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公开(公告)号:CN111504294B
公开(公告)日:2023-12-12
申请号:CN202010068499.5
申请日:2020-01-21
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
IPC: G01C19/5684 , G01C19/5691
Abstract: 本发明涉及伪扩展模式MEMS环陀螺仪。描述扩展模式静电微机电系统(MEMS)陀螺仪。MEMS陀螺仪以扩展模式操作。MEMS陀螺仪包括以扩展模式静电地激发的振动环结构。
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公开(公告)号:CN113358123B
公开(公告)日:2024-10-11
申请号:CN202110242871.4
申请日:2021-03-05
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
Abstract: 本公开涉及可信运动单元。提供用于自动驾驶车辆的导航系统和方法。该导航系统可以包括多个导航子系统,包括具有惯性测量单元(IMU)的子系统。该单元可以用作导航目的的主要单元,而其他导航子系统则被视为辅助单元。其他导航子系统可以包括全球定位系统(GPS)传感器和感知传感器。在一些实施方案中,导航系统可以包括用于IMU传感器的第一过滤器和用于其他导航子系统的单独的过滤器。
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公开(公告)号:CN116018498A
公开(公告)日:2023-04-25
申请号:CN202180052433.X
申请日:2021-08-24
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
IPC: G01C19/5705
Abstract: 根据一些方面,提供了一种微机电系统(MEMS)装置,其中MEMS器件的一个或多个部件相对于一个或更多个其他移动部件表现出衰减的运动。MEMS器件可以包括:基板;检测质量块,耦合到所述基板并且被配置为沿着共振器轴移动;和第一梭,耦合到所述检测质量块,并且包括驱动结构或感测结构中的一个,所述驱动结构被配置为沿着所述共振器轴驱动所述检测质量块,所述感测结构被配置为响应于所述检测质量块沿所述共振器轴的运动而沿基本上垂直于所述共振器轴的第二轴移动,其中所述检测质量块的至少第一部分的位移相对于所述第一梭和/或所述检测质量块的第二部分的位移被衰减。
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公开(公告)号:CN111504294A
公开(公告)日:2020-08-07
申请号:CN202010068499.5
申请日:2020-01-21
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
IPC: G01C19/5684 , G01C19/5691
Abstract: 本发明涉及伪扩展模式MEMS环陀螺仪。描述扩展模式静电微机电系统(MEMS)陀螺仪。MEMS陀螺仪以扩展模式操作。MEMS陀螺仪包括以扩展模式静电地激发的振动环结构。
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公开(公告)号:CN117330041A
公开(公告)日:2024-01-02
申请号:CN202310539035.1
申请日:2023-05-15
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
IPC: G01C19/5684
Abstract: 本发明涉及具有完全对称性和可转动性的同步质量块陀螺仪。陀螺仪包括基板;检验质量块,所述检验质量块耦合到所述基板并且被配置为沿X轴的方向和在与所述第一轴正交的Y轴的方向移动,X轴梭子,用于响应于沿着作为驱动轴的Y轴驱动的检验质量块而选择性地沿着作为驱动轴的X轴驱动所述检验质量块,或者感测所述检验质量块沿着作为感测轴的X轴的移动;和Y轴梭子,用于响应于沿着作为驱动轴的Y轴驱动的检验质量块而选择性地沿着作为感测轴的Y轴感测所述检测质量块的移动,或者沿着作为驱动轴的Y轴驱动所述检测质量块。所述X轴梭子沿着与所述X轴和所述Y轴都成对角线的对角线轴与所述Y轴梭子对称。
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公开(公告)号:CN113358123A
公开(公告)日:2021-09-07
申请号:CN202110242871.4
申请日:2021-03-05
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
Abstract: 本公开涉及可信运动单元。提供用于自动驾驶车辆的导航系统和方法。该导航系统可以包括多个导航子系统,包括具有惯性测量单元(IMU)的子系统。该单元可以用作导航目的的主要单元,而其他导航子系统则被视为辅助单元。其他导航子系统可以包括全球定位系统(GPS)传感器和感知传感器。在一些实施方案中,导航系统可以包括用于IMU传感器的第一过滤器和用于其他导航子系统的单独的过滤器。
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