公开(公告)号：CN108450009A

公开(公告)日：2018-08-24

申请号：CN201680069861.2

申请日：2016-10-14

Applicant: 美国亚德诺半导体公司

Inventor： 张欣 ,  M·W·朱蒂 ,  M·莫迪

IPC: G01P15/097 ,  G01P15/18

CPC classification number: G01P15/097 ,  G01P15/18

Abstract: 多轴共振加速度计基于检测一个或多个静电驱动谐振器质量块在加速度下由于静电间隙变化而引起的共振频率变化。具体而言，一个或多个谐振器质量块被配置成在与不同灵敏度轴(例如，X、Y和/或Z轴)相关联的不同方向上同时共振。通过一个或多个静电耦合感测电极监测每个谐振器质量块的运动。沿着特定的灵敏度轴的加速度引起相应的谐振器质量块和与该灵敏度轴相关的感测电极之间的静电间隙的微小变化，并且这种静电间隙的变化表现为谐振器谐振频率的微小变化，从中可以产生加速度计输出信号。

公开(公告)号：CN113985068A

公开(公告)日：2022-01-28

申请号：CN202111302809.6

申请日：2016-10-14

Applicant: 美国亚德诺半导体公司

Inventor： 张欣 ,  M·W·朱蒂 ,  M·莫迪

IPC: G01P15/097 ,  G01P15/18

Abstract: 本发明涉及多轴共振加速度计。多轴共振加速度计基于检测一个或多个静电驱动谐振器质量块在加速度下由于静电间隙变化而引起的共振频率变化。具体而言，一个或多个谐振器质量块被配置成在与不同灵敏度轴(例如，X、Y和/或Z轴)相关联的不同方向上同时共振。通过一个或多个静电耦合感测电极监测每个谐振器质量块的运动。沿着特定的灵敏度轴的加速度引起相应的谐振器质量块和与该灵敏度轴相关的感测电极之间的静电间隙的微小变化，并且这种静电间隙的变化表现为谐振器谐振频率的微小变化，从中可以产生加速度计输出信号。

公开(公告)号：CN108450009B

公开(公告)日：2021-11-19

申请号：CN201680069861.2

申请日：2016-10-14

Applicant: 美国亚德诺半导体公司

Inventor： 张欣 ,  M·W·朱蒂 ,  M·莫迪

IPC: G01P15/097 ,  G01P15/18

Abstract: 多轴共振加速度计基于检测一个或多个静电驱动谐振器质量块在加速度下由于静电间隙变化而引起的共振频率变化。具体而言，一个或多个谐振器质量块被配置成在与不同灵敏度轴(例如，X、Y和/或Z轴)相关联的不同方向上同时共振。通过一个或多个静电耦合感测电极监测每个谐振器质量块的运动。沿着特定的灵敏度轴的加速度引起相应的谐振器质量块和与该灵敏度轴相关的感测电极之间的静电间隙的微小变化，并且这种静电间隙的变化表现为谐振器谐振频率的微小变化，从中可以产生加速度计输出信号。