-
公开(公告)号：CN118660860A
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN202380018452.X
申请日：2023-01-24
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
Abstract: 描述了微制造器件的封装，例如集成电路、微机电系统(MEMS)或传感器器件。在至少一些实施例中，该封装是3D异质封装。3D异质封装包括内插器。内插器包括应力释放平台。因此，源自封装的应力不会传播到被封装的器件。应力隔离平台是应力释放功能的一个示例。应力隔离平台包括内插器的一部分，该内插器经由应力隔离悬挂件耦合到内插器的其余部分。应力隔离悬挂件可以通过蚀刻穿过内插器的沟槽来形成。
-
公开(公告)号：CN106290984B
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201610225944.8
申请日：2016-04-13
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
Inventor： 张江龙
IPC: G01P15/125 , G01P15/08
Abstract: 本发明涉及具有偏侈补偿的Z‑轴加速度计。跷跷板型加速度计包括一个或多个平台，其被配置以随衬底和/或锚的变形按比例移动。平台可以处于相对于衬底的固定位置，例如通过固定地附着到锚上或通过固定地附着到衬底上，或者平台相对于衬底可以是可移动的，例如通过栓接到锚上以使得平台相对于锚枢轴转动。电极被放置于平台下层的衬底上，用于感应平台相对于下层衬底的位置。跷跷板检测质量块被配置为使得其能够相对于平台旋转，例如通过栓接到平台上或者通过栓接到与平台分离的一个或多个锚上。基于来自这些平台‑传感电极的信号对加速度计的输出进行调整，以减少或消除偏移误差。
-
公开(公告)号：CN115453145A
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202210591363.1
申请日：2022-05-27
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
IPC: G01P15/125
Abstract: 本公开涉及全差分加速度计。本文公开具有全差分感测设计的多质量块、多轴微机电系统(MEMS)加速度计传感器设备的方面，该设计将差分驱动信号应用于可移动的检测质量块并在耦合到基板的感测指处感测差分运动信号。在一些实施方案中，来自不同感测指的电容信号在设置在支撑检测质量块的基板上的感测信号节点处组合在一起。在一些实施方案中，可以提供分体式屏蔽件，其中在检测质量块下方的第一屏蔽件耦合施加到检测质量块的相同驱动信号，并且第二屏蔽件和在感测指下方提供的第一屏蔽件电隔离，并使用恒压偏置以提供和感测指的屏蔽。
-
公开(公告)号：CN106950398A
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201710009802.2
申请日：2017-01-06
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明涉及三轴角加速度计。本文描述了角加速度计以及采用这种加速度计的系统。角加速度计可以包括质量块和朝向质量块中心的旋转加速度检测梁。角加速度计可以具有对围绕三个正交轴的角加速度的感测能力。围绕三个轴之一的角加速度的感测区域比围绕其他两个轴的角加速度的感测区域在径向上可以更接近质量块中心。质量块可以通过一个或多个锚与基板连接。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106290984A
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201610225944.8
申请日：2016-04-13
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
Inventor： 张江龙
IPC: G01P15/125 , G01P15/08
CPC classification number: G01P15/125 , B81B2203/0181 , G01P2015/0831 , G01P15/0802
Abstract: 本发明涉及具有偏侈补偿的Z-轴加速度计。跷跷板型加速度计包括一个或多个平台，其被配置以随衬底和/或锚的变形按比例移动。平台可以处于相对于衬底的固定位置，例如通过固定地附着到锚上或通过固定地附着到衬底上，或者平台相对于衬底可以是可移动的，例如通过栓接到锚上以使得平台相对于锚枢轴转动。电极被放置于平台下层的衬底上，用于感应平台相对于下层衬底的位置。跷跷板检测质量块被配置为使得其能够相对于平台旋转，例如通过栓接到平台上或者通过栓接到与平台分离的一个或多个锚上。基于来自这些平台-传感电极的信号对加速度计的输出进行调整，以减少或消除偏移误差。
-
公开(公告)号：CN112739642A
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：CN201980062199.1
申请日：2019-09-18
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
IPC: B81B3/00 , G01P15/18 , G01P15/13 , G01P15/125
Abstract: 三轴加速度计包括单集成质量块，包括至少一个横向(x‑y)质量块和至少一个垂直(z)质量块。垂直质量块被布置为跷跷板质量块，其位于横向质量块内。垂直质量块使用一个或多个扭转弹簧机械地耦合到横向质量块，并且横向质量块使用一个或多个横向弹簧机械地耦合到一个或多个锚。所述至少一个垂直质量块可以围绕三轴加速度计的一个或多个轴对称地定位，使得3‑轴加速度计具有面内对称性。三轴加速度计可能不太容易受到机械串扰或噪声的影响，并且可以提供较小的封装解决方案来感测三个方向的加速度。
-
公开(公告)号：CN118591880A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202380017673.5
申请日：2023-01-24
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
Abstract: 描述了包括微机电系统(MEMS)器件和多个专用集成电路(ASIC)的紧凑封装。这些封装足够小，适用于空间要求特别严格的环境，例如消费电子产品。这些封装涉及垂直管芯堆叠。第一ASIC可以被定位在管芯堆叠的一侧上，而另一ASIC可以被安置在管芯堆叠的另一侧上。包括MEMS器件(例如，加速度计、陀螺仪、开关、谐振器、光学器件)的管芯定位在ASIC之间。可选地，用作MEMS器件的盖基板的中介层也定位在ASIC之间。在一个示例中，本文所述类型的封装在平面轴上具有2mm×2mm的延伸，并且高度小于500‑800μm。
-
公开(公告)号：CN112739642B
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN201980062199.1
申请日：2019-09-18
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
IPC: B81B3/00 , G01P15/18 , G01P15/13 , G01P15/125
Abstract: 三轴加速度计包括单集成质量块，包括至少一个横向(x‑y)质量块和至少一个垂直(z)质量块。垂直质量块被布置为跷跷板质量块，其位于横向质量块内。垂直质量块使用一个或多个扭转弹簧机械地耦合到横向质量块，并且横向质量块使用一个或多个横向弹簧机械地耦合到一个或多个锚。所述至少一个垂直质量块可以围绕三轴加速度计的一个或多个轴对称地定位，使得3‑轴加速度计具有面内对称性。三轴加速度计可能不太容易受到机械串扰或噪声的影响，并且可以提供较小的封装解决方案来感测三个方向的加速度。
-
公开(公告)号：CN106950398B
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN201710009802.2
申请日：2017-01-06
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明涉及三轴角加速度计。本文描述了角加速度计以及采用这种加速度计的系统。角加速度计可以包括质量块和朝向质量块中心的旋转加速度检测梁。角加速度计可以具有对围绕三个正交轴的角加速度的感测能力。围绕三个轴之一的角加速度的感测区域比围绕其他两个轴的角加速度的感测区域在径向上可以更接近质量块中心。质量块可以通过一个或多个锚与基板连接。
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
9
records
(took 0.028 seconds)
