用于制备铜布线聚酰亚胺膜的方法和铜布线聚酰亚胺膜

    公开(公告)号:CN101449633B

    公开(公告)日:2011-10-26

    申请号:CN200780018779.8

    申请日:2007-03-23

    Abstract: 本发明提供了一种高直线性和非常小间距的铜布线聚酰亚胺膜。所述铜布线聚酰亚胺膜是由一种通过使用具有载体的铜箔层压聚酰亚胺膜(1),由半添加法制备具有间距为20至45μm的铜布线部分的铜布线聚酰亚胺膜的方法所制备的。所述制备方法包括:(a)提供铜箔层压膜的步骤,所述铜箔层压膜包含在聚酰亚胺膜(2)的表面上的铜箔(4b),所述铜箔(4b)具有不大于1.0μm的膜-侧表面粗糙度Rz,并且具有在0.5至2μm的范围内的厚度,(b)形成镀敷抗蚀剂图案层(17)的步骤,其中可以在所述铜箔的表面上形成间距为20至45μm的布线图案,(c)在从抗蚀剂暴露的铜箔部分上进行镀铜(10)的步骤,(d)去除的镀敷抗蚀剂的步骤,和(e)去除暴露在去除所述镀敷抗蚀剂的部分上暴露的所述铜箔以暴露聚酰亚胺膜(8)的步骤。

    用于制备铜布线聚酰亚胺膜的方法和铜布线聚酰亚胺膜

    公开(公告)号:CN101449633A

    公开(公告)日:2009-06-03

    申请号:CN200780018779.8

    申请日:2007-03-23

    Abstract: 本发明提供了一种高直线性和非常小-间距的酮布线聚酰亚胺膜。所述铜布线聚酰亚胺膜是由一种通过使用具有载体的铜箔层压聚酰亚胺膜(1),由半添加法制备具有间距为20至45μm的铜布线部分的铜布线聚酰亚胺膜的方法所制备的。所述制备方法包括:(a)提供铜箔层压膜的步骤,所述铜箔层压膜包含在聚酰亚胺膜(2)的表面上的铜箔(4b),所述铜箔(4b)具有不大于1.0μm的膜-侧表面粗糙度Rz,并且具有在0.5至2μm的范围内的厚度,(b)形成镀敷抗蚀剂图案层(17)的步骤,其中可以在所述铜箔的表面上形成间距为20至45μm的布线图案,(c)在从抗蚀剂暴露的铜箔部分上进行镀铜(10)的步骤,(d)去除的镀敷抗蚀剂的步骤,和(e)去除暴露在去除所述镀敷抗蚀剂的部分上暴露的所述铜箔以暴露聚酰亚胺膜(8)的步骤。

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