公开(公告)号：CN1109128C

公开(公告)日：2003-05-21

申请号：CN97122788.8

申请日：1997-11-24

Applicant: 液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司

Inventor： 本杰明·朱茨克 ,  里查德·乌迪斯查斯 ,  王华赤

IPC: C23C16/44

CPC classification number: F17C13/02 ,  F17C7/04 ,  F17C13/04 ,  F17C13/084 ,  F17C2205/0338 ,  F17C2221/05 ,  F17C2223/0153 ,  F17C2227/044 ,  F17C2250/0694 ,  F17C2260/023 ,  F17C2270/0518

Abstract: 本发明提供了一种用来从液态输送气体的新型系统和方法。该系统包括：(a)一压缩液化气罐，其上连接有一输气管，前述气体通过该输气管被输出；(b)一前述气罐被置于其中的供气柜；和(c)提高环境和前述气罐间的传热速率，但不把前述气罐内的液体温度升高到环境温度以上的装置。前述设备和方法允许从供气柜中以高流速受控输送液化气。本发明尤其可应用于向半导体加工工具输送气体。

公开(公告)号：CN1213707A

公开(公告)日：1999-04-14

申请号：CN97122788.8

申请日：1997-11-24

Applicant: 液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司

Inventor： 本杰明·朱茨克 ,  里查德·乌迪斯查斯 ,  王华赤

IPC: C23C16/44

CPC classification number: F17C13/02 ,  F17C7/04 ,  F17C13/04 ,  F17C13/084 ,  F17C2205/0338 ,  F17C2221/05 ,  F17C2223/0153 ,  F17C2227/044 ,  F17C2250/0694 ,  F17C2260/023 ,  F17C2270/0518

Abstract: 本发明提供了一种用来从液态输送气体的新型系统和方法。该系统包括:(a)一压缩液化气罐,其上连接有一输气管,前述气体通过该输气管被输出;(b)一前述气罐被置于其中的供气柜;和(c)提高环境和前述气罐间的传热速率,但不把前述气罐内的液体温度升高到环境温度以上的装置。前述设备和方法允许从供气柜中以高流速受控输送液化气。本发明尤其可应用于向半导体加工工具输送气体。

公开(公告)号：CN1183557A

公开(公告)日：1998-06-03

申请号：CN97122914.7

申请日：1997-11-25

Applicant: 液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司

Inventor： 本杰明·朱茨克 ,  詹姆斯·麦克安德鲁 ,  德米奇·兹那门斯基

IPC: G01N31/00

CPC classification number: G01N33/0004

Abstract: 快速确定气体源杂质浓度的方法。测量设备通过具有配置在气体出口上游的入口的采样管与源气相连。烘烤采样管,结束时其中杂质的浓度分布包含2个区。第1区,气体入口延伸到下游一个点,杂质的汽相浓度小于采样管气体的杂质汽相浓度。第2区中,第1区延伸到出口,杂质汽相浓度大于采样管气体的杂质汽相浓度。一种快速确定把气体供给使用点的气体分配系统中杂质浓度的方法。适用于半导体制造业,测量供给处理设备的气体的杂质。