公开(公告)号：CN1711155A

公开(公告)日：2005-12-21

申请号：CN200380103380.1

申请日：2003-11-13

Applicant: 东京毅力科创株式会社 ,  神钢电机株式会社

Inventor： 佐伯弘明 ,  神垣敏雄

IPC: B25J13/08 ,  B65G49/07 ,  H01L21/68

CPC classification number: B62D57/032 ,  B25J9/1692 ,  B25J19/021 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/681

Abstract: 在输送容器(10)内设置有输送机构(22)。该输送机构具有：以可以在水平方向上移动的方式设置的移动体(38)、以可以水平旋转以及升降的方式相对于该移动体安装的旋转基台(48)、相对于该旋转基台可以水平地伸屈的2个臂机构。用于该输送机构的基准位置修正装置备有：射出以及接受检查光(L)的发光部(66)以及受光部(68)、修正机构(62)，所述发光部(66)以及受光部(68)相对于输送容器位置固定。修正机构基于与旋转基台的移动以及旋转对应的、由受光部进行的通光与遮光的检测，而修正旋转基台的水平、垂直以及旋转的各方向的基准位置、和臂机构的伸屈方向的基准位置。相对于旋转基台，安装有伴随着其移动以及旋转而产生检查光的通光与遮光的切换的遮光部件。

公开(公告)号：CN100411829C

公开(公告)日：2008-08-20

申请号：CN200380103380.1

申请日：2003-11-13

Applicant: 东京毅力科创株式会社 ,  神钢电机株式会社

Inventor： 佐伯弘明 ,  神垣敏雄

IPC: B25J13/08 ,  B65G49/07 ,  H01L21/68

CPC classification number: B62D57/032 ,  B25J9/1692 ,  B25J19/021 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/681

Abstract: 在输送容器(10)内设置有输送机构(22)。该输送机构具有：以可以在水平方向上移动的方式设置的移动体(38)、以可以水平旋转以及升降的方式相对于该移动体安装的旋转基台(48)、相对于该旋转基台可以水平地伸屈的2个臂机构。用于该输送机构的基准位置修正装置备有：射出以及接受检查光(L)的发光部(66)以及受光部(68)、修正机构(62)，所述发光部(66)以及受光部(68)相对于输送容器位置固定。修正机构基于与旋转基台的移动以及旋转对应的、由受光部进行的通光与遮光的检测，而修正旋转基台的水平、垂直以及旋转的各方向的基准位置、和臂机构的伸屈方向的基准位置。相对于旋转基台，安装有伴随着其移动以及旋转而产生检查光的通光与遮光的切换的遮光部件。