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公开(公告)号：CN108434586A
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201810151226.X
申请日：2018-02-13
Applicant: 韦伯斯特生物官能(以色列)有限公司
CPC classification number: A61M25/1029 , A61B5/0422 , A61B5/065 , A61B5/6852 , A61B18/1492 , A61B34/20 , A61B2017/00053 , A61B2017/00526 , A61B2018/0022 , A61B2018/00351 , A61B2018/00577 , A61B2034/2051 , A61L31/00 , A61M2025/1031 , A61M2207/10 , C23C14/042 , C23C14/205 , C23C14/46 , C23C14/505 , H01J37/20 , H01J37/32715 , H01J37/32779 , H01J2237/201 , H01J2237/20214 , H01J2237/20285 , H01J2237/332 , A61M25/1011 , A61B2018/00839 , A61M25/1018
Abstract: 本发明题为“用于溅射多球囊导管远侧端部的行星齿轮组件”。本发明公开了一种设备，所述设备包括组件和中空模板。所述组件包括安装于其上的多个铰链。所述组件被配置成围绕第一轴线旋转，并且所述铰链中的每一个被另外配置成围绕相应的第二轴线旋转。所述中空模板被装配在所述相应的铰链上并且各自被配置成容纳医疗器械的基于球囊的远侧端部，每个模板具有图案化开口，一个或多个电极通过所述图案化开口沉积在所述远侧端部上。
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公开(公告)号：CN103946749B
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201280051562.8
申请日：2012-09-12
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
Inventor： J·J·M·佩斯特
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03B27/58 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/70716 , G03F7/70725 , G03F7/70758 , G03F7/70841 , H01J37/20 , H01J37/3177 , H01J2237/0266 , H01J2237/16 , H01J2237/2006 , H01J2237/20221 , H01J2237/20285 , H02K41/02
Abstract: 一种目标定位装置，尤其用于光刻系统，其包括用于承载目标的载体(300)，以及用于承载载体并沿着第一方向(X)移动该载体的支撑台。该支撑台包括两个X‑支撑台基座(401、402)，二者皆布置在公共基板(403)的顶部上，每一个X‑支撑台基座承载一X‑支撑台托架(404、405)，以及一Y‑梁(406)，所述Y‑梁包括用以承载所述载体并在第二方向(Y)上移动该载体的Y‑支撑台(407)。所述Y‑梁跨接该X‑支撑台托架之间的空间并经由一柔性连接器(408、409)而被连接到该X‑支撑台托架上。该装置还包括两个电机(M1、M2)，每一个用以沿着相应的X‑支撑台基座驱动相应的X‑支撑台托架。该两个电机至少大致被设置在该支撑台下方。所述两个电机中的每一个被连接至一偏心凸轮或曲柄(410、411)，后者经由一曲柄轴(412、413)而被连接至该相对应的X‑支撑台托架。
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公开(公告)号：CN101111926A
公开(公告)日：2008-01-23
申请号：CN200580047494.8
申请日：2005-11-08
Applicant: 艾克塞利斯技术公司
IPC: H01L21/265 , H01J37/317
CPC classification number: H01L21/265 , H01J37/3023 , H01J37/3171 , H01J2237/20228 , H01J2237/20285 , H01J2237/30411
Abstract: 一种用于最优化离子注入的方法，其中通过离子束(110)在两维上扫描基片(105)。所述方法提供了包括如下各项中一个或多个的工艺配方：离子束电流，离子剂量，以及基片在慢扫描方向通过离子束的次数。基于所述工艺配方来确定离子束的剖面，并且确定离子束的尺寸。基于所要求的注入均匀性和工艺配方来选择在快扫描方向(142)上的多个不同扫描速度中的一个。基于如下各项中的一个或多个来控制工艺配方：所要求的均匀性，基片通过时间，所要求的最小离子束电流，以及一个或多个基片条件。基于注入的剂量来选择在慢扫描方向(144)上的多个速度中的一个。
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公开(公告)号：CN107359102A
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：CN201710159377.5
申请日：2017-03-17
Applicant: 株式会社爱德万测试
IPC: H01J37/30 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/147 , H01J37/241 , H01J37/3177 , H01J2237/141 , H01J2237/1504 , H01J2237/152 , H01J2237/1526 , H01J2237/20285 , H01J37/3007 , H01J2237/0435 , H01J2237/0453 , H01J2237/31774
Abstract: 本发明提供多柱装置和多柱式带电粒子束曝光装置，其中，每个柱的带电粒子束的特性的差异较小。在具有多个产生带电粒子束的柱部(122)的多柱式带电粒子束曝光装置中，柱部(122)具有：磁轭(53)，其由磁性体构成，绕柱的光轴产生规定的强度分布的磁场；和线圈部(52)，其卷绕于该磁轭(53)。该线圈部(52)由分割出的多个绕组(52a、52b)构成，且分别被不同的电源(A1～A3)驱动。
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公开(公告)号：CN106569396A
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201610901826.4
申请日：2012-09-12
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
Inventor： J·J·M·佩斯特
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03B27/58 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/70716 , G03F7/70725 , G03F7/70758 , G03F7/70841 , H01J37/20 , H01J37/3177 , H01J2237/0266 , H01J2237/16 , H01J2237/2006 , H01J2237/20221 , H01J2237/20285 , H02K41/02 , G03F7/20 , G03F7/70775
Abstract: 一种目标定位装置，其包括用于承载目标的载体，以及用于承载载体并沿着第一方向(X)移动该载体的支撑台。该支撑台包括两个X‑支撑台基座，二者皆布置在公共基板的顶部上，每一个X‑支撑台基座承载一X‑支撑台托架，以及一Y‑梁，所述Y‑梁包括用以承载所述载体并移动该载体在第二方向(Y)上的Y‑支撑台。所述Y‑梁跨接该X‑支撑台托架之间的空间并经由一柔性连接器而被连接到该X‑支撑台托架上。该装置还包括两个电机，每一个用以沿着相应的X‑支撑台基座驱动相应的X‑支撑台托架。该两个电机至少大致被设置在该支撑台下方。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106098519A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610096405.9
申请日：2016-02-22
Applicant: 爱德万测试株式会社
IPC: H01J37/244 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/3045 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/3177 , H01J2237/043 , H01J2237/0435 , H01J2237/15 , H01J2237/2025 , H01J2237/20285 , H01J2237/30455 , H01J2237/31766 , H01J2237/31774 , H01J37/3174
Abstract: 本发明使用带电粒子束使平台的移动误差降低而形成复杂且微细的图案。本发明提供一种曝光装置及曝光方法，该曝光装置具备：射束产生部，产生带电粒子束；平台部，搭载样品，并使该样品相对于射束产生部相对性地移动；检测部，对平台部的位置进行检测；预测部，基于平台部的检测位置而生成预测平台部的驱动量所得的预测驱动量；及照射控制部，基于预测驱动量而进行向样品照射带电粒子束的照射控制。
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公开(公告)号：CN102543640A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110418980.3
申请日：2011-09-29
Applicant: 卡尔蔡司NTS有限责任公司
IPC: H01J37/28 , G01N23/225
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/265 , H01J2237/184 , H01J2237/20285 , H01J2237/20292 , H01J2237/216 , H01J2237/22 , H01J2237/221 , H01J2237/2482
Abstract: 本发明涉及一种操作粒子束显微镜的方法，其中所述方法包括：探测从结构发出的光线和/或从结构发出的粒子的至少之一，其中所述结构包括至少下述之一：物体的表面的至少一部分和粒子束显微镜的载物台的表面的至少一部分；根据探测到的光线和粒子的至少之一生成所述结构的表面模型；相对于目标区域确定所述结构的表面模型的位置和定向；相对于所述结构的表面模型确定测量部位；以及，根据生成的所述结构的表面模型、确定的所述结构的表面模型的位置和定向以及确定的测量部位定位物体。
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公开(公告)号：CN106569396B
公开(公告)日：2018-10-19
申请号：CN201610901826.4
申请日：2012-09-12
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
Inventor： J·J·M·佩斯特
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03B27/58 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/70716 , G03F7/70725 , G03F7/70758 , G03F7/70841 , H01J37/20 , H01J37/3177 , H01J2237/0266 , H01J2237/16 , H01J2237/2006 , H01J2237/20221 , H01J2237/20285 , H02K41/02
Abstract: 一种目标定位装置，其包括用于承载目标的载体，以及用于承载载体并沿着第一方向(X)移动该载体的支撑台。该支撑台包括两个X‑支撑台基座，二者皆布置在公共基板的顶部上，每一个X‑支撑台基座承载一X‑支撑台托架，以及一Y‑梁，所述Y‑梁包括用以承载所述载体并移动该载体在第二方向(Y)上的Y‑支撑台。所述Y‑梁跨接该X‑支撑台托架之间的空间并经由一柔性连接器而被连接到该X‑支撑台托架上。该装置还包括两个电机，每一个用以沿着相应的X‑支撑台基座驱动相应的X‑支撑台托架。该两个电机至少大致被设置在该支撑台下方。
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公开(公告)号：CN106098519B
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201610096405.9
申请日：2016-02-22
Applicant: 爱德万测试株式会社
IPC: H01J37/244 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/3045 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/3177 , H01J2237/043 , H01J2237/0435 , H01J2237/15 , H01J2237/2025 , H01J2237/20285 , H01J2237/30455 , H01J2237/31766 , H01J2237/31774
Abstract: 本发明使用带电粒子束使平台的移动误差降低而形成复杂且微细的图案。本发明提供一种曝光装置及曝光方法，该曝光装置具备：射束产生部，产生带电粒子束；平台部，搭载样品，并使该样品相对于射束产生部相对性地移动；检测部，对平台部的位置进行检测；预测部，基于平台部的检测位置而生成预测平台部的驱动量所得的预测驱动量；及照射控制部，基于预测驱动量而进行向样品照射带电粒子束的照射控制。
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公开(公告)号：CN107017142A
公开(公告)日：2017-08-04
申请号：CN201610958663.3
申请日：2016-10-28
Applicant: 爱德万测试株式会社
IPC: H01J37/07 , H01J37/141 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/14 , H01J37/141 , H01J37/3174 , H01J2237/002 , H01J2237/20285 , H01J2237/31774 , H01J37/07 , H01J37/3177 , H01J2237/1405
Abstract: 本发明的目的在于提供小型且分辨率较高的带电粒子束透镜装置、以及带电粒子束柱及带电粒子束曝光装置。提供一种带电粒子束透镜装置，具备：透镜部，形成在使带电粒子束通过的贯通孔的周围，且使带电粒子束收束或扩散；及支撑部，包围透镜部的外周；透镜部的与支撑部相接的外周部分及支撑部的与透镜部相接的内周部分的至少一者具有用来使冷却用流体沿着透镜部的外周流动的槽部。由此，能够提供小型且分辨率较高的带电粒子束透镜装置。
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