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公开(公告)号：CN119666206A
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202411843885.1
申请日：2024-12-14
Applicant: 西北工业大学
Abstract: 本发明一种光学浮动单元式MEMS传感器，属于MEMS传感器领域；包括MEMS芯片模块及与其对接的光纤模块，两者通过封装模块进行合体固定连接；所述MEMS芯片模块的对接面上开有定位孔，定位孔作为MEMS芯片模块的信号输入口，其中心轴垂直于MEMS芯片模块内反射光栅，且定位孔能够覆盖反射光栅对应区域；将光纤模块同轴插装于定位孔内，通过定位孔保证了光纤模块内光纤与反射光栅的垂直对准，使得光纤发出的光信号垂直入射至反射光栅。本发明提高了传感器的灵敏度，解决了现有技术不能一次性精准装配到位的问题。
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公开(公告)号：CN118960988A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202410969554.6
申请日：2024-07-19
Applicant: 西北工业大学
IPC: G01K11/26
Abstract: 本发明公开了一种声表面波温度传感器及制备方法，解决现有声表面波传感器灵敏度较低、测量不准确以及高敏感单元制备困难、压电基底应变传递分散等问题；一种声表面波温度传感器包括防护层、导电层、压电层和热应力补偿层；导电层设有接地端焊盘、信号端焊盘和叉指电极；压电层被设有第一应变隔离梁、第二应变隔离梁、第三应变隔离梁和第四应变隔离梁；四个应变隔离梁组成应变隔离结构；热应力补偿层被设为在温度变化时，热膨胀系数较大的热应力补偿层给压电层热应力补偿；应变隔离结构与热应力补偿层使波导对于温度变化敏感，实现单芯片温度更精准的测量，提高了测量准确性和灵敏度。
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公开(公告)号：CN117629050A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311506383.5
申请日：2023-11-14
Applicant: 西北工业大学
Abstract: 本发明涉及一种面向高温极端环境的高热稳定性薄膜应变计及其制备方法，在被测构件表面，从下到上依次是被测构件、介电绝缘层、应变敏感薄膜以及高温电极。所述应变敏感薄膜是基于MEMS技术制备的氧化铟锡(ITO：In2O3‑10％SnO2)和氧化铝(Al2O3)的复合薄膜，Al2O3作为第二相引入并通过热处理工艺均匀的分布在ITO提高了薄膜内部ITO抗氧化性。Al2O3的引入不仅在；同时Al3+取代ITOIn内部形成了绝缘晶界相3+降低了载流子的迁移，率，进而提高了薄膜应变计的热稳定性。本发明适用于航空航天、核工业等高温部件在不影响正常运行条件下的高温应变原位高精度测量。
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公开(公告)号：CN117168663A
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202310949257.0
申请日：2023-07-31
Applicant: 西北工业大学
Abstract: 本发明涉及一种高灵敏度压阻式压力传感器，包括：敏感薄膜、第一惠斯通电桥以及第二惠斯通电桥，敏感薄膜上设置有凸台结构，凸台结构用于将敏感薄膜撑起形成拉应力集中区和压应力集中区；第一惠斯通电桥用于检测压应力集中区的压应力；第二惠斯通电桥用于检测拉应力集中区的拉应力；其中，第一惠斯通电桥和第二惠斯通电桥串联。本装置提高传感器的压力检测的灵敏度。
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公开(公告)号：CN115808260A
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN202211507649.3
申请日：2022-11-29
Applicant: 西北工业大学
Abstract: 本发明公开了一种声表面波微传感器及其制备方法，所述微传感器包括：下层基底，下层基底上设有盲槽；上层基底，上层基底上设有第一通孔，第二通孔，连接第一通孔和第二通孔的第一应力释放桥、第二应力释放桥，及第一通孔、第二通孔、第一应力释放桥和第二应力释放桥围成的应力隔离梁，应力隔离梁靠近下层基底侧悬空；盲槽与上层基底密封为压力敏感单元，应力隔离梁与下层基底连接为温度敏感单元，压力敏感单元和温度敏感单元无重合区且其声表面波谐振频率、工作频段均不同；导电层，被配置为转换交流电信号为周期性电磁场并加载至上层基底中，获取压力敏感单元与温度敏感单元的声表面波。实现高温转子压力和温度测量，并提高了测量准确性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115122549A
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202210748294.0
申请日：2022-06-22
Applicant: 西北工业大学
Abstract: 本发明公开了一种柔性伞状微结构阵列超表面及其制备方法，属于微纳制造领域。该柔性伞状微结构阵列，材料为热固化或光固化成型聚合物材料，伞状微结构由伞帽、伞帽边缘垂直向下的突起、伞柄构成，伞状微结构高度为12μm～55μm；伞帽表面平整，直径为7μm～40μm，厚度为2μm～5m；伞帽边缘垂直向下突起的高度为1μm～4μm，厚度为1μm～4μm，伞帽边缘垂直向下突起的外边缘与伞帽外边缘平齐，无突出部分。本发明利用双面光刻工艺制备复杂伞状微结构阵列模具，利用聚合物翻模工艺一次成型得到伞帽边缘具有垂直向下突起的柔性伞状微结构阵列超表面，与现有的3D打印技术相比，生产效率更高，实现了柔性伞状微结构阵列超表面的可控较大面积制备。
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公开(公告)号：CN114107923B
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202111289671.0
申请日：2021-11-02
Applicant: 西北工业大学
Abstract: 本发明公开了一种金属基薄膜热流微传感器及其制备方法，属于传感器技术领域。该传感器结构主要包括金属基底，复合绝缘膜层，薄膜热敏电阻，薄膜引线，铂丝和铂浆构成。传感器采用金属基底，能有效降低被测金属结构件间的横向传热，有效提高其在金属结构上的热流测试精度。本发明采用四线制测量薄膜热电阻阻值，获取金属基底表面温度变化情况，并结合温度—热流推算方法，最终实现热流的高精度测量。
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公开(公告)号：CN110787361B
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN201911045358.5
申请日：2019-10-30
Applicant: 西北工业大学
Abstract: 本发明公开了一种空心倾斜金属微针阵列及其基于SU‑8模具的制造方法，属于微纳制造工艺领域。该微针阵列，金属材料为可电镀金属，空心倾斜金属微针呈斜圆锥状，倾斜角度为50°～70°；垂直高度为500μm～650μm；空心倾斜金属微针底部到尖端为等壁厚结构，壁厚为8μm～10μm；空心倾斜金属微针底部外径为150μm～250μm；空心倾斜金属微针锥角为10°～15°，空心倾斜金属微针顶部带有尖端。本发明将SU‑8模具掩膜图形转移到玻璃片上，避免了传统接触式曝光存在气隙的问题，提高到达各层光刻胶的紫外线光强，微针模具与基底结合力更强。充分利用OmniCoat，提高了SU‑8模具与玻璃片的粘附性，同时工艺后期更容易去除SU‑8模具。倾斜圆台微针经过RIE刻蚀获得尖端，实现了金属微针尖端结构。
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公开(公告)号：CN112572763A
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN202011447676.7
申请日：2020-12-09
Applicant: 西北工业大学
IPC: B64C3/38
Abstract: 本发明公开了一种用于双向可变后缘机翼的换向机构,属于航空航天装备技术领域。该换向机构置于双向可变后缘机翼的固定段和变形段之间，主要包括上滑片1、下滑片2、电磁铁安装块3、弹簧预紧过渡块4和弹簧组、限位块5。通过上下滑片的相对锁定和滑动，增加上侧或下侧弦长，减少双向变形的阻力，提高双向变形的稳定性。实验证明，通过电源给一侧电磁铁进行通电，卡销弹出，完成滑片锁死，从而实现换向，减少变形阻力。经过多次测试，可以实现换向的动作，且为一次性瞬间通断电，能耗小。
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公开(公告)号：CN110787662A
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201911045317.6
申请日：2019-10-30
Applicant: 西北工业大学
Abstract: 本发明公开了一种具有水下气体拦截或收集功能的温控膜及制备方法，属于功能材料技术领域。该温控膜由绝热层、两层超疏水/超亲气微结构层、两层加热电极、两层温敏层组成，两层加热电极层对称分布在绝热层上下表面；两层超疏水/超亲气微结构层将加热电极包裹并与绝热层组成三明治结构；温敏材料固定在两层超疏水微结构层外表面；加热电极间有贯通整个温控膜的通孔。本发明的温控膜可用于水介质中对气泡的拦截或收集，由于水下拦截或收集主要关系到气泡的物理性质，而与气体种类无关，因而可拦截或收集多种气体，如空气、氧气、甲烷、氢气、氮气等。
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