公开(公告)号：CN1310301C

公开(公告)日：2007-04-11

申请号：CN03803618.5

申请日：2003-02-17

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 吉田哲雄 ,  佐佐木义明 ,  佐伯弘明 ,  谷山育志 ,  泷泽浩士

IPC: H01L21/68 ,  B65G49/00 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67017 ,  H01L21/67772 ,  Y10S414/135 ,  Y10S414/137

Abstract: 在半导体处理系统(2)的端口机构(16A)中，在立壁(52、54)上形成的端口(12A)上设置滑门(20A)。在系统的外面靠近端口处设置台(48)。在台上形成装载被处理基板(W)的开放型盒子(18A)的装载区(76)。对台设置可转动的护罩(50)，在关闭位置上，护罩形成包围装载区和端口的封闭空间，具有能够收纳盒子的大小。在立壁和门中的至少一边形成第一通气孔(58)，使气体从系统内部导向端口内的封闭空间。在台上形成第二通气孔(72)，使气体从封闭空间排到外部。

公开(公告)号：CN1630942A

公开(公告)日：2005-06-22

申请号：CN03803618.5

申请日：2003-02-17

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 吉田哲雄 ,  佐佐木义明 ,  佐伯弘明 ,  谷山育志 ,  泷泽浩士

IPC: H01L21/68 ,  B65G49/00 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67017 ,  H01L21/67772 ,  Y10S414/135 ,  Y10S414/137

Abstract: 在半导体处理系统(2)的端口机构(16A)中，在立壁(52、54)上形成的端口(12A)上设置滑门(20A)。在系统的外面靠近端口处设置台(48)。在台上形成装载被处理基板(W)的开放型盒子(18A)的装载区(76)。对台设置可转动的护罩(50)，在关闭位置上，护罩形成包围装载区和端口的封闭空间，具有能够收纳盒子的大小。在立壁和门中的至少一边形成第一通气孔(58)，使气体从系统内部导向端口内的封闭空间。在台上形成第二通气孔(72)，使气体从封闭空间排到外部。