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公开(公告)号：CN110787361A
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201911045358.5
申请日：2019-10-30
Applicant: 西北工业大学
Abstract: 本发明公开了一种空心倾斜金属微针阵列及其基于SU-8模具的制造方法，属于微纳制造工艺领域。该微针阵列，金属材料为可电镀金属，空心倾斜金属微针呈斜圆锥状，倾斜角度为50°～70°；垂直高度为500μm～650μm；空心倾斜金属微针底部到尖端为等壁厚结构，壁厚为8μm～10μm；空心倾斜金属微针底部外径为150μm～250μm；空心倾斜金属微针锥角为10°～15°，空心倾斜金属微针顶部带有尖端。本发明将SU-8模具掩膜图形转移到玻璃片上，避免了传统接触式曝光存在气隙的问题，提高到达各层光刻胶的紫外线光强，微针模具与基底结合力更强。充分利用OmniCoat，提高了SU-8模具与玻璃片的粘附性，同时工艺后期更容易去除SU-8模具。倾斜圆台微针经过RIE刻蚀获得尖端，实现了金属微针尖端结构。
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公开(公告)号：CN110787361B
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN201911045358.5
申请日：2019-10-30
Applicant: 西北工业大学
Abstract: 本发明公开了一种空心倾斜金属微针阵列及其基于SU‑8模具的制造方法，属于微纳制造工艺领域。该微针阵列，金属材料为可电镀金属，空心倾斜金属微针呈斜圆锥状，倾斜角度为50°～70°；垂直高度为500μm～650μm；空心倾斜金属微针底部到尖端为等壁厚结构，壁厚为8μm～10μm；空心倾斜金属微针底部外径为150μm～250μm；空心倾斜金属微针锥角为10°～15°，空心倾斜金属微针顶部带有尖端。本发明将SU‑8模具掩膜图形转移到玻璃片上，避免了传统接触式曝光存在气隙的问题，提高到达各层光刻胶的紫外线光强，微针模具与基底结合力更强。充分利用OmniCoat，提高了SU‑8模具与玻璃片的粘附性，同时工艺后期更容易去除SU‑8模具。倾斜圆台微针经过RIE刻蚀获得尖端，实现了金属微针尖端结构。
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公开(公告)号：CN110787662A
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201911045317.6
申请日：2019-10-30
Applicant: 西北工业大学
Abstract: 本发明公开了一种具有水下气体拦截或收集功能的温控膜及制备方法，属于功能材料技术领域。该温控膜由绝热层、两层超疏水/超亲气微结构层、两层加热电极、两层温敏层组成，两层加热电极层对称分布在绝热层上下表面；两层超疏水/超亲气微结构层将加热电极包裹并与绝热层组成三明治结构；温敏材料固定在两层超疏水微结构层外表面；加热电极间有贯通整个温控膜的通孔。本发明的温控膜可用于水介质中对气泡的拦截或收集，由于水下拦截或收集主要关系到气泡的物理性质，而与气体种类无关，因而可拦截或收集多种气体，如空气、氧气、甲烷、氢气、氮气等。
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公开(公告)号：CN110787662B
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN201911045317.6
申请日：2019-10-30
Applicant: 西北工业大学
Abstract: 本发明公开了一种具有水下气体拦截或收集功能的温控膜及制备方法，属于功能材料技术领域。该温控膜由绝热层、两层超疏水/超亲气微结构层、两层加热电极、两层温敏层组成，两层加热电极层对称分布在绝热层上下表面；两层超疏水/超亲气微结构层将加热电极包裹并与绝热层组成三明治结构；温敏材料固定在两层超疏水微结构层外表面；加热电极间有贯通整个温控膜的通孔。本发明的温控膜可用于水介质中对气泡的拦截或收集，由于水下拦截或收集主要关系到气泡的物理性质，而与气体种类无关，因而可拦截或收集多种气体，如空气、氧气、甲烷、氢气、氮气等。
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