公开(公告)号：CN114107923A

公开(公告)日：2022-03-01

申请号：CN202111289671.0

申请日：2021-11-02

Applicant: 西北工业大学

Inventor： 罗剑 ,  金新航 ,  马炳和 ,  田勇 ,  张韬 ,  刘赟哲

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/02 ,  C23C14/08 ,  C23C14/24 ,  G01K7/22

Abstract: 本发明公开了一种金属基薄膜热流微传感器及其制备方法，属于传感器技术领域。该传感器结构主要包括金属基底，复合绝缘膜层，薄膜热敏电阻，薄膜引线，铂丝和铂浆构成。传感器采用金属基底，能有效降低被测金属结构件间的横向传热，有效提高其在金属结构上的热流测试精度。本发明采用四线制测量薄膜热电阻阻值，获取金属基底表面温度变化情况，并结合温度—热流推算方法，最终实现热流的高精度测量。

公开(公告)号：CN114107923B

公开(公告)日：2022-09-09

申请号：CN202111289671.0

申请日：2021-11-02

Applicant: 西北工业大学

Inventor： 罗剑 ,  金新航 ,  马炳和 ,  田勇 ,  张韬 ,  刘赟哲

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/02 ,  C23C14/08 ,  C23C14/24 ,  G01K7/22

Abstract: 本发明公开了一种金属基薄膜热流微传感器及其制备方法，属于传感器技术领域。该传感器结构主要包括金属基底，复合绝缘膜层，薄膜热敏电阻，薄膜引线，铂丝和铂浆构成。传感器采用金属基底，能有效降低被测金属结构件间的横向传热，有效提高其在金属结构上的热流测试精度。本发明采用四线制测量薄膜热电阻阻值，获取金属基底表面温度变化情况，并结合温度—热流推算方法，最终实现热流的高精度测量。