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公开(公告)号：CN118463958A
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202410915692.6
申请日：2024-07-09
Applicant: 中国人民解放军国防科技大学
IPC: G01C19/5684 , G01C19/5783
Abstract: 本发明公开了一种三轴集成式熔融石英微机电陀螺仪及其制备方法，该三轴集成式熔融石英微机电陀螺仪包括基体，所述基体上具有若干表面；所述基体上至少三个表面分别设有角速率敏感结构，且任意两个所述角速率敏感结构所在的表面互不平行；所述角速率敏感结构基于科里奥利效应和电磁感应原理敏感角速率。本发明应用于微机电系统惯性传感器设计和加工技术领域，利用熔融石英具有极小的热弹性阻尼以及较低的热膨胀系数的特性，在单个熔融石英基体表面制作三个及以上角速率敏感结构，并采用电磁驱动和电磁检测方案，从而大幅提升三轴集成式微机电陀螺的集成度、性能精度和环境适应性。
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公开(公告)号：CN110998231B
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN201880049876.1
申请日：2018-06-07
Applicant: HRL实验室有限责任公司
IPC: G01C19/5684
Abstract: 一种谐振器包括：锚件；位于谐振器的外周界上的外加劲环；以及位于锚件与外加劲环之间的多个弯曲弹簧。
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公开(公告)号：CN110967001B
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN201911303089.8
申请日：2019-12-17
Applicant: 重庆邮电大学
IPC: G01C19/5684
Abstract: 本发明请求保护一种腔光机械振动陀螺，属于谐振式光学陀螺技术和微光机电技术领域。基于环形微腔结合哥氏振动原理实现的新型腔光机械哥氏振动微陀螺，其驱动与检测将完全不同于现有的电或磁的常规方式，本发明在传统哥氏振动陀螺敏感角速率结构原理基础上，运用腔光机械技术实现振动陀螺的驱动检测与传感全光化，在根本上抑制在电或磁驱动下引入的各项噪声性质(包括热噪声、交叉干扰、连接点噪声和正交误差等)，并在微腔光机械效应下通过频率移动与光振幅的线性关系获取位移(振动)传感信息，从而在机械学和光学交叉领域完整和系统地研究一种新型陀螺，使其具备高灵敏度、高带宽、高动态范围和高稳定性等性能特征。
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公开(公告)号：CN111051814B
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN201880055973.1
申请日：2018-08-13
Applicant: HRL实验室有限责任公司
IPC: G01C19/5684 , G01M7/02
Abstract: 一种谐振结构，该谐振结构包括至少两个同轴环，其中，相邻的同轴环具有相邻的周边，并且通过沿着所述相邻周边规则布置的多个连接结构附接在一起；并且其中，第一环具有：第一环部，该第一环部具有第一径向厚度；和第二环部，该第二环部在第一连接结构附近，具有小于所述第一径向厚度的第二径向厚度。
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公开(公告)号：CN116124111A
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202310390819.2
申请日：2023-04-13
Applicant: 中国人民解放军国防科技大学
IPC: G01C19/5684 , G01C25/00 , C03C17/40 , C03C15/00
Abstract: 本发明公开了一种电磁式熔融石英环形微陀螺仪及其制备方法，陀螺仪包括环形谐振器、永磁体、导磁部件和基底；环形谐振器的中心设有谐振环，谐振环套设在永磁体上；导磁部件为两个，一个覆盖在永磁体的第一端，另一个覆盖在永磁体的第二端且嵌入基底。本发明应用于微机电系统和惯性制导领域，采用电磁驱动和电磁检测方案，避免了传统电容式微陀螺仪高过载条件下敏感结构与电极的吸合效应，有效提升了陀螺仪的抗高过载能力。同时利用熔融石英材料具有极小的热弹性阻尼、较低的热膨胀系数以及较大的弹性极限的特点，相比传统单晶硅材料大幅提升陀螺仪的品质因数以及陀螺仪的性能精度，且可实现批量化生产，具有较大应用前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115917249A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202180042629.0
申请日：2021-06-24
Applicant: 住友精密工业株式会社
IPC: G01C19/5684
Abstract: 振动型陀螺元件(100)包括固定部(10)、具有cosNθ(N为2以上的自然数)的振动模式的振子(20)、支承部(30)及电极(40)。电极(40)分别布置于在振子(20)的外周方向上排列的4N个方位。多个电极(40)包括初级驱动电极(PD)和次级检测电极(SPO)。在将初级驱动电极(PD)布置在与次级检测电极(SPO)的顺时针侧相邻的方位的这一布置状态的数量设为S1，将初级驱动电极(PD)布置在与次级检测电极(SPO)的逆时针侧相邻的方位的这一布置状态的数量设为S2，将不与初级驱动电极(PD)相邻的次级检测电极(SPO)的个数设为U时，满足U≥1或(S1+S2)－2≥|S1－S2|的关系。
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公开(公告)号：CN111412907B
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN201911396748.7
申请日：2019-12-30
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01C19/5684 , G01C19/5776 , G05B11/42
Abstract: 本发明公开了一种微机电多环陀螺的全角测控电路系统，包括：陀螺前置放大电路、ADC模块、解调模块、参数计算模块、PI控制器模块、坐标转换模块、调制模块、DAC模块和调谐模块；所述前置放大电路模块与微机电多环陀螺的驱动、检测电极相连；所述ADC模块与前置放大电路相连；所述解调模块与ADC模块相连；所述参数计算器模块与调谐模块相连；所述PI控制器模块与参数计算模块相连；所述坐标转换模块与PI控制器模块相连；所述调制模块与坐标转换模块相连；所述DAC模块与调制模块相连；所述前置放大电路与DAC模块相连；所述数字控制振荡器模块与PI控制器相连；所述调谐模块与调谐电极相连；本发明可以实现微机电多环陀螺的全角检测与控制。
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公开(公告)号：CN114754794A
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202210309592.X
申请日：2022-03-26
Applicant: 江西陆航精密制造有限公司
IPC: G01C25/00 , G01C19/5684 , B25H1/06 , B25H1/10 , B25H1/12
Abstract: 本发明涉及陀螺仪技术领域，具体是一种微机电陀螺仪测试装置，包括陀螺仪测试底架，所述陀螺仪测试底架的内壁一侧设置第一伺服电机，且第一伺服电机的输出轴端连接有右隔板，所述右隔板的一侧关于其横向中心线对称设置有第一外架和第二外架，所述第一外架和第二外架的一侧设置有左隔板，所述左隔板外壁上设置有第一转轴，且第一转轴与陀螺仪测试底架上开设的通孔转动连接，所述第二外架的一侧安装有第二伺服电机，该装置通过下转轴带动第一T形夹板和第二T形夹板两侧的滑件在滑轨架内进行移动，这样放置到放置台内的陀螺仪能够便捷的被挤压固定，然后对陀螺仪进行检查，从而通过上述方式能够对不同大小的陀螺仪进行便捷的检测固定。
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公开(公告)号：CN108955663B
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN201710366979.8
申请日：2017-05-23
Applicant: 北京大学
IPC: G01C19/5684
Abstract: 本发明涉及一种谐振式双轴微机械轮式陀螺，其特征在于：它包括衬底，锚点，中心轴，驱动折叠梁，内环框架，外环框架，检测X轴扭转梁，检测Y轴扭转梁，检测质量块，检测电容、驱动梳齿电容及驱动反馈梳齿电容。内环框架内通过驱动折叠梁与中心轴相连，内环框架外通过检测X轴扭转梁与外环框架相连，外环框架外通过检测Y轴扭转梁与检测质量块相连。内环框架的内测和外侧分别连接驱动反馈梳齿电容的可动电极和驱动梳齿电容的可动电极。各梳齿电容的固定电极连接在衬底上，检测电容的可动电极连接在检测质量块上，固定电极连接在衬底上。本发明工艺过程简单，可用于实现单质量块双轴陀螺，并可以实现大批量生产。
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公开(公告)号：CN113029121A
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN202110264305.3
申请日：2021-03-11
Applicant: 瑞声科技(南京)有限公司 , 深圳导远科技有限公司
IPC: G01C19/5684
Abstract: 本发明提供了一种MEMS陀螺仪，包括换能器、锚点结构、谐振环和设置于所述谐振环与所述锚点结构之间的若干质量块，所述锚点结构与所述质量块之间通过弹性组件相连接，所述弹性组件能够提供所述质量块沿所述谐振环径向方向的回复力，所述质量块与所述谐振环之间通过第一弹性件相连接，所述第一弹性件能够提供所述谐振环沿所述谐振环周向方向的回复力，使所述谐振环与所述质量块间只发生沿周向方向的相对位移；所述质量块关于所述MEMS陀螺仪的中心呈圆周分布，且所述质量块关于所述中心旋转对称，所述质量块的个数为8的整数倍；所述换能器关于所述中心呈圆周分布，且所述换能器关于所述中心旋转对称，所述换能器的个数为8的整数倍。本发明的MEMS陀螺仪具有更高的机电耦合水平、抗干扰能力以及灵敏度。
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