公开(公告)号：CN1338586A

公开(公告)日：2002-03-06

申请号：CN01123270.6

申请日：2001-06-20

Applicant: 液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司

Inventor： R·J·尤迪查斯 ,  B·J·朱希克 ,  H-C·王 ,  R·G·欧文

IPC: F17D1/02 ,  F17D3/01 ,  F17C7/04 ,  F17C13/02

CPC classification number: F17C7/04 ,  F17C9/02 ,  F17C2221/05 ,  F17C2223/013 ,  F17C2225/0123 ,  F17C2227/0369 ,  F17C2250/043 ,  F17C2250/0631 ,  F17C2270/0518 ,  Y02E60/321

Abstract: 提供了一种新型的用来输送来自液化状态气体的系统和方法。所述系统包括(a)一个输送容器,其中盛装有主体数量的液化气体;(b)一个热交换器,安装在所述输送容器上,用来专门提供能量或从所述液化气体移走能量;和(c)一个压力控制器,用来测压力和调节输送到所述液化气体的能量。该系统和方法可允许来自输送容器的液化气体以预定的流速进行可控的输送。它特别适合用于输送气体到半导体加工工厂中。