-
公开(公告)号：CN104122758B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201410164563.4
申请日：2014-04-22
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 森田知之
IPC: G03F7/20 , H01J37/317 , H01J37/304
CPC classification number: H01J37/3174 , H01J37/20 , H01J37/3005 , H01J37/3177 , H01J2237/20292 , H01J2237/31761 , H01L21/268
Abstract: 本发明公开了一种绘画装置和物品的制造方法，该绘画装置包含：多个带电粒子光学系统，所述多个带电粒子光学系统沿第一方向以某个节距排列，每个带电粒子光学系统被配置为利用带电粒子束照射基板；台架，被配置为保持基板并且沿与所述第一方向正交的第二方向相对于所述带电粒子光学系统移动；以及控制器，被配置为针对每个带电粒子光学系统确定用于绘画的带电粒子束，以便满足由SW＝Pc/α＝Ps/β给出的关系，这里，Ps为射击区域沿第一方向的阵列节距，SW为通过每个带电粒子光学系统的每个绘画区域沿第一方向的宽度，Pc为绘画区域沿第一方向的阵列节距，α和β为自然数。
-
公开(公告)号：CN105719982A
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201610082472.5
申请日：2016-02-05
Applicant: 东方晶源微电子科技(北京)有限公司
IPC: H01L21/66
CPC classification number: H01J37/20 , G03F1/86 , G03F7/7065 , H01J37/18 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/063 , H01J2237/18 , H01J2237/2002 , H01J2237/2007 , H01J2237/202 , H01J2237/20292 , H01J2237/24571 , H01J2237/2817 , H01L22/12
Abstract: 本发明公开一种检测系统。根据本发明一方面，检测系统包括：感测机构的多个镜筒；移动机构，用以在感测机构的多个镜筒下定位样品；和控制器，执行配置用以将所述镜筒配置成根据功能、权重和性能中的至少一种执行一种类型检测使得所述多个镜筒以适应的方式用于感测被检测的样品的模块。检测系统的感测机构的多个镜筒配置由不同的功能、权重和性能以检测样品，从而显著地减少如果相同地应用全部镜筒时所需的时间。
-
公开(公告)号：CN102027562A
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN200980117115.6
申请日：2009-03-16
Applicant: 谢菲尔德大学
CPC classification number: H01J37/20 , G21K7/00 , H01J37/26 , H01J2237/20207 , H01J2237/20214 , H01J2237/20221 , H01J2237/20242 , H01J2237/20264 , H01J2237/20285 , H01J2237/20292 , H01J2237/2617 , H02N2/0095
Abstract: 一种适合于在透射电子显微镜中断层照相检验试样的试样夹持器组件(500)，包括：主体部分(501)，该主体部分(501)取细长构件的形式，所述细长构件安排成可移动地插入显微镜的支柱中；和操纵器部分，该操纵器部分具有第一轴线，操纵器部分包括：试样安装部分(510)，该试样安装部分(510)配置成支承试样；试样平移组件(530)，该试样平移组可操纵，以便相对于主体部分平移试样安装部分；和试样旋转组件(540)，该试样旋转组件(540)结合到主体部分和试样平移组件(530)上，试样旋转组件可操纵，以便绕第一轴线相对于主体部分旋转试样平移组件。
-
公开(公告)号：CN104221122B
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201380008973.3
申请日：2013-02-13
Applicant: 日新离子机器株式会社 , 株式会社爱发科
IPC: H01J37/317 , B65G49/06 , H01L21/265 , H01L21/677 , H01L21/683
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/30 , H01J37/317 , H01J2237/20221 , H01J2237/20292 , H01L21/67173 , H01L21/67213 , H01L21/67259 , H01L21/67712 , H01L21/6776
Abstract: 离子束照射装置(10)具备：真空槽(14)，其收容对基板(S)进行保持的输送托盘(T)；输送部，其在真空槽(14)内向输送方向输送输送托盘(T)；离子束照射部(21L、21U)，其向真空槽(14)内的预定的照射位置照射离子束；以及位置检测部(23A‑23D)，其检测输送托盘(T)的位置。位置检测部(23A‑23D)通过输送托盘(T)的输送而在预定的拍摄位置对表示输送托盘(T)上的部位的、沿输送方向排列且彼此不同的多个指标分别进行拍摄，基于所拍摄到的指标来检测出输送托盘(T)相对于拍摄位置的位置。
-
公开(公告)号：CN102439693A
公开(公告)日：2012-05-02
申请号：CN201080022632.8
申请日：2010-06-15
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H01L21/00 , H01L21/677 , H01J37/317 , H01L21/266
CPC classification number: H01L21/67213 , C23C14/48 , H01J37/20 , H01J37/3171 , H01J2237/2001 , H01J2237/2007 , H01J2237/20292 , H01J2237/204 , H01J2237/31711 , H01L21/266 , H01L21/67769 , H01L31/022425 , H01L31/022441 , H01L31/068 , H01L31/0682 , H01L31/1804 , Y02E10/547 , Y02P70/521
Abstract: 一种工作件处理系统(100)包含：处理腔室(114)，其经组态以支撑工作件用于离子植入；第一遮罩(172、174、176)，其储存于所述处理腔室(114)外部且处于遮罩台(170)中；以及机器人系统(106)，其经组态以自所述遮罩台(170)撷取所述第一遮罩(172、174、176)，且将所述第一遮罩定位于所述工作件上游，使得所述工作件经由所述第一遮罩而接收第一选择性植入。一种方法包含：将第一遮罩(172、174、176)储存于处理腔室(114)外部且处于遮罩台(170)中；自所述遮罩台(170)撷取所述第一遮罩；将所述第一遮罩定位于已定位在所述处理腔室(114)中的工作件上游以用于离子植入；以及经由所述第一遮罩而执行第一选择性植入。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1782690A
公开(公告)日：2006-06-07
申请号：CN200510109823.9
申请日：2005-07-14
Applicant: 应用材料以色列公司
IPC: G01N1/28 , G01N13/10 , G01N23/225 , H01J37/26
CPC classification number: G01N1/32 , H01J37/185 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J37/3056 , H01J2237/20278 , H01J2237/20292 , H01J2237/204 , H01J2237/208 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
Abstract: 公开了用于形成物体的样品、从物体提取样品以及在真空腔室中对所述样品进行包括表面分析和电子透明度分析的微观分析的方法和装置。在一些实施例中，提供一种成像提取样品的物体横截表面的方法。可选择地，在真空腔室中重复地变薄和成像样品。在一些实施例中，样品位于具有可选择缝隙的样品支持上。可选择地，样品位于样品支持的表面之上，以使物体横截表面基本上平行于样品支持的表面。一旦装配于样品支持之上，在真空腔室中对样品进行微观分析或装载于装载位置。在一些实施例中，利用基本上垂直地入射至物体横截表面的电子束成像样品。
-
公开(公告)号：CN103824798B
公开(公告)日：2018-02-27
申请号：CN201310566530.8
申请日：2013-11-14
Inventor： J.阿加瓦奇
IPC: H01L21/68
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/26 , H01J37/265 , H01J2237/20292 , H01J2237/31749
Abstract: 在此披露了一种用于对放置在真空室内的样品进行对准从而使得样品被定向成与聚焦离子束垂直的方法。使用聚焦例程确定样品表面上不同斑点的位置。不同斑点的位置用于创建确定所需要的准确校准的影像线或影像平面。然后，该影像线或影像平面用于对样品台进行校准，从而使得样品被对准成基本上与聚焦离子束垂直。
-
公开(公告)号：CN104520965A
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201380041332.8
申请日：2013-07-03
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/18 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J2237/16 , H01J2237/20 , H01J2237/2003 , H01J2237/20235 , H01J2237/20292 , H01J2237/2605 , H01J2237/2608
Abstract: 现有的带电粒子束装置都是为了大气压下或与大气压大致相等的压力的气体氛围下的观察而专门制造的装置，而不存在使用通常的高真空型带电粒子显微镜能够简便地进行大气压下或与大气压大致相等的压力的气体氛围下的观察的装置。并且，在现有技术的方法中，没有控制隔膜与试样的距离的方法，存在隔膜破损的可能性高的问题。因此，本发明的特征在于具备：可拆卸的隔膜，其将放置了试样的空间隔离，以便保持放置了试样的空间的压力大于所述壳体内部的压力，并使一次带电粒子束透射或通过；接触防止部件，其防止试样与隔膜接触；以及调整机构，其可使接触防止部件的至少一部分在带电粒子光学镜筒的光轴方向上移动。
-
公开(公告)号：CN103957799A
公开(公告)日：2014-07-30
申请号：CN201280058837.0
申请日：2012-11-26
Applicant: 皇家飞利浦有限公司
Inventor： C·库尔策
IPC: A61B6/00
CPC classification number: A61B6/587 , A61B6/0492 , A61B6/08 , A61B6/4405 , A61B6/4411 , A61B6/4452 , A61B6/4464 , A61B6/461 , A61B6/547 , A61B6/585 , A61B6/588 , A61N5/1049 , A61N2005/105 , A61N2005/1051 , G02B7/005 , G02B27/64 , H01J37/22 , H01J2237/1501 , H01J2237/20292 , H01J2237/24528 , H01J2237/2482 , H04B10/22
Abstract: 一种X射线成像系统包括X射线管(6)、用于所述X射线管的天花板悬架(2)、其上安装有X射线探测器(10)的探测器推车(12)、有源传感器矩阵(24)、光学指示单元(20)以及控制单元(26)。所述有源传感器矩阵(24)被固定地安装在天花板悬架(2)上，所述光学指示单元(20)被固定地安装到所述探测器推车(12)并且适于向所述有源传感器矩阵(24)上发射光学指示(22)。所述控制单元(26)被连接到所述有源传感器矩阵(24)并且适于采集所述光学指示(22)在所述有源传感器矩阵(24)上的位置并创建控制信号以使所述探测器推车位置和所述天花板悬架位置相对于彼此对准，使得所述光学指示出现在所述有源传感器矩阵上的预定斑上。这消除了对以与X射线臂的固定空间关系承载探测器单元的机械固定臂的需要，因为探测器和所述X射线管通过位置跟随过程被链接。
-
公开(公告)号：CN1782690B
公开(公告)日：2011-03-23
申请号：CN200510109823.9
申请日：2005-07-14
Applicant: 应用材料以色列公司
IPC: G01N1/28 , G01N13/10 , G01N23/225 , H01J37/26
CPC classification number: G01N1/32 , H01J37/185 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J37/3056 , H01J2237/20278 , H01J2237/20292 , H01J2237/204 , H01J2237/208 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
Abstract: 公开了用于形成物体的样品、从物体提取样品以及在真空腔室中对所述样品进行包括表面分析和电子透明度分析的微观分析的方法和装置。在一些实施例中，提供一种成像提取样品的物体横截表面的方法。可选择地，在真空腔室中重复地变薄和成像样品。在一些实施例中，样品位于具有可选择孔隙的样品支撑件上。可选择地，样品位于样品支撑件的表面之上，以使物体横截表面基本上平行于样品支撑件的表面。一旦装配于样品支撑件之上，在真空腔室中对样品进行微观分析或装载于装载位置。在一些实施例中，利用基本上垂直地入射至物体横截表面的电子束成像样品。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
25
records
(took 0.013 seconds)
