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公开(公告)号：CN119893815A
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202510095167.9
申请日：2025-01-21
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种高速定向分子流发生装置及其应用，该装置包括供气系统、离子源、栅极组件、中性化孔板及带电粒子吞食器；所述供气系统通过管道与所述离子源的进气端连通，为所述离子源提供中性气体；所述离子源用于将所述中性气体电离为等离子体，所述离子源的出气端依次串接所述栅极组件、所述中性化孔板、所述带电粒子吞食器；所述栅极组件用于引出离子、加速离子、聚焦离子；所述中性化孔板接地，用于使经过的离子束流发生俄歇过程，将离子转化为中性分子；所述带电粒子吞食器用于吸收未被转换的离子和漂移电子。本发明，复杂度较低，产生的高速定向分子流具有良好的准直度，为空间真空测量仪器的开发与地面校准提供了重要实验基础。
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公开(公告)号：CN119641209A
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202411697253.9
申请日：2024-11-26
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本申请提供了一种基于轨道支撑的真空装置门结构组件，门结构组件包括：封头大门，封头大门包括封头和封头边缘固定连接的法兰；门支撑架，门支撑架与封头大门通过连接组件和第一调整组件连接，连接组件实现门支撑架对封头大门的支撑，连接组件和第一调整组件共同实现封头大门与门支撑架间的第一相对倾斜调整；门调整单元，门调整单元实现门支撑架和轨道车间的第二相对倾斜调整；轨道车，轨道车与门调整单元连接，且轨道车远离门调整单元一侧设置有滑动组件，能够实现门结构组件沿垂直于封头大门水平轴线方向滑动。当地基发生沉降，上述组件可以通过第一调整组件和第二调整组件进行调整，使得真空腔体和封头大门位置恢复。
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公开(公告)号：CN116398421B
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202310603958.9
申请日：2023-05-26
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种高真空泵抽速测试装置及其使用方法，高真空泵抽速测试装置包括进气管路、测试管路和对比管路，测试管路包括顺序连接的第三阀门、第一测试罩、待测高真空泵、第一前级泵，第一测试罩还连接有第二真空计；对比管路包括顺序连接的第四阀门、第二测试罩、标准流导元件、流导抽气机组，第二测试罩还连接有第三真空计；第一测试罩通过第一阀门、第二阀门与第二测试罩连接，第一阀门与第二阀门之间连接有第一真空计；第一测试罩与第二测试罩为相同的真空容器。本发明，克服了传统测量抽速等效氮气的不足，提高测试精度，减小测量不确定度，提高测试效率，降低测试成本，避免校准真空计和给出等效氮气抽速的结果。
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公开(公告)号：CN116398421A
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN202310603958.9
申请日：2023-05-26
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种高真空泵抽速测试装置及其使用方法，高真空泵抽速测试装置包括进气管路、测试管路和对比管路，测试管路包括顺序连接的第三阀门、第一测试罩、待测高真空泵、第一前级泵，第一测试罩还连接有第二真空计；对比管路包括顺序连接的第四阀门、第二测试罩、标准流导元件、流导抽气机组，第二测试罩还连接有第三真空计；第一测试罩通过第一阀门、第二阀门与第二测试罩连接，第一阀门与第二阀门之间连接有第一真空计；第一测试罩与第二测试罩为相同的真空容器。本发明，克服了传统测量抽速等效氮气的不足，提高测试精度，减小测量不确定度，提高测试效率，降低测试成本，避免校准真空计和给出等效氮气抽速的结果。
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公开(公告)号：CN116046245A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202310017768.9
申请日：2023-01-06
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种密封真空电子器件内部压力的测量装置及方法，所述装置包括：取样腔，所述取样腔内设置有样品夹具；标准体积室，与所述取样腔通过管路连接；穿刺机构，设置于所述取样腔上；真空计，与所述取样腔通过管路连接；分子泵组，与所述取样腔通过管路连接；充气装置，与所述取样腔通过管路连接。本发明可有效提高测量密封真空电子器件内部压力的精确度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112304804A
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN202011169846.X
申请日：2020-10-28
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01N7/14
Abstract: 本发明公开了一种材料放气率测试系统及其测试方法，包含第一真空室、第二真空室、第三真空室、第一小孔元件、第二小孔元件、第一真空计、第二真空计、第三真空计、机械泵、第一分子泵、第二分子泵、第一真空阀门、第二真空阀门、第三真空阀门、第四真空阀门、第五真空阀门、第六真空阀门，第七真空阀门、第八真空阀门、第九真空阀门、第十真空阀门、第十一真空阀门、一个气体流量控制器、一个减压阀门、离子泵、一个标准气瓶和一个恒温箱，一方面减小了两次分别测量过程中由于暴露大气对装置本底放气影响；另一方面可以实现样品和本底同时测量，将原有的测量过程缩短了一半时间，提高了测量效率。
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公开(公告)号：CN109459192A
公开(公告)日：2019-03-12
申请号：CN201811484865.4
申请日：2018-12-06
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01M3/20
Abstract: 本发明涉及一种基于比较法校准正压漏孔的分子流进样系统及控制方法，提出基于动态分子流进样方法和累积分子流进样方法相结合的示漏气体进样系统和方法，在漏孔泄漏的气体累积一段时间后，在一套比较法正压漏孔校准系统上、实现了动态比较和累积比较两种质谱分析方法的分子流进样，突破了比较法校准正压漏孔质谱分析进样的关键技术，并且解决了累积法条件下、正压漏孔校准过程中混合气体分子流进样和微量He气累积测量的技术难题。
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公开(公告)号：CN119936953A
公开(公告)日：2025-05-06
申请号：CN202510095165.X
申请日：2025-01-21
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01T1/29
Abstract: 本发明涉及一种用于原位测量离子能量和通量的装置，该装置包括一维传动机构和固定于一维传动机构的底端的测量探头，测量探头设置于用于传输离子束的传输通道内；测量探头包括探头壳体、可拆卸地套装在探头壳体上的盖板和用于收集离子的收集极，收集极与盖板设置于探头壳体相对的两端，探头壳体的内壁设置有绝缘套筒；盖板开设有中心通孔，用于控制进入测量探头的离子流通量；沿中心通孔至收集极的方向，探头壳体内依次排列设置有第一栅网、第二栅网、第三栅网、第四栅网。本发明，通过在测量探头上施加不同的电压，实现了用一个探头测量离子能量和通量的效果，大大降低了实验成本，提高了实验效率，节省了所需的测量空间。
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公开(公告)号：CN119756686A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202510095166.4
申请日：2025-01-21
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01L27/00
Abstract: 本发明涉及一种用于空间压力传感器地面校准装置及方法，校准装置包括供气模块，用于提供稳定流量的工质气体；高速定向流发生模块，与供气模块的出气端连接，用于输出高速定向流；超高真空模块，包括校准室和第一超高真空泵组，校准室的进气口与高速定向流发生模块的输出端连接，待校准空间压力传感器设置在校准室内，与校准室的进气口和第一超高真空泵组同轴设置。本发明，通过高速定向流发生模块产生具有标准压力的高速定向流，作为校准空间压力传感器的标准，克服了传统定向流压力校准装置输出定向流速度低的缺点，能够更准确地在地面模拟航天器在轨运行时所面临的高速定向流环境，有效提高空间压力传感器测量值的可靠性与准确性。
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公开(公告)号：CN112304804B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202011169846.X
申请日：2020-10-28
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01N7/14
Abstract: 本发明公开了一种材料放气率测试系统及其测试方法，包含第一真空室、第二真空室、第三真空室、第一小孔元件、第二小孔元件、第一真空计、第二真空计、第三真空计、机械泵、第一分子泵、第二分子泵、第一真空阀门、第二真空阀门、第三真空阀门、第四真空阀门、第五真空阀门、第六真空阀门，第七真空阀门、第八真空阀门、第九真空阀门、第十真空阀门、第十一真空阀门、一个气体流量控制器、一个减压阀门、离子泵、一个标准气瓶和一个恒温箱，一方面减小了两次分别测量过程中由于暴露大气对装置本底放气影响；另一方面可以实现样品和本底同时测量，将原有的测量过程缩短了一半时间，提高了测量效率。
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