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公开(公告)号：CN100411829C
公开(公告)日：2008-08-20
申请号：CN200380103380.1
申请日：2003-11-13
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 神钢电机株式会社
CPC classification number: B62D57/032 , B25J9/1692 , B25J19/021 , H01L21/67766 , H01L21/681
Abstract: 在输送容器(10)内设置有输送机构(22)。该输送机构具有：以可以在水平方向上移动的方式设置的移动体(38)、以可以水平旋转以及升降的方式相对于该移动体安装的旋转基台(48)、相对于该旋转基台可以水平地伸屈的2个臂机构。用于该输送机构的基准位置修正装置备有：射出以及接受检查光(L)的发光部(66)以及受光部(68)、修正机构(62)，所述发光部(66)以及受光部(68)相对于输送容器位置固定。修正机构基于与旋转基台的移动以及旋转对应的、由受光部进行的通光与遮光的检测，而修正旋转基台的水平、垂直以及旋转的各方向的基准位置、和臂机构的伸屈方向的基准位置。相对于旋转基台，安装有伴随着其移动以及旋转而产生检查光的通光与遮光的切换的遮光部件。
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公开(公告)号：CN1711155A
公开(公告)日：2005-12-21
申请号：CN200380103380.1
申请日：2003-11-13
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 神钢电机株式会社
CPC classification number: B62D57/032 , B25J9/1692 , B25J19/021 , H01L21/67766 , H01L21/681
Abstract: 在输送容器(10)内设置有输送机构(22)。该输送机构具有：以可以在水平方向上移动的方式设置的移动体(38)、以可以水平旋转以及升降的方式相对于该移动体安装的旋转基台(48)、相对于该旋转基台可以水平地伸屈的2个臂机构。用于该输送机构的基准位置修正装置备有：射出以及接受检查光(L)的发光部(66)以及受光部(68)、修正机构(62)，所述发光部(66)以及受光部(68)相对于输送容器位置固定。修正机构基于与旋转基台的移动以及旋转对应的、由受光部进行的通光与遮光的检测，而修正旋转基台的水平、垂直以及旋转的各方向的基准位置、和臂机构的伸屈方向的基准位置。相对于旋转基台，安装有伴随着其移动以及旋转而产生检查光的通光与遮光的切换的遮光部件。
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公开(公告)号：CN1322570C
公开(公告)日：2007-06-20
申请号：CN02826172.0
申请日：2002-12-25
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H01L21/67173 , H01L21/67742 , H01L21/67745 , Y10S414/135 , Y10S414/139
Abstract: 构成处理系统的一部分的主搬送装置具有间隔成真空环境的主搬送室(44)的壳体(40)。在壳体(40)上形成用于在搬送室(44)和外部之间移送被处理体(W)的多个移送口(52A、52B)。在搬送室(44)内水平设置的导轨(48)上，滑动自由地安装移动体(58)。具有沿着导轨(48)移动移动体(58)的线性马达机构(54、62)。保持被处理体(W)的保持体(64)通过支持部件(66)相对移动体(5 8)升降自由地连接。在与壳体(40)的移送口(52A、52B)对应的位置，设置相对移动体(58)升降支持部件(66)的升降机构(74)。
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公开(公告)号：CN1608318A
公开(公告)日：2005-04-20
申请号：CN02826172.0
申请日：2002-12-25
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H01L21/67173 , H01L21/67742 , H01L21/67745 , Y10S414/135 , Y10S414/139
Abstract: 构成处理系统的一部分的主搬送装置具有间隔成真空环境的主搬送室(44)的壳体(40)。在壳体(40)上形成用于在搬送室(44)和外部之间移送被处理体(W)的多个移送口(52A、52B)。在搬送室(44)内水平设置的导轨(48)上，滑动自由地安装移动体(58)。具有沿着导轨(48)移动移动体(58)的线性马达机构(54、62)。保持被处理体(W)的保持体(64)通过支持部件(66)相对移动体(58)升降自由地连接。在与壳体(40)的移送口(52A、52B)对应的位置，设置相对移动体(58)升降支持部件(66)的升降机构(74)。
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公开(公告)号：CN1671519A
公开(公告)日：2005-09-21
申请号：CN03817941.5
申请日：2003-09-12
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: B25J9/22
CPC classification number: H01L21/67745 , B25J9/1666 , G05B19/00 , G05B2219/36468 , H01L21/67276
Abstract: 本发明提供一种大幅削减并缩短教学操作时间的教学方法，该方法将具有搬运机构的处理系统中所述搬运机构的移动目标位置存储于控制装置，所述搬运机构以拾取器保持并搬运被处理体，其工序如下：在移动至临时目标位置的移动路径的途中，在所述搬运机构与其它部件有干涉危险的干涉注意位置，为了确认与其它部件不发生干涉，将所述搬运机构临时停止的临时停止工序；通过移动指令的输入，将临时停止的所述搬运机构再次开始移动的移动再开工序；重复进行所述临时停止工序和移动再开工序的重复工序；在所述拾取器到达所述临时移动目标位置时，调整移动所述拾取器的位置，或者不进行调整移动，并将该位置作为移动目标位置存储于所述存储装置的存储工序。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1630942A
公开(公告)日：2005-06-22
申请号：CN03803618.5
申请日：2003-02-17
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H01L21/67017 , H01L21/67772 , Y10S414/135 , Y10S414/137
Abstract: 在半导体处理系统(2)的端口机构(16A)中，在立壁(52、54)上形成的端口(12A)上设置滑门(20A)。在系统的外面靠近端口处设置台(48)。在台上形成装载被处理基板(W)的开放型盒子(18A)的装载区(76)。对台设置可转动的护罩(50)，在关闭位置上，护罩形成包围装载区和端口的封闭空间，具有能够收纳盒子的大小。在立壁和门中的至少一边形成第一通气孔(58)，使气体从系统内部导向端口内的封闭空间。在台上形成第二通气孔(72)，使气体从封闭空间排到外部。
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公开(公告)号：CN1310301C
公开(公告)日：2007-04-11
申请号：CN03803618.5
申请日：2003-02-17
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H01L21/67017 , H01L21/67772 , Y10S414/135 , Y10S414/137
Abstract: 在半导体处理系统(2)的端口机构(16A)中，在立壁(52、54)上形成的端口(12A)上设置滑门(20A)。在系统的外面靠近端口处设置台(48)。在台上形成装载被处理基板(W)的开放型盒子(18A)的装载区(76)。对台设置可转动的护罩(50)，在关闭位置上，护罩形成包围装载区和端口的封闭空间，具有能够收纳盒子的大小。在立壁和门中的至少一边形成第一通气孔(58)，使气体从系统内部导向端口内的封闭空间。在台上形成第二通气孔(72)，使气体从封闭空间排到外部。
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公开(公告)号：CN1300834C
公开(公告)日：2007-02-14
申请号：CN03804584.2
申请日：2003-01-29
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H01L21/68742 , H01L21/68 , H01L21/68714 , H01L21/6875 , Y10S414/139
Abstract: 在半导体处理系统中，支持机构(12A)用于与搬送臂(32)协作来移送被处理基板(W)。支持机构包括分别能升降且相对搬送臂能够接收基板的第一和第二保持部(38A～38C、40A～40C)。第一和第二保持部配置为能够在空间中相互不干扰地在垂直方向相对移动，保持具有实质相同水平坐标位置的基板。支持机构还包括分别升降第一和第二保持部的第一和第二驱动部(46、48)，以及控制第一和第二驱动部的控制部(68)，所述控制部控制第一和第二驱动部，使得利用所述第一和第二保持部来择一地保持基板。
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公开(公告)号：CN100342519C
公开(公告)日：2007-10-10
申请号：CN200480001008.4
申请日：2004-07-09
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 被处理基板(W)的搬送装置(20)包含可旋转的旋转基台(24)，在旋转基台上安装可伸屈的第1和第2臂机构(26，28)，第1和第2臂机构各自具有从旋转基台侧顺序地相互可旋转连接的基端臂(26A，28A)、中间臂(26B，28B)和鸟嘴部(26C，28C)，鸟嘴部按照支持被处理基板的方式设置，第1和第2臂机构的基端臂上连接连杆机构(30)，从而驱动第1和第2臂机构，为了旋转驱动旋转基台，配设第1驱动源(32)，为了旋转连杆机构以便使第1和第2臂机构伸屈，配设第2驱动源(34)。
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公开(公告)号：CN1701432A
公开(公告)日：2005-11-23
申请号：CN200480001008.4
申请日：2004-07-09
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 被处理基板(W)的搬送装置(20)包含可旋转的旋转基台(24)，在旋转基台上安装可伸屈的第1和第2臂机构(26，28)，第1和第2臂机构各自具有从旋转基台侧顺序地相互可旋转连接的基端臂(26A，28A)、中间臂(26B，28B)和鸟嘴部(26C，28C)，鸟嘴部按照支持被处理基板的方式设置，第1和第2臂机构的基端臂上连接连杆机构(30)，从而驱动第1和第2臂机构，为了旋转驱动旋转基台，配设第1驱动源(32)，为了旋转连杆机构以便使第1和第2臂机构伸屈，配设第2驱动源(34)。
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