公开(公告)号：CN103229269B

公开(公告)日：2016-09-07

申请号：CN201180056906.X

申请日：2011-11-09

Applicant: 利乐拉瓦尔集团及财务有限公司

Inventor： 本诺·齐格利戈 ,  卢卡·波皮 ,  拉斯-奥克·内斯隆德 ,  沃纳·哈格 ,  库尔特·霍尔姆 ,  安德斯·克里斯蒂安松

IPC: H01J33/04 ,  B32B15/00 ,  C23C30/00 ,  G21K5/04 ,  H01J5/18

CPC classification number: H01J33/04 ,  B32B37/12 ,  B32B37/18 ,  B32B2307/302 ,  B32B2307/714 ,  C23C28/322 ,  C23C28/345 ,  C23C28/3455 ,  G21K5/04 ,  H01J29/006 ,  H01J37/3002 ,  H01J2237/164 ,  Y10T29/49002 ,  Y10T156/10

Abstract: 本发明提供了一种和在腐蚀环境中工作的高性能电子束发生器一起使用的电子出射窗箔。该电子出射窗箔包括夹层结构，该夹层结构具有Ti膜（202）、比Ti具有更高热导率的材料的第一层（204）和能够保护所述膜（202）避免被所述腐蚀环境破坏的材料的挠性第二层（206），其中该第二层（206）面向该腐蚀环境。

公开(公告)号：CN104541355A

公开(公告)日：2015-04-22

申请号：CN201380041387.9

申请日：2013-07-01

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  许斐麻美 ,  河西晋佐 ,  伊东佑博

IPC: H01J37/18 ,  H01J37/04 ,  H01J37/16 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/18 ,  H01J37/04 ,  H01J37/09 ,  H01J37/16 ,  H01J37/20 ,  H01J37/228 ,  H01J37/261 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/045 ,  H01J2237/164 ,  H01J2237/1825 ,  H01J2237/2602 ,  H01J2237/2605

Abstract: 以往的带电粒子线装置均为专用于大气压下或者与大气压大致相等的压力的气体氛围下的观察而被制造的装置，不存在能够使用通常的高真空型带电粒子显微镜而简便地进行大气压或者与大气压大致相等的压力的气体氛围下的观察的装置。并且，在以往的方法中，无法相对于载置于上述的氛围下的试样的相同的位置同时地进行基于带电粒子线与光的观察。因此，在本发明中，具备：将一次带电粒子线照射至试样的带电粒子光学镜筒、对带电粒子光学镜筒的内部进行抽真空的真空泵、配置为对载置有试样的空间与带电粒子光学镜筒进行隔离并供一次带电粒子线透射或者通过的能够装卸的隔膜、以及相对于隔膜以及试样配置于带电粒子光学镜筒的相反的一侧并在带电粒子光学镜筒的光轴的延长线上具有光轴的至少一部分的光学显微镜。

公开(公告)号：CN102341884B

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：CN201080010765.3

申请日：2010-03-05

Applicant: 利乐拉瓦尔集团及财务有限公司

Inventor： 卢卡·波皮 ,  保罗·贝尔代蒂

IPC: H01J33/04 ,  H01J5/18 ,  H01J37/16

CPC classification number: H01J9/263 ,  B23K20/02 ,  H01J5/18 ,  H01J9/24 ,  H01J33/04 ,  H01J37/16 ,  H01J2237/04 ,  H01J2237/164 ,  H01J2237/166 ,  Y10T156/10 ,  Y10T428/13

Abstract: 本发明涉及用于组装电子束产生装置的电子出射窗的方法，包括步骤：在该电子束产生装置的外壳上布置箔托板(208)，沿着至少一条连续的结合线(218)将窗箔(206)结合到框架(214)上，从而形成出射窗子组件(216)，且连接该出射窗子组件(216)到该外壳上。本发明也涉及电子出射窗组件。

公开(公告)号：CN103477415A

公开(公告)日：2013-12-25

申请号：CN201280017689.8

申请日：2012-03-02

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  伊东佑博 ,  大泷智久

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/18 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/18 ,  H01J37/16 ,  H01J37/185 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/16 ,  H01J2237/164 ,  H01J2237/1825 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/2608

Abstract: 本发明提供一种带电粒子束装置乃至带电粒子显微镜，其不很大地改变现有的高真空带电粒子显微镜的结构，就能够在大气气氛或气体气氛下观察观察试样。在采用划分真空气氛和大气气氛（或气体气氛）的薄膜（10）的结构的带电粒子束装置中，能够保持上述薄膜（10），并且将能够将内部维持为大气气氛或气体气氛的配件（121）插入到高真空型带电粒子显微镜的真空室（7）中来使用。该配件（121）被真空密封地固定在上述真空试样室的真空隔壁上。通过用氦气、氢气或水蒸汽这样的质量比大气气体轻的轻元素气体置换配件内部，来进一步提高画质。

公开(公告)号：CN105518821B

公开(公告)日：2017-06-23

申请号：CN201480048806.6

申请日：2014-03-10

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  西村雅子 ,  河西晋佐 ,  铃木宏征

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/263 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/164 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/28

Abstract: 在带电粒子光学系统与试样之间设置了带电粒子束可透射的隔膜的带电粒子束装置中，在试样存在凹凸的情况下，也防止试样与隔膜的接触。根据从检测器(3)输出的检测信号或根据该检测信号生成的图像，监视试样(6)与隔膜(10)的距离，上述检测器(3)检测通过照射初级带电粒子束从试样(6)放出的次级带电粒子。

公开(公告)号：CN106409637A

公开(公告)日：2017-02-15

申请号：CN201610651631.9

申请日：2011-11-09

Applicant: 利乐拉瓦尔集团及财务有限公司

Inventor： 本诺·齐格利戈 ,  卢卡·波皮 ,  拉斯-奥克·内斯隆德 ,  沃纳·哈格 ,  库尔特·霍尔姆 ,  安德斯·克里斯蒂安松

IPC: H01J33/04 ,  C23C28/00 ,  G21K5/04

CPC classification number: H01J33/04 ,  B32B37/12 ,  B32B37/18 ,  B32B2307/302 ,  B32B2307/714 ,  C23C28/322 ,  C23C28/345 ,  C23C28/3455 ,  G21K5/04 ,  H01J29/006 ,  H01J37/3002 ,  H01J2237/164 ,  Y10T29/49002 ,  Y10T156/10

Abstract: 本发明提供了一种和在腐蚀环境中工作的高性能电子束发生器一起使用的电子出射窗箔。该电子出射窗箔包括夹层结构，该夹层结构具有Ti膜(202)、比Ti具有更高热导率的材料的第一层(204)和能够保护所述膜(202)避免被所述腐蚀环境破坏的材料的挠性第二层(206)，其中该第二层(206)面向该腐蚀环境。

公开(公告)号：CN102197301B

公开(公告)日：2015-05-06

申请号：CN200980142967.0

申请日：2009-09-24

Applicant: B-纳诺有限公司

Inventor： D·沙哈尔 ,  R·德皮乔托

IPC: G01N23/00

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J2237/0245 ,  H01J2237/164 ,  Y10T29/4973

Abstract: 一种被抽真空的装置，包括：密封外壳、电子束源、电子光学部件、薄膜、以及检测器。所述薄膜密封所述密封外壳的孔隙。所述密封外壳限定其中保持真空的被抽真空的空间。所述电子束源配置为生成电子束，所述电子束在所述被抽真空的空间内传播、与所述电子光学部件相互作用、并通过所述薄膜。所述密封外壳的第一部分成形为配合由保持在不被抽真空的环境中的不被抽真空的扫描电子显微镜部件限定的空间。

公开(公告)号：CN101297220A

公开(公告)日：2008-10-29

申请号：CN200680039839.X

申请日：2006-10-13

Applicant: 利乐拉瓦尔集团及财务有限公司

Inventor： 安德斯·克里斯蒂安松 ,  拉尔斯·奥克·内斯隆德 ,  汉斯·哈尔斯坦迪斯

IPC: G01T1/29 ,  B65B55/08 ,  G01R19/00 ,  G01T1/16

CPC classification number: A61L2/08 ,  B65B55/08 ,  B65B57/00 ,  G21K5/10 ,  H01J33/04 ,  H01J2237/164 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/24495

Abstract: 本发明涉及传感器(10)，用于检测由电子束发生器沿路径产生的电子束的强度，该电子束通过出射窗口(24)从该发生器射出。该发明特征在于传感器(10)包括位于该路径内并且暴露于该出射窗口(24)的导体(26)，以及用于防护该导体(26)的绝缘壳体(28)，所述壳体(28)与该出射窗口(24)相接合，形成具有所述出射窗口(24)的室(30)，并且该导体(26)设在所述室(30)内。本发明还涉及用于检测电子束强度的系统。

公开(公告)号：CN105874558B

公开(公告)日：2017-08-25

申请号：CN201480072130.4

申请日：2014-12-03

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  中平健治 ,  田中麻纪 ,  河西晋佐

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/16 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/222 ,  H01J37/185 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/164 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/2608 ,  H01J2237/2806

Abstract: 本发明的带电粒子束装置具备：数据处理部，其从检测器的信号中除去一次带电粒子束在到达样本以前由于被散射而对一次带电粒子束的斑点形状产生的影响。例如，在用电子显微镜观察处于非真空气氛中的样本(6)的情况下，从通过检测器取得的信号中除去一次带电粒子束由于隔膜(10)或存在于非真空空间(12)中的气体而散射从而对上述一次带电粒子束的斑点形状产生的影响。由此，能够简便地得到高质量的图像。

公开(公告)号：CN103477415B

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201280017689.8

申请日：2012-03-02

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  伊东佑博 ,  大泷智久

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/18 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/18 ,  H01J37/16 ,  H01J37/185 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/16 ,  H01J2237/164 ,  H01J2237/1825 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/2608

Abstract: 提供一种带电粒子束装置乃至带电粒子显微镜，其不很大地改变现有的高真空带电粒子显微镜的结构，就能够在大气气氛或气体气氛下观察观察试样。在采用划分真空气氛和大气气氛（或气体气氛）的薄膜（10）的结构的带电粒子束装置中，能够保持上述薄膜（10），并且将能够将内部维持为大气气氛或气体气氛的配件（121）插入到高真空型带电粒子显微镜的真空室（7）中来使用。该配件（121）被真空密封地固定在上述真空试样室的真空隔壁上。通过用氦气、氢气或水蒸汽这样的质量比大气气体轻的轻元素气体置换配件内部，来进一步提高画质。