公开(公告)号：CN1671519A

公开(公告)日：2005-09-21

申请号：CN03817941.5

申请日：2003-09-12

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 熊谷元宏 ,  石泽繁 ,  佐伯弘明

IPC: B25J9/22

CPC classification number: H01L21/67745 ,  B25J9/1666 ,  G05B19/00 ,  G05B2219/36468 ,  H01L21/67276

Abstract: 本发明提供一种大幅削减并缩短教学操作时间的教学方法，该方法将具有搬运机构的处理系统中所述搬运机构的移动目标位置存储于控制装置，所述搬运机构以拾取器保持并搬运被处理体，其工序如下：在移动至临时目标位置的移动路径的途中，在所述搬运机构与其它部件有干涉危险的干涉注意位置，为了确认与其它部件不发生干涉，将所述搬运机构临时停止的临时停止工序；通过移动指令的输入，将临时停止的所述搬运机构再次开始移动的移动再开工序；重复进行所述临时停止工序和移动再开工序的重复工序；在所述拾取器到达所述临时移动目标位置时，调整移动所述拾取器的位置，或者不进行调整移动，并将该位置作为移动目标位置存储于所述存储装置的存储工序。

公开(公告)号：CN100336634C

公开(公告)日：2007-09-12

申请号：CN200380104441.6

申请日：2003-11-27

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 熊谷元宏 ,  近藤圭祐

IPC: B25J9/22

CPC classification number: H01L21/67167 ,  H01L21/67184 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/68

Abstract: 公开了在由多个装置(真空处理装置、负载锁定室、定位仪)组成的集束系统中，决定定义输送机构的拾取器件的向各装置的进出点的输送位置坐标的方法。(1)各输送机构的各拾取器件对各装置的输送位置坐标，以粗精度被临时决定。(2)确定第一输送机构的各拾取器件对位置对准装置的输送位置坐标。(3)确定第一及第二输送机构的各拾取器件的对位置对准装置以外的输送位置坐标的一部分的输送位置坐标。(4)位置对准用被输送物，经由通过1个被临时决定的未确定的输送位置坐标的输送路径，被输送到位置对准装置。求出被保持在位置对准装置上的位置对准用被输送物的位置偏差量被求出。根据该位置偏差量，修正所述输送位置坐标的1个，该被修正的输送位置坐标被确定为输送位置坐标。(5)在被临时决定的输送位置坐标全部被确定之前，反复进行(4)。

公开(公告)号：CN1717302A

公开(公告)日：2006-01-04

申请号：CN200380104441.6

申请日：2003-11-27

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 熊谷元宏 ,  近藤圭祐

IPC: B25J9/22

CPC classification number: H01L21/67167 ,  H01L21/67184 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/68

Abstract: 公开了在由多个装置(真空处理装置、负载锁定室、定位仪)组成的集束系统中，决定定义输送机构的拾取器件的向各装置的进出点的输送位置坐标的方法。(1)各输送机构的各拾取器件对各装置的输送位置坐标，以粗精度被临时决定。(2)确定第一输送机构的各拾取器件对位置对准装置的输送位置坐标。(3)确定第一及第二输送机构的各拾取器件的对位置对准装置以外的输送位置坐标的一部分的输送位置坐标。(4)位置对准用被输送物，经由通过1个被临时决定的未确定的输送位置坐标的输送路径，被输送到位置对准装置。求出被保持在位置对准装置上的位置对准用被输送物的位置偏差量被求出。根据该位置偏差量，修正所述输送位置坐标的1个，该被修正的输送位置坐标被确定为输送位置坐标。(5)在被临时决定的输送位置坐标全部被确定之前，反复进行(4)。