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公开(公告)号：CN106461581B
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201580026552.2
申请日：2015-05-15
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: G01N23/2251 , G01N21/95 , H01L21/66
CPC classification number: G01N21/8851 , G01N21/9501 , G01N23/2251 , G01N2223/418 , G01N2223/6466 , G01N2223/66 , G06T7/001 , G06T2207/30148 , H01J37/222 , H01J2237/063 , H01J2237/24592 , H01L22/12 , H01L22/20
Abstract: 本发明提供用于产生缺陷样本用于电子束重检的各种实施例。一种方法包含逐缺陷地组合通过在其上检测到缺陷的晶片的光学检验确定的缺陷中的一或多个第一属性与通过所述晶片的光学重检确定的所述缺陷中的一或多个第二属性，借此产生所述缺陷的组合属性。所述方法还包含基于所述缺陷的所述组合属性将所述缺陷分离为级别。所述级别对应于不同缺陷分类。此外，所述方法包含基于所述缺陷已被分离为的所述级别对所述缺陷中的一或多者取样用于所述电子束重检，借此产生缺陷重检样本用于所述电子束重检。
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公开(公告)号：CN106847662A
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201710027709.4
申请日：2017-01-16
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: H01J37/295 , H01J37/06
CPC classification number: H01J37/295 , H01J37/06 , H01J2237/063
Abstract: 一种超快电子衍射装置，包括：飞秒激光光源、靶室、样品控制器、电子束成像系统和真空泵。利用激光与固体靶相互作用中产生的电子束作为超快电子衍射的电子源以及电子束的优化是本发明的核心。本发明利用激光等离子体相互作用产生的电子束，电子不需要经历阴极‑阳极的加速以及偏转过程，减小了电子到达样品的传输距离以及由于长距离传输导致的空间电荷效应的影响，提高了该装置的时间分辨能力。另一方面，电子束的优化系统能够筛选出单能性好，能散低的电子，进一步提高了该装置的空间分辨能力。本发明具有结构紧凑，时间空间分辨率高的优点。
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公开(公告)号：CN104822482A
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201380063847.8
申请日：2013-10-07
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/3005 , G01N1/32 , G01N23/2255 , G01N2223/104 , G01N2223/611 , H01J37/3007 , H01J37/3053 , H01J37/3056 , H01J37/31 , H01J2237/063 , H01J2237/08 , H01J2237/2813 , H01J2237/31732 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
Abstract: 为了减少通过聚焦离子束暴露以供查看的表面中的伪像，靠近感兴趣的区域铣削沟槽，并且填充沟槽以创建隔板。离子束被引导通过隔板以暴露感兴趣的区域的一部分以供查看。沟槽例如是通过带电粒子束感应沉积来填充的。沟槽典型地被自顶向下铣削和填充，并且然后，离子束关于样本表面成角度以暴露感兴趣的区域。
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公开(公告)号：CN104704601A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201280076337.X
申请日：2012-10-12
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/065 , C25F3/26 , H01J1/16 , H01J1/3044 , H01J9/025 , H01J9/042 , H01J37/06 , H01J37/073 , H01J37/285 , H01J2237/063 , H01J2237/06316 , H01J2237/06341 , H01J9/02 , H01J1/30
Abstract: 在以往的基片加工方法中，无法指定前端形状的尺寸来进行制作，无法得到具有所期望的任意径的基片。此外，基片中可能附着杂质。利用基片前端直径与正在加工基片前端时的施加电压或所围住的时间的相互关系，控制得到所期望前端直径的施加电压，来加工基片。由此，能够在钨单晶细丝尖锐化后的前端直径为0.1μm以上2.0μm以下的范围，制造具有所期望的任意径的基片。
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公开(公告)号：CN106461581A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580026552.2
申请日：2015-05-15
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: G01N23/225 , G01N21/88 , G01N21/95 , H01L21/66
CPC classification number: G01N21/8851 , G01N21/9501 , G01N23/2251 , G01N2223/418 , G01N2223/6466 , G01N2223/66 , G06T7/001 , G06T2207/30148 , H01J37/222 , H01J2237/063 , H01J2237/24592 , H01L22/12 , H01L22/20
Abstract: 本发明提供用于产生缺陷样本用于电子束重检的各种实施例。一种方法包含逐缺陷地组合通过在其上检测到缺陷的晶片的光学检验确定的缺陷中的一或多个第一属性与通过所述晶片的光学重检确定的所述缺陷中的一或多个第二属性，借此产生所述缺陷的组合属性。所述方法还包含基于所述缺陷的所述组合属性将所述缺陷分离为级别。所述级别对应于不同缺陷分类。此外，所述方法包含基于所述缺陷已被分离为的所述级别对所述缺陷中的一或多者取样用于所述电子束重检，借此产生缺陷重检样本用于所述电子束重检。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104520961B
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201380042202.6
申请日：2013-05-20
Applicant: 焊接研究院
IPC: H01J27/16 , H01J37/077
CPC classification number: H01J37/077 , H01J27/18 , H01J37/3002 , H01J2237/061 , H01J2237/063 , H01J2237/0817 , H01J2237/083 , H01J2237/31 , H01J2237/3104
Abstract: 高的电压。本发明公开一种用于生成带电粒子束的等离子源装置。该装置包括：等离子室，设有用于气体进入的入口和用于从该等离子室引出带电粒子的孔；射频(RF)等离子生成单元，用于在所述等离子室内部生成等离子，所述射频等离子生成单元包括第一谐振电路和第二谐振电路，每个谐振电路被调谐成在基本相同的谐振频率下谐振，所述第一谐振电路包括第一天线和适于在大体所述第一谐振电路的谐振频率下驱动所述第一谐振电路的第一RF电源，所述第二谐振电路包括第二天线，由此在使用时由于谐振耦合所述第一谐振电路在所述第二天线中感应出RF信号，所述第二谐振电路被配置成向所述等离子室施加感应的RF信号以在所述等离子室内生成等离子；和粒子加速单元，用于从所述等离子中引出带电粒子并使所述带电粒子加速以形成束，所述粒子加速单元包括被配置成在所述等离子室和加速电
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公开(公告)号：CN105143864A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201480008838.3
申请日：2014-02-14
CPC classification number: H01J37/265 , G01N23/04 , G01N2223/0565 , G01N2223/612 , H01J37/06 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J2237/063 , H01J2237/1534 , H01J2237/2602 , H01J2237/2614
Abstract: 本发明描述了一种用于进行柔软物质目标(17)的高分辨率电子显微术的方法。所述方法包括利用具有球面像差校正(10)的电子显微镜(1)照射柔软物质目标，所述球面像差校正在散射在柔软物质目标上的热漫散射电子的频带内具有基本上恒定的传递函数。所述方法包括检测在所述柔软物质上散射的热漫散射(TDS)电子，然后利用所检测的热漫散射电子获得所述柔软物质目标的图像。
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公开(公告)号：CN104737266A
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201380053492.4
申请日：2013-10-09
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/317 , G01N1/28
CPC classification number: H01J37/3178 , G01N1/28 , G01N1/286 , G01N2001/2873 , H01J37/28 , H01J37/3005 , H01J37/3007 , H01J37/31 , H01J2237/063 , H01J2237/08 , H01J2237/208 , H01J2237/24564 , H01J2237/2813 , H01J2237/2817 , H01J2237/304 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749 , H01J2237/31744
Abstract: 本发明提供一种带电粒子束装置，其具备：带电粒子源；使从带电粒子源放出的带电粒子束聚焦在试样上的物镜；检测从试样放出的二次带电粒子的检测器；能够与试样接触的探针；向试样放出导电性气体的气体喷嘴；以及对探针的驱动和从气体喷嘴的气体放出进行控制的控制部，控制部在向试样照射带电粒子束并加工试样之后、使探针与试样接触之前，使气体从气体喷嘴朝向加工位置放出，并照射带电粒子束而在试样的加工部形成导电性膜，并且具备判断形成于加工部的导电性膜与探针的接触的接触探测部。
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公开(公告)号：CN104584180A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201380043744.5
申请日：2013-07-11
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/28 , H01J2237/0203 , H01J2237/063 , H01J2237/164 , H01J2237/166 , H01J2237/18 , H01J2237/1825 , H01J2237/2006 , H01J2237/202 , H01J2237/2605 , H01J2237/2608 , H01J2237/2801
Abstract: 本发明提供带电粒子线装置用部件、带电粒子线装置以及隔膜部件。带电粒子线装置(1c)所使用的带电粒子线装置用部件(56)具有安装于框体(3c)的框体(55)以及设置于框体(55)的隔膜元件(18a)。在隔膜元件(18a)形成有隔膜(19)，在被框体(3c)与框体(55)划分的真空室(4a)的内部的压力相比外部的压力相被减压了的状态下，该隔膜(19)对真空室(4a)的内部与外部气密地进行隔离并且供带电粒子线透射。另外，在隔膜元件(18a)以位于比隔膜(19)更靠试样工作台(22)侧的方式形成有防止试样(12)与隔膜(19)接触的缓冲膜(33)。
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公开(公告)号：CN107615441B
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201580080270.0
申请日：2015-06-11
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/22 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/063 , H01J2237/20228 , H01J2237/2025 , H01J2237/221 , H01J2237/24507 , H01J2237/30416
Abstract: 本发明的带电粒子束装置(1)具备：载台驱动部(14)，其驱动载台(13)；检测器(16)，其检测从试样(SAMP)射出的带电粒子；第一图像传输部(20)，其利用第一图像传输协议传输来自所述检测器的信号；第二图像传输部(21)，其利用第二图像传输协议传输来自所述检测器的信号；以及切换部(23)，其基于所述载台的状态切换使用所述第一图像传输部和所述第二图像传输部。所述第一图像传输协议的可靠性比所述第二图像传输协议高，所述第二图像传输协议的传输速度比所述第一图像传输协议快。通过根据载台的状态切换使用多个图像传输部，提高对于载台移动的追随性和通信的抗故障性。
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