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公开(公告)号：CN101243285B
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN200680029368.4
申请日：2006-07-10
Applicant: 普莱克斯技术有限公司
IPC: F17C9/02
CPC classification number: F17C9/02 , F17C2221/05 , F17C2223/0153 , F17C2223/033 , F17C2223/046 , F17C2225/0123 , F17C2225/035 , F17C2227/0107 , F17C2227/0304 , F17C2227/0309 , F17C2227/0369 , F17C2227/0376 , F17C2227/0386 , F17C2227/0393 , F17C2227/047 , F17C2265/015 , F17C2265/017 , F17C2270/0518
Abstract: 一种系统和设备(100)，其用于制造缺乏低挥发性杂质的低蒸气压力蒸气流，并将其传送给使用点。该系统提供了在其中容纳液相或两相流体的运送容器(10)。液体和/或两相流体从所述运送容器(10)传输到气化容器(40)中，其中至少蒸发了液体的一部分。富含低挥发性杂质的液流从气化容器(40)中取出，且缺乏低挥发性杂质的流从气化容器(10)中取出。低蒸气压力流被传送给使用点且纯度保持在所需范围内。
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公开(公告)号：CN101243285A
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：CN200680029368.4
申请日：2006-07-10
Applicant: 普莱克斯技术有限公司
IPC: F17C9/02
CPC classification number: F17C9/02 , F17C2221/05 , F17C2223/0153 , F17C2223/033 , F17C2223/046 , F17C2225/0123 , F17C2225/035 , F17C2227/0107 , F17C2227/0304 , F17C2227/0309 , F17C2227/0369 , F17C2227/0376 , F17C2227/0386 , F17C2227/0393 , F17C2227/047 , F17C2265/015 , F17C2265/017 , F17C2270/0518
Abstract: 一种系统和设备(100)，其用于制造缺乏低挥发性杂质的低蒸气压力蒸气流，并将其传送给使用点。该系统提供了在其中容纳液相或两相流体的运送容器(10)。液体和/或两相流体从所述运送容器(10)传输到气化容器(40)中，其中至少蒸发了液体的一部分。富含低挥发性杂质的液流从气化容器(40)中取出，且缺乏低挥发性杂质的流从气化容器(10)中取出。低蒸气压力流被传送给使用点且纯度保持在所需范围内。
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公开(公告)号：CN101137451A
公开(公告)日：2008-03-05
申请号：CN200580018530.8
申请日：2005-05-31
Applicant: 普莱克斯技术有限公司
CPC classification number: H01L21/02101 , B08B7/0021 , F17C9/02 , F17C2205/0323 , F17C2205/0338 , F17C2205/0341 , F17C2221/013 , F17C2223/0153 , F17C2223/0169 , F17C2223/035 , F17C2223/046 , F17C2225/0123 , F17C2225/036 , F17C2227/0135 , F17C2227/0306 , F17C2227/0337 , F17C2250/0626 , F17C2250/0631 , F17C2265/012 , F17C2270/0518
Abstract: 本发明提供供应高压二氧化碳到具有可变二氧化碳流量要求的应用工具中的新方法和系统。方法包括提供高压二氧化碳进料流到缓冲容积(80)，确定将输送到应用工具(100)的二氧化碳量。缓冲容积(80)中的压力维持在超过应用工具(100)所需压力之上。进一步调节缓冲容积(80)的温度并基于此时的缓冲容积(80)大小改变二氧化碳密度。其后，来自缓冲容积(80)的二氧化碳以应用工具(100)需要的可变流速输送。
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