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公开(公告)号：CN1155655A
公开(公告)日：1997-07-30
申请号：CN96112702.3
申请日：1996-10-09
Applicant: 液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司
Inventor： 詹姆斯·迈克安德鲁 , 王华赤 , 小本吉明·J·朱茨克
Abstract: 一种新型的腔废气监测系统。该系统包括一个外部接有排气管的腔。排气管包括一个取样区，基本上全部废气均通过取样区。该系统还包括一个用于检测气相各种分子形式的吸收光谱学测量系统。测量系统包括光源，以及一个经一个或几个光传输窗与取样区在光路上相连的主检测器。光源发出的光束经一个或几个光传输窗中的一个射入取样区。光束通过取样区，并经一个或几个光传输窗中的一个射出取样区。
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公开(公告)号：CN1109128C
公开(公告)日：2003-05-21
申请号：CN97122788.8
申请日：1997-11-24
Applicant: 液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司
IPC: C23C16/44
CPC classification number: F17C13/02 , F17C7/04 , F17C13/04 , F17C13/084 , F17C2205/0338 , F17C2221/05 , F17C2223/0153 , F17C2227/044 , F17C2250/0694 , F17C2260/023 , F17C2270/0518
Abstract: 本发明提供了一种用来从液态输送气体的新型系统和方法。该系统包括：(a)一压缩液化气罐，其上连接有一输气管，前述气体通过该输气管被输出；(b)一前述气罐被置于其中的供气柜；和(c)提高环境和前述气罐间的传热速率，但不把前述气罐内的液体温度升高到环境温度以上的装置。前述设备和方法允许从供气柜中以高流速受控输送液化气。本发明尤其可应用于向半导体加工工具输送气体。
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公开(公告)号：CN1213707A
公开(公告)日：1999-04-14
申请号：CN97122788.8
申请日：1997-11-24
Applicant: 液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司
IPC: C23C16/44
CPC classification number: F17C13/02 , F17C7/04 , F17C13/04 , F17C13/084 , F17C2205/0338 , F17C2221/05 , F17C2223/0153 , F17C2227/044 , F17C2250/0694 , F17C2260/023 , F17C2270/0518
Abstract: 本发明提供了一种用来从液态输送气体的新型系统和方法。该系统包括:(a)一压缩液化气罐,其上连接有一输气管,前述气体通过该输气管被输出;(b)一前述气罐被置于其中的供气柜;和(c)提高环境和前述气罐间的传热速率,但不把前述气罐内的液体温度升高到环境温度以上的装置。前述设备和方法允许从供气柜中以高流速受控输送液化气。本发明尤其可应用于向半导体加工工具输送气体。
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