影响，并且可以提供较小的封装解决方案来感测三个方向的加速度。
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公开(公告)号：CN112703406B
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN201980059746.0
申请日：2019-09-11
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
IPC: G01P15/08 , G01P15/125 , B81B5/00
Abstract: 公开具有嵌入式可移动结构的Z‑轴跷跷板加速度计。跷跷板加速度计可以包括嵌入的质量，该嵌入的质量从跷跷板梁枢转或在平面外平移。可以将枢转的或平移的嵌入的质量定位以通过提供比跷跷板梁本身更大的z轴位移来增加z‑轴加速度计的灵敏度。
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公开(公告)号：CN117330041A
公开(公告)日：2024-01-02
申请号：CN202310539035.1
申请日：2023-05-15
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
IPC: G01C19/5684
Abstract: 本发明涉及具有完全对称性和可转动性的同步质量块陀螺仪。陀螺仪包括基板；检验质量块，所述检验质量块耦合到所述基板并且被配置为沿X轴的方向和在与所述第一轴正交的Y轴的方向移动,X轴梭子，用于响应于沿着作为驱动轴的Y轴驱动的检验质量块而选择性地沿着作为驱动轴的X轴驱动所述检验质量块，或者感测所述检验质量块沿着作为感测轴的X轴的移动；和Y轴梭子，用于响应于沿着作为驱动轴的Y轴驱动的检验质量块而选择性地沿着作为感测轴的Y轴感测所述检测质量块的移动，或者沿着作为驱动轴的Y轴驱动所述检测质量块。所述X轴梭子沿着与所述X轴和所述Y轴都成对角线的对角线轴与所述Y轴梭子对称。
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