一种光学浮动单元式MEMS传感器
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119666206A

    公开(公告)日:2025-03-21

    申请号:CN202411843885.1

    申请日:2024-12-14

    Abstract: 本发明一种光学浮动单元式MEMS传感器,属于MEMS传感器领域;包括MEMS芯片模块及与其对接的光纤模块,两者通过封装模块进行合体固定连接;所述MEMS芯片模块的对接面上开有定位孔,定位孔作为MEMS芯片模块的信号输入口,其中心轴垂直于MEMS芯片模块内反射光栅,且定位孔能够覆盖反射光栅对应区域;将光纤模块同轴插装于定位孔内,通过定位孔保证了光纤模块内光纤与反射光栅的垂直对准,使得光纤发出的光信号垂直入射至反射光栅。本发明提高了传感器的灵敏度,解决了现有技术不能一次性精准装配到位的问题。

    一种面向高温管路应变测量的光纤光栅传感器及其温度补偿方法

    公开(公告)号:CN118424346A

    公开(公告)日:2024-08-02

    申请号:CN202410516136.1

    申请日:2024-04-27

    Abstract: 本发明一种面向高温管路应变测量的光纤光栅传感器及其温度补偿方法,属于光纤光栅传感器技术领域;包括贴合于待测管路上的柔性金属基片和安装于其上的镀金光纤;所述柔性金属基片上设有镀金光纤定位槽和悬臂式结构,定位槽贯穿设置于柔性金属基片上表面的长度方向,与悬臂式结构的长度方向平行;位于悬臂式结构一端上的定位槽为非应变感应区,位于另一端上的定位槽为应变感应区,即由非应变感应区和应变感应区构成温度补偿结构;所述镀金光纤上刻写两段初始中心波长相同的Bragg光栅,其中一段通过两点固定式固定于应变感应区,另一端置于非应变感应区。本发明耐温性好、体积小、安装简单,可实现对高温管路应变参数的准确测量。

    一种用于宽量程高分辨力流速微传感器的水下静态标定方法及系统

    公开(公告)号:CN118150864A

    公开(公告)日:2024-06-07

    申请号:CN202410130573.X

    申请日:2024-01-30

    Abstract: 本发明一种用于宽量程高分辨力流速微传感器的水下静态标定方法及系统,属于测量和测试技术领域;方法步骤为:根据流速微传感器所需测量量程设定标定流场的高、低速分界值,即确定高流速范围和低流速范围;根据所确定高、低流速范围分别设计高流速流场环境和低流速流场环境;启动高流速流场环境,采集各目标测速点的流速微传感器输出信号,经分析后完成流速微传感器在高流速状态下的标定;启动低流速流场环境,采集各目标测速点的流速微传感器输出信号,经分析后完成流速微传感器在低流速状态下的标定。本发明实现了对流速传感器高精度、宽量程、高分辨力的标定。

    一种基于透镜阵列光学传导的剪应力微传感器及其封装方法

    公开(公告)号:CN119860870A

    公开(公告)日:2025-04-22

    申请号:CN202411958678.0

    申请日:2024-12-30

    Abstract: 本发明一种基于透镜阵列光学传导的剪应力微传感器及其封装方法,属于MEMS传感器技术领域;包括沿光路依次设置的光纤、透射透镜组、MEMS芯片、反射透镜组、光电探测器,由光纤传输的光信号经透射透镜组传输至MEMS芯片,经MEMS芯片的反射光栅将携带位移的光信号反射,反射后的光信号再经反射透镜组传递至光电探测器的有效工作区域;通过光电探测器将光信号转化为电信号,从而获取用于计算剪应力的位移信息。本发明有效避免了粘接胶固定光纤时容易出现的光纤位移和角度偏移问题,降低了光损耗,提升了光信号的传输效率和稳定性,从而增强了传感器的灵敏度。克服光路传输损耗大和稳定性差等问题。

    一种绝热条件下的热流测量装置及热流计算方法

    公开(公告)号:CN118882868A

    公开(公告)日:2024-11-01

    申请号:CN202410902452.2

    申请日:2024-07-07

    Abstract: 本发明一种绝热条件下的热流测量装置及热流计算方法,属于热流测量技术领域;包括测量模块和设置于其外围的绝热模块,所述绝热模块用于阻隔测量模块边界的热传递;所述测量模块包括热阻块及设置于其上的温差敏感元件、温度敏感元件,通过温差敏感元件测量热阻块受热面、背面之间温差数据,通过温度敏感元件测量热阻块背面温度数据。本发明可用于各种热流测量场景,满足快速、准确的热流测量需求,解决了传统热阻式热流测量装置响应时间长的问题以及热容式热流测量装置有效测量时间短、测量精度低的问题。

    一种流体壁面剪压应力复合阵列传感器芯片

    公开(公告)号:CN119437531A

    公开(公告)日:2025-02-14

    申请号:CN202411621127.5

    申请日:2024-11-14

    Abstract: 本发明一种流体壁面剪压应力复合阵列传感器芯片,属于MEMS传感器技术领域;包括集成于芯片上的若干剪切应力传感器和压应力传感器,所述剪切应力传感器的整体排布阵型呈正十字形,压应力传感器的整体排布阵型呈×字形,将两种阵型同心叠加得到宫格式阵列布局;宫格式阵列的中心位置为压力传感器,若干剪切应力传感器以中心压力传感器为辐射中心沿正十字方向向外辐射布置,用以测量二维剪切应力,若干压应力传感器以中心压力传感器为辐射中心沿×字方向向外辐射布置,用以测量梯度压力。本发明解决了在复杂流体环境中,单点测量难以充分反映实际的流场应力分布的问题。

    一种自适应流向的仿海豹胡须流场探测器

    公开(公告)号:CN117570933A

    公开(公告)日:2024-02-20

    申请号:CN202311418780.7

    申请日:2023-10-30

    Abstract: 本发明公开了一种自适应流向的仿海豹胡须流场探测器,用导向翼结构带动仿海豹胡须结构柱体发生转动,自动适应流向,克服了仿海豹胡须结构抑制涡激振动能力在大攻角下失效的问题。在十字梁上布置应变片,通过仿海豹胡须结构柱体带动十字梁结构发生形变,应变片将形变信息转化为电信号输出,基于胡须柱在均匀流场中的阻力实现流速感知功能,基于胡须柱在尾流场中的升力实现尾涡探测功能。解决了仿海豹胡须结构柱体抑制涡激振动特性具有方向敏感性的问题,实现了全方向上的涡激振动抑制,降低了水下流场探测的噪声干扰,提高了检测精度。

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