公开(公告)号：CN104737266A

公开(公告)日：2015-06-24

申请号：CN201380053492.4

申请日：2013-10-09

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 佐藤高广 ,  森川晃成 ,  关原雄

IPC: H01J37/317 ,  G01N1/28

CPC classification number: H01J37/3178 ,  G01N1/28 ,  G01N1/286 ,  G01N2001/2873 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3005 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/31 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/208 ,  H01J2237/24564 ,  H01J2237/2813 ,  H01J2237/2817 ,  H01J2237/304 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749 ,  H01J2237/31744

Abstract: 本发明提供一种带电粒子束装置，其具备：带电粒子源；使从带电粒子源放出的带电粒子束聚焦在试样上的物镜；检测从试样放出的二次带电粒子的检测器；能够与试样接触的探针；向试样放出导电性气体的气体喷嘴；以及对探针的驱动和从气体喷嘴的气体放出进行控制的控制部，控制部在向试样照射带电粒子束并加工试样之后、使探针与试样接触之前，使气体从气体喷嘴朝向加工位置放出，并照射带电粒子束而在试样的加工部形成导电性膜，并且具备判断形成于加工部的导电性膜与探针的接触的接触探测部。

公开(公告)号：CN111033678B

公开(公告)日：2023-10-27

申请号：CN201780092133.8

申请日：2017-06-21

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 森川晃成 ,  细谷幸太郎

IPC: H01J37/20

Abstract: 本发明提供一种带电粒子束装置，具备载置试样的工作台、将上述试样上的污染物质除去的清洁器、以及在上述清洁器的使用时通过使上述工作台移动来调节上述清洁器与上述试样的相对位置关系的工作台控制部。

公开(公告)号：CN111033678A

公开(公告)日：2020-04-17

申请号：CN201780092133.8

申请日：2017-06-21

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 森川晃成 ,  细谷幸太郎

IPC: H01J37/20

Abstract: 本发明提供一种带电粒子束装置，具备载置试样的工作台、将上述试样上的污染物质除去的清洁器、以及在上述清洁器的使用时通过使上述工作台移动来调节上述清洁器与上述试样的相对位置关系的工作台控制部。

公开(公告)号：CN104737266B

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201380053492.4

申请日：2013-10-09

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 佐藤高广 ,  森川晃成 ,  关原雄

IPC: H01J37/317 ,  G01N1/28

CPC classification number: H01J37/3178 ,  G01N1/28 ,  G01N1/286 ,  G01N2001/2873 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3005 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/31 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/208 ,  H01J2237/24564 ,  H01J2237/2813 ,  H01J2237/2817 ,  H01J2237/304 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明提供一种带电粒子束装置，其具备：带电粒子源；使从带电粒子源放出的带电粒子束聚焦在试样上的物镜；检测从试样放出的二次带电粒子的检测器；能够与试样接触的探针；向试样放出导电性气体的气体喷嘴；以及对探针的驱动和从气体喷嘴的气体放出进行控制的控制部，控制部在向试样照射带电粒子束并加工试样之后、使探针与试样接触之前，使气体从气体喷嘴朝向加工位置放出，并照射带电粒子束而在试样的加工部形成导电性膜，并且具备判断形成于加工部的导电性膜与探针的接触的接触探测部。