公开(公告)号：CN113758477B

公开(公告)日：2024-04-02

申请号：CN202110622709.5

申请日：2021-06-04

Applicant: 美国亚德诺半导体公司

Inventor： J·A·格雷戈里 ,  C·布莱克莫尔 ,  T·A·杜恩 ,  E·O·黄 ,  邝锦波 ,  贾克妙 ,  L·C·波帕 ,  I·P·普里霍德科 ,  E·塔塔尔

IPC: G01C19/5747

Abstract: 本文涉及具有旋转振动抑制的3轴陀螺仪。描述了平衡不期望的线性和角振动的柱状多轴微机电系统(MEMS)装置(例如陀螺仪)。在一些实施方案中，柱状MEMS装置可包括至少两个多质量柱，每个柱具有至少三个检测质量块并且被配置为感测绕相应轴的旋转。检测质量块的运动和质量可以被控制以实现MEMS装置的线性和旋转平衡。柱状MEMS装置还可包括一个或多个模块化驱动结构，其与每个多质量柱并排布置，以促进相应柱的检测质量块的移位。本文描述的MEMS装置可以用于感测横滚、航向和俯仰角速率。

公开(公告)号：CN113758477A

公开(公告)日：2021-12-07

申请号：CN202110622709.5

申请日：2021-06-04

Applicant: 美国亚德诺半导体公司

Inventor： J·A·格雷戈里 ,  C·布莱克莫尔 ,  T·A·杜恩 ,  E·O·黄 ,  邝锦波 ,  贾克妙 ,  L·C·波帕 ,  I·P·普里霍德科 ,  E·塔塔尔

IPC: G01C19/5747

Abstract: 本文涉及具有旋转振动抑制的3轴陀螺仪。描述了平衡不期望的线性和角振动的柱状多轴微机电系统(MEMS)装置(例如陀螺仪)。在一些实施方案中，柱状MEMS装置可包括至少两个多质量柱，每个柱具有至少三个检测质量块并且被配置为感测绕相应轴的旋转。检测质量块的运动和质量可以被控制以实现MEMS装置的线性和旋转平衡。柱状MEMS装置还可包括一个或多个模块化驱动结构，其与每个多质量柱并排布置，以促进相应柱的检测质量块的移位。本文描述的MEMS装置可以用于感测横滚、航向和俯仰角速率。

公开(公告)号：CN118209092A

公开(公告)日：2024-06-18

申请号：CN202410333044.X

申请日：2021-06-04

Applicant: 美国亚德诺半导体公司

Inventor： J·A·格雷戈里 ,  C·布莱克莫尔 ,  T·A·杜恩 ,  E·O·黄 ,  邝锦波 ,  贾克妙 ,  L·C·波帕 ,  I·P·普里霍德科 ,  E·塔塔尔

IPC: G01C19/5747

Abstract: 本文涉及具有旋转振动抑制的3轴陀螺仪。描述了平衡不期望的线性和角振动的柱状多轴微机电系统(MEMS)装置(例如陀螺仪)。在一些实施方案中，柱状MEMS装置可包括至少两个多质量柱，每个柱具有至少三个检测质量块并且被配置为感测绕相应轴的旋转。检测质量块的运动和质量可以被控制以实现MEMS装置的线性和旋转平衡。柱状MEMS装置还可包括一个或多个模块化驱动结构，其与每个多质量柱并排布置，以促进相应柱的检测质量块的移位。本文描述的MEMS装置可以用于感测横滚、航向和俯仰角速率。

公开(公告)号：CN116601500A

公开(公告)日：2023-08-15

申请号：CN202180085137.X

申请日：2021-12-17

Applicant: 美国亚德诺半导体公司

Inventor： 贾克妙 ,  张欣 ,  M·朱蒂

IPC: G01P15/08

Abstract: 提供了一种微机电系统(MEMS)加速度计，包括：设置在由第一轴和垂直于第一轴的第二轴限定的平面中的基板；第一检验质量块和第二检验质量块，耦合到所述基板并且被配置为沿着垂直于所述第一轴和所述第二轴的第三轴在彼此相反的方向上平移；以及至少一个杆，将所述第一检验质量块耦合到所述第二检验质量块，其中所述MEMS加速度计被配置为经由检测所述第一和第二检验质量块沿着所述第三轴的平移来检测沿着所述第一轴和所述第二轴的加速度；并且所述MEMS加速度计表现出围绕所述第一轴和所述第二轴的对称性。