超纯水制造装置
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115702120A

    公开(公告)日:2023-02-14

    申请号:CN202180044389.8

    申请日:2021-06-11

    Abstract: 本发明提供一种超纯水制造装置,以简易的构成抑制从运转中的超滤膜产生微粒。超纯水制造装置(1)具有:第一超滤膜(39),其与使用点(51)连接,且向使用点(51)供给超纯水;第一浓缩水返送管线(L3),其将第一超滤膜(39)的浓缩水返送至第一超滤膜(39)的上游;压力计(PI),其对第一超滤膜(39)的出口压力进行测量;以及浓缩水流量调整单元(第一阀)(V1),其对浓缩水的流量进行调整。浓缩水流量调整单元(V1)能被操作以使在浓缩水的流量变化时由压力计(PI)测量出的第一超滤膜(39)的出口压力的变动收敛于给定的范围。

    水质管理方法、信息处理装置以及信息处理系统

    公开(公告)号:CN115335678A

    公开(公告)日:2022-11-11

    申请号:CN202180025468.4

    申请日:2021-01-26

    Abstract: 本发明提供一种水质管理方法,进行分析对象水中含有的微粒的定量分析和定性分析中的至少一者,其包括:将设置有捕捉微粒的微粒捕捉膜(22)的过滤装置(20)与供分析对象水流动的流通管(11)连接的工序;在给定的期间从流通管(11)向安装于过滤装置(20)的微粒捕捉膜(22)通水分析对象水,并捕捉分析对象水中含有的微粒而制成微粒捕捉膜试样的工序;以及在任意的定时进行成为对象的通水期间的微粒捕捉膜试样的定量分析和定性分析中的至少一者的工序。

    超纯水生产设备
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109562964B

    公开(公告)日:2021-11-05

    申请号:CN201780047472.4

    申请日:2017-06-20

    Abstract: 一种超纯水生产设备(1),包括超滤膜装置(10)。所述超滤膜装置(10)包括串联连接的多个超滤膜(11,12)。所述多个超滤膜(11,12)包括第一超滤膜(11)和位于所述多个超滤膜(11,12)中下游最远处的第二超滤膜(12),所述第二超滤膜(12)具有与所述第一超滤膜(11)的过滤性能不同的过滤性能。

    超纯水制造装置的运转管理方法及运转管理系统

    公开(公告)号:CN119522194A

    公开(公告)日:2025-02-25

    申请号:CN202380055511.0

    申请日:2023-06-02

    Abstract: 具有离子交换装置(6)的超纯水制造装置(1)的运转管理方法包含:对来自离子交换装置(6)的处理水中包含的金属成分经时定量的工序;基于经时定量的结果,取得金属成分的浓度的经时变化的工序;以及基于取得的经时变化,对填充于离子交换装置(6)的内部的离子交换树脂的性能进行评价的工序。

    超纯水制造系统以及超纯水制造方法

    公开(公告)号:CN116601120A

    公开(公告)日:2023-08-15

    申请号:CN202180078608.4

    申请日:2021-08-04

    Abstract: 提供超纯水制造系统,能以更简易的构成高效地去除超纯水中所含的微粒。超纯水制造系统(1)具有:超纯水供给管线(L1),其与使用点(P.O.U.)连接,且向使用点(P.O.U.)供给超纯水;返回管线(L2),其使未被使用点(P.O.U.)使用的超纯水返回至超纯水供给管线(L1);以及至少一个离子交换装置(10),其设置于超纯水供给管线(L1)。在该至少一个离子交换装置(10)当中的离使用点(P.O.U.)最近的最终级离子交换装置(10)中流通的被处理水的空间速度为170hr‑1以上。

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