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公开(公告)号:CN103253473B
公开(公告)日:2015-09-16
申请号:CN201310224066.4
申请日:2008-11-26
Applicant: 气体产品与化学公司
CPC classification number: F17C13/04 , B65D90/10 , B65D90/105 , F17C13/06 , F17C2201/0104 , F17C2201/0109 , F17C2201/0166 , F17C2201/035 , F17C2201/052 , F17C2201/054 , F17C2203/0612 , F17C2203/0617 , F17C2205/0311 , F17C2205/0323 , F17C2205/0379 , F17C2209/221 , F17C2221/05 , F17C2223/0123 , F17C2223/0153 , F17C2223/033 , F17C2260/015 , F17C2260/036 , F17C2270/05 , F17C2270/0518 , Y10T137/0441
Abstract: 一种具有人员进入装置的容器,容器的实施方案包括已经焊接或其他永久连接的人员进入装置,所述焊接或其他永久连接显著地降低了经过人员进入装置渗入或漏出容器的可能性。
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公开(公告)号:CN101243285B
公开(公告)日:2013-01-02
申请号:CN200680029368.4
申请日:2006-07-10
Applicant: 普莱克斯技术有限公司
IPC: F17C9/02
CPC classification number: F17C9/02 , F17C2221/05 , F17C2223/0153 , F17C2223/033 , F17C2223/046 , F17C2225/0123 , F17C2225/035 , F17C2227/0107 , F17C2227/0304 , F17C2227/0309 , F17C2227/0369 , F17C2227/0376 , F17C2227/0386 , F17C2227/0393 , F17C2227/047 , F17C2265/015 , F17C2265/017 , F17C2270/0518
Abstract: 一种系统和设备(100),其用于制造缺乏低挥发性杂质的低蒸气压力蒸气流,并将其传送给使用点。该系统提供了在其中容纳液相或两相流体的运送容器(10)。液体和/或两相流体从所述运送容器(10)传输到气化容器(40)中,其中至少蒸发了液体的一部分。富含低挥发性杂质的液流从气化容器(40)中取出,且缺乏低挥发性杂质的流从气化容器(10)中取出。低蒸气压力流被传送给使用点且纯度保持在所需范围内。
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公开(公告)号:CN101506062A
公开(公告)日:2009-08-12
申请号:CN200680050920.8
申请日:2006-11-28
Applicant: 马西森三气公司
Inventor: 罗伯特·托里斯 , 劳伦斯·M·瓦格 , 约瑟夫·V·维尼斯基
IPC: B65D85/84
CPC classification number: C23C16/045 , F17C1/10 , F17C2201/0109 , F17C2201/0114 , F17C2201/0123 , F17C2201/032 , F17C2203/0604 , F17C2203/0607 , F17C2203/0619 , F17C2203/0636 , F17C2203/0639 , F17C2203/0646 , F17C2203/0648 , F17C2203/066 , F17C2205/0323 , F17C2205/0338 , F17C2205/0394 , F17C2209/2172 , F17C2209/221 , F17C2209/227 , F17C2209/232 , F17C2221/037 , F17C2221/05 , F17C2223/0123 , F17C2223/033 , F17C2223/035 , F17C2223/036 , F17C2250/043 , F17C2250/072 , F17C2260/011 , F17C2260/053 , F17C2270/01 , F17C2270/0518
Abstract: 提供一种涂覆气体储存容器的内部的方法,其中所述方法包括将化学气相前体供应到所述储存容器中;以及在所述容器的内表面上形成金属涂层,其中所述涂层由所述化学气相前体形成。而且,提供一种气体储存容器,所述气体储存容器包含具有内表面的气体储存罐,所述气体储存罐具有形成在所述储存罐的所述内表面上的衬里。所述衬里可以包含纯度为约99重量%以上的钨金属。另外,提供一种用于制备金属衬里的气体储存容器的系统,所述系统可以包含化学气相前体发生器,以及用于将所述前体输送到气体储存罐的前体注入组件。所述系统还可以包含用于将气体沉积产物从所述气体储存罐中移除的废气出口。
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公开(公告)号:CN100415587C
公开(公告)日:2008-09-03
申请号:CN200410089932.4
申请日:2004-09-24
Applicant: 气体产品与化学公司
IPC: B62J11/00
CPC classification number: F17C13/04 , B08B9/00 , C23C16/4402 , F17C2221/05 , F17C2223/0153 , F17C2223/033 , F17C2223/043 , F17C2223/047 , F17C2227/044 , F17C2260/044 , F17C2270/0518 , Y10T137/3127
Abstract: 一种容器,包括:两个端口;第一隔断阀,该第一隔断阀具有两个隔膜阀,每个隔膜阀具有一阀座侧和一隔膜侧,每一阀座侧面向另一阀座侧,且与分配导管的第一端相连接,一隔膜侧与第一端口相连,另一隔膜侧与排气和或真空相连;第二阀,该第二阀与推动气体导管和第二端口相连。
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公开(公告)号:CN100390453C
公开(公告)日:2008-05-28
申请号:CN200410102208.0
申请日:2004-12-16
Applicant: 科学玻璃技术新加坡有限公司
Inventor: 马里纳斯·弗兰斯·范德马斯
CPC classification number: F17C7/00 , F17C13/026 , F17C2205/0111 , F17C2205/0126 , F17C2205/013 , F17C2205/0338 , F17C2205/037 , F17C2221/05 , F17C2223/0123 , F17C2223/035 , F17C2223/036 , F17C2225/0123 , F17C2225/033 , F17C2225/035 , F17C2250/04 , F17C2250/0439 , F17C2265/012 , F17C2270/05 , F17C2270/0545 , G01N31/223 , Y10T137/8158
Abstract: 一种调节器,设置有连接到诸如气瓶、压缩机或者气体发生器的气源(1)的入口连接(8),并且设置有与另外的气体管道系统(4)连接的出口连接(9),调节器(2)设置有通过减压器互相连接的高压腔和低压腔,使得在使用中低压腔气体压力低于高压腔气体压力,调节器(2)设置有用于可互换的指示器单元(17)的连接(16),连接(16)使得来自气源(1)的气体流过指示器单元(17),指示器单元(17)设置有用于显示流过指示器单元(17)的气体中不合要求成分的装置。
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公开(公告)号:CN1109128C
公开(公告)日:2003-05-21
申请号:CN97122788.8
申请日:1997-11-24
Applicant: 液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司
IPC: C23C16/44
CPC classification number: F17C13/02 , F17C7/04 , F17C13/04 , F17C13/084 , F17C2205/0338 , F17C2221/05 , F17C2223/0153 , F17C2227/044 , F17C2250/0694 , F17C2260/023 , F17C2270/0518
Abstract: 本发明提供了一种用来从液态输送气体的新型系统和方法。该系统包括:(a)一压缩液化气罐,其上连接有一输气管,前述气体通过该输气管被输出;(b)一前述气罐被置于其中的供气柜;和(c)提高环境和前述气罐间的传热速率,但不把前述气罐内的液体温度升高到环境温度以上的装置。前述设备和方法允许从供气柜中以高流速受控输送液化气。本发明尤其可应用于向半导体加工工具输送气体。
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公开(公告)号:CN1338586A
公开(公告)日:2002-03-06
申请号:CN01123270.6
申请日:2001-06-20
Applicant: 液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司
CPC classification number: F17C7/04 , F17C9/02 , F17C2221/05 , F17C2223/013 , F17C2225/0123 , F17C2227/0369 , F17C2250/043 , F17C2250/0631 , F17C2270/0518 , Y02E60/321
Abstract: 提供了一种新型的用来输送来自液化状态气体的系统和方法。所述系统包括(a)一个输送容器,其中盛装有主体数量的液化气体;(b)一个热交换器,安装在所述输送容器上,用来专门提供能量或从所述液化气体移走能量;和(c)一个压力控制器,用来测压力和调节输送到所述液化气体的能量。该系统和方法可允许来自输送容器的液化气体以预定的流速进行可控的输送。它特别适合用于输送气体到半导体加工工厂中。
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公开(公告)号:CN1213707A
公开(公告)日:1999-04-14
申请号:CN97122788.8
申请日:1997-11-24
Applicant: 液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司
IPC: C23C16/44
CPC classification number: F17C13/02 , F17C7/04 , F17C13/04 , F17C13/084 , F17C2205/0338 , F17C2221/05 , F17C2223/0153 , F17C2227/044 , F17C2250/0694 , F17C2260/023 , F17C2270/0518
Abstract: 本发明提供了一种用来从液态输送气体的新型系统和方法。该系统包括:(a)一压缩液化气罐,其上连接有一输气管,前述气体通过该输气管被输出;(b)一前述气罐被置于其中的供气柜;和(c)提高环境和前述气罐间的传热速率,但不把前述气罐内的液体温度升高到环境温度以上的装置。前述设备和方法允许从供气柜中以高流速受控输送液化气。本发明尤其可应用于向半导体加工工具输送气体。
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公开(公告)号:CN103547531A
公开(公告)日:2014-01-29
申请号:CN201280024088.X
申请日:2012-05-15
Applicant: 奥加诺株式会社 , 昭和电工气体产品株式会社
IPC: C01B31/20
CPC classification number: F25J1/0027 , B01D5/006 , B01D5/0072 , B01D5/0096 , B01D53/04 , B01D53/0438 , B01D53/0446 , B01D2253/102 , B01D2253/104 , B01D2253/106 , B01D2253/108 , B01D2256/22 , B01D2257/70 , B01D2257/80 , B01D2258/0216 , C01B32/50 , F17C2221/013 , F17C2221/05 , Y02P20/152 , Y02P70/34
Abstract: 提供一种可以生成不含水分和有机物质如油的高纯度液体CO2的液化二氧化碳制备设备,其包括:对CO2进行再循环处理的再循环系统;和将来自外部的CO2源的CO2导入到再循环系统的导入装置。再循环系统至少包括将CO2汽化的蒸发器,将来自蒸发器出口的CO2冷凝的冷凝器,和储存由冷凝器生成的液体CO2的储存槽。在储存槽中的液体CO2被进料至应用点和进料至蒸发器。在从外部的CO2源到冷凝器的管道上的CO2气体流动的位置,设置除去水分和有机物质(油)的吸附装置。
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公开(公告)号:CN103253473A
公开(公告)日:2013-08-21
申请号:CN201310224066.4
申请日:2008-11-26
Applicant: 气体产品与化学公司
CPC classification number: F17C13/04 , B65D90/10 , B65D90/105 , F17C13/06 , F17C2201/0104 , F17C2201/0109 , F17C2201/0166 , F17C2201/035 , F17C2201/052 , F17C2201/054 , F17C2203/0612 , F17C2203/0617 , F17C2205/0311 , F17C2205/0323 , F17C2205/0379 , F17C2209/221 , F17C2221/05 , F17C2223/0123 , F17C2223/0153 , F17C2223/033 , F17C2260/015 , F17C2260/036 , F17C2270/05 , F17C2270/0518 , Y10T137/0441
Abstract: 一种具有人员进入装置的容器,容器的实施方案包括已经焊接或其他永久连接的人员进入装置,所述焊接或其他永久连接显著地降低了经过人员进入装置渗入或漏出容器的可能性。
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