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公开(公告)号：CN116601500A
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202180085137.X
申请日：2021-12-17
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
IPC: G01P15/08
Abstract: 提供了一种微机电系统(MEMS)加速度计，包括：设置在由第一轴和垂直于第一轴的第二轴限定的平面中的基板；第一检验质量块和第二检验质量块，耦合到所述基板并且被配置为沿着垂直于所述第一轴和所述第二轴的第三轴在彼此相反的方向上平移；以及至少一个杆，将所述第一检验质量块耦合到所述第二检验质量块，其中所述MEMS加速度计被配置为经由检测所述第一和第二检验质量块沿着所述第三轴的平移来检测沿着所述第一轴和所述第二轴的加速度；并且所述MEMS加速度计表现出围绕所述第一轴和所述第二轴的对称性。
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公开(公告)号：CN114026437A
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN202080047393.5
申请日：2020-06-26
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
IPC: G01P15/125 , B81B3/00 , H01L29/84
Abstract: 公开具有多个锚固件的单轴摆动式加速度计。多个锚固件可围绕摆动式检测质量块的旋转轴布置。多个锚固件中的每个可以通过均沿着旋转轴延伸的两个扭转弹簧耦合到检测质量块。多个锚固件允许耦合到检测质量块的扭转弹簧的数量增加，并因此可实现检测质量块的更大的扭转刚度。由于较高的扭转刚度，公开的单轴摆动式加速度计可部署在需要增加扭转刚度的高频环境中，例如约20kHz及以上。
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公开(公告)号：CN112739642A
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：CN201980062199.1
申请日：2019-09-18
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
IPC: B81B3/00 , G01P15/18 , G01P15/13 , G01P15/125
Abstract: 三轴加速度计包括单集成质量块，包括至少一个横向(x‑y)质量块和至少一个垂直(z)质量块。垂直质量块被布置为跷跷板质量块，其位于横向质量块内。垂直质量块使用一个或多个扭转弹簧机械地耦合到横向质量块，并且横向质量块使用一个或多个横向弹簧机械地耦合到一个或多个锚。所述至少一个垂直质量块可以围绕三轴加速度计的一个或多个轴对称地定位，使得3‑轴加速度计具有面内对称性。三轴加速度计可能不太容易受到机械串扰或噪声的影响，并且可以提供较小的封装解决方案来感测三个方向的加速度。
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公开(公告)号：CN109387668A
公开(公告)日：2019-02-26
申请号：CN201810899768.5
申请日：2018-08-09
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
Inventor： 张欣
IPC: G01P15/08 , G01P15/125
Abstract: 本公开涉及集成线性和角度MEMS加速度计。描述机电系统(MEMS)加速度计。TMEMS加速度计可以被配置成沿一个、两个或三个轴感测线性加速度，并且围绕一个、两个或三个轴感测角度加速度。因此，MEMS加速度计可以用作2轴、3轴、4轴、5轴或6轴惯性加速度计。在一些实施方案中，MEMS加速度计可以包括通过多个系链连接到至少一个锚固件的单个质量块。在其他实施方案中，MEMS加速度计可以包括通过多个系链连接到至少一个锚固件的检验质量块和通过第二多个系链连接到检验质量块的一个或多个穿梭质量块。可以使用电容传感器来感测MEMS加速度计的旋转和线性运动。
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公开(公告)号：CN108450009A
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201680069861.2
申请日：2016-10-14
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
IPC: G01P15/097 , G01P15/18
CPC classification number: G01P15/097 , G01P15/18
Abstract: 多轴共振加速度计基于检测一个或多个静电驱动谐振器质量块在加速度下由于静电间隙变化而引起的共振频率变化。具体而言，一个或多个谐振器质量块被配置成在与不同灵敏度轴(例如，X、Y和/或Z轴)相关联的不同方向上同时共振。通过一个或多个静电耦合感测电极监测每个谐振器质量块的运动。沿着特定的灵敏度轴的加速度引起相应的谐振器质量块和与该灵敏度轴相关的感测电极之间的静电间隙的微小变化，并且这种静电间隙的变化表现为谐振器谐振频率的微小变化，从中可以产生加速度计输出信号。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102714773A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201080059337.X
申请日：2010-11-04
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
Inventor： 张欣
CPC classification number: H04R19/04 , H04R1/222 , H04R7/20 , H04R19/005 , H04R31/00 , H04R2201/34 , H04R2400/11 , H04R2499/11
Abstract: 一种MEMS传声器，具有：1)背板，背板有背板内表面和多个通孔；以及2)与背板间隔开的膜片。膜片与背板可移动地耦合以构成可变电容器。至少两个通孔(在背板内表面上)的内部立体形状具有多个凸部和多个凹部。
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公开(公告)号：CN114026437B
公开(公告)日：2024-12-31
申请号：CN202080047393.5
申请日：2020-06-26
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
IPC: G01P15/125 , B81B3/00 , H01L29/84
Abstract: 公开具有多个锚固件的单轴摆动式加速度计。多个锚固件可围绕摆动式检测质量块的旋转轴布置。多个锚固件中的每个可以通过均沿着旋转轴延伸的两个扭转弹簧耦合到检测质量块。多个锚固件允许耦合到检测质量块的扭转弹簧的数量增加，并因此可实现检测质量块的更大的扭转刚度。由于较高的扭转刚度，公开的单轴摆动式加速度计可部署在需要增加扭转刚度的高频环境中，例如约20kHz及以上。
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公开(公告)号：CN115453145A
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202210591363.1
申请日：2022-05-27
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
IPC: G01P15/125
Abstract: 本公开涉及全差分加速度计。本文公开具有全差分感测设计的多质量块、多轴微机电系统(MEMS)加速度计传感器设备的方面，该设计将差分驱动信号应用于可移动的检测质量块并在耦合到基板的感测指处感测差分运动信号。在一些实施方案中，来自不同感测指的电容信号在设置在支撑检测质量块的基板上的感测信号节点处组合在一起。在一些实施方案中，可以提供分体式屏蔽件，其中在检测质量块下方的第一屏蔽件耦合施加到检测质量块的相同驱动信号，并且第二屏蔽件和在感测指下方提供的第一屏蔽件电隔离，并使用恒压偏置以提供和感测指的屏蔽。
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公开(公告)号：CN107110887B
公开(公告)日：2020-04-14
申请号：CN201580054004.0
申请日：2015-09-28
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
Inventor： 张欣
IPC: G01P15/125
Abstract: 在一些示例性实施方案中，MEMS加速度计包括器件晶片，具有检测质量和附接至基材的多个跟踪锚点。各跟踪锚被构造为：对应于所述基材中的不对称变形偏转，和将对应于所述偏转产生的机械力转移，以使所述检测质量沿着变形方向倾斜。
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公开(公告)号：CN107110887A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201580054004.0
申请日：2015-09-28
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
Inventor： 张欣
IPC: G01P15/125
Abstract: 在一些示例性实施方案中，MEMS加速度计包括器件晶片，具有检测质量和附接至基材的多个跟踪锚点。各跟踪锚被构造为：对应于所述基材中的不对称变形偏转，和将对应于所述偏转产生的机械力转移，以使所述检测质量沿着变形方向倾斜。
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