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公开(公告)号：CN115122549B
公开(公告)日：2023-06-16
申请号：CN202210748294.0
申请日：2022-06-22
Applicant: 西北工业大学
Abstract: 本发明公开了一种柔性伞状微结构阵列超表面及其制备方法，属于微纳制造领域。该柔性伞状微结构阵列，材料为热固化或光固化成型聚合物材料，伞状微结构由伞帽、伞帽边缘垂直向下的突起、伞柄构成，伞状微结构高度为12μm～55μm；伞帽表面平整，直径为7μm～40μm，厚度为2μm～5m；伞帽边缘垂直向下突起的高度为1μm～4μm，厚度为1μm～4μm，伞帽边缘垂直向下突起的外边缘与伞帽外边缘平齐，无突出部分。本发明利用双面光刻工艺制备复杂伞状微结构阵列模具，利用聚合物翻模工艺一次成型得到伞帽边缘具有垂直向下突起的柔性伞状微结构阵列超表面，与现有的3D打印技术相比，生产效率更高，实现了柔性伞状微结构阵列超表面的可控较大面积制备。
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公开(公告)号：CN109141731A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201810830681.2
申请日：2018-07-26
Applicant: 西北工业大学
IPC: G01L9/08
Abstract: 本发明公开了一种可用于水下湍流边界层壁面脉动压力测试的柔性基微传感器及其制造方法，属于传感器技术领域。该微传感器主要包括上电极及引线1，下电极及引线2，金属弹性层3，压电薄膜4，绝缘层5，柔性衬底6，聚合物绝缘防护层7。所述柔性衬底6上分别为金属弹性层3、绝缘层5，构成传感器敏感单元底层结构；上电极及引线1‑压电薄膜4‑下电极及引线2形成“三明治结构”式的敏感单元，置于绝缘层5之上。所述柔性衬底6背面与敏感单元相应的位置处有背腔，用于平衡深水静压；整个传感器传感器表面沉积有聚合物绝缘防护层7。柔性基脉动压力微传感器采用标准的MEMS制造工艺，空间时间分辨率高，且谐振频率高，满足水下湍流边界层脉动压力宽频测试需求，便于阵列化，适合于水下航行器曲面贴附。
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公开(公告)号：CN115808260A
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN202211507649.3
申请日：2022-11-29
Applicant: 西北工业大学
Abstract: 本发明公开了一种声表面波微传感器及其制备方法，所述微传感器包括：下层基底，下层基底上设有盲槽；上层基底，上层基底上设有第一通孔，第二通孔，连接第一通孔和第二通孔的第一应力释放桥、第二应力释放桥，及第一通孔、第二通孔、第一应力释放桥和第二应力释放桥围成的应力隔离梁，应力隔离梁靠近下层基底侧悬空；盲槽与上层基底密封为压力敏感单元，应力隔离梁与下层基底连接为温度敏感单元，压力敏感单元和温度敏感单元无重合区且其声表面波谐振频率、工作频段均不同；导电层，被配置为转换交流电信号为周期性电磁场并加载至上层基底中，获取压力敏感单元与温度敏感单元的声表面波。实现高温转子压力和温度测量，并提高了测量准确性。
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公开(公告)号：CN115122549A
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202210748294.0
申请日：2022-06-22
Applicant: 西北工业大学
Abstract: 本发明公开了一种柔性伞状微结构阵列超表面及其制备方法，属于微纳制造领域。该柔性伞状微结构阵列，材料为热固化或光固化成型聚合物材料，伞状微结构由伞帽、伞帽边缘垂直向下的突起、伞柄构成，伞状微结构高度为12μm～55μm；伞帽表面平整，直径为7μm～40μm，厚度为2μm～5m；伞帽边缘垂直向下突起的高度为1μm～4μm，厚度为1μm～4μm，伞帽边缘垂直向下突起的外边缘与伞帽外边缘平齐，无突出部分。本发明利用双面光刻工艺制备复杂伞状微结构阵列模具，利用聚合物翻模工艺一次成型得到伞帽边缘具有垂直向下突起的柔性伞状微结构阵列超表面，与现有的3D打印技术相比，生产效率更高，实现了柔性伞状微结构阵列超表面的可控较大面积制备。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110787361B
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN201911045358.5
申请日：2019-10-30
Applicant: 西北工业大学
Abstract: 本发明公开了一种空心倾斜金属微针阵列及其基于SU‑8模具的制造方法，属于微纳制造工艺领域。该微针阵列，金属材料为可电镀金属，空心倾斜金属微针呈斜圆锥状，倾斜角度为50°～70°；垂直高度为500μm～650μm；空心倾斜金属微针底部到尖端为等壁厚结构，壁厚为8μm～10μm；空心倾斜金属微针底部外径为150μm～250μm；空心倾斜金属微针锥角为10°～15°，空心倾斜金属微针顶部带有尖端。本发明将SU‑8模具掩膜图形转移到玻璃片上，避免了传统接触式曝光存在气隙的问题，提高到达各层光刻胶的紫外线光强，微针模具与基底结合力更强。充分利用OmniCoat，提高了SU‑8模具与玻璃片的粘附性，同时工艺后期更容易去除SU‑8模具。倾斜圆台微针经过RIE刻蚀获得尖端，实现了金属微针尖端结构。
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公开(公告)号：CN110787662A
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201911045317.6
申请日：2019-10-30
Applicant: 西北工业大学
Abstract: 本发明公开了一种具有水下气体拦截或收集功能的温控膜及制备方法，属于功能材料技术领域。该温控膜由绝热层、两层超疏水/超亲气微结构层、两层加热电极、两层温敏层组成，两层加热电极层对称分布在绝热层上下表面；两层超疏水/超亲气微结构层将加热电极包裹并与绝热层组成三明治结构；温敏材料固定在两层超疏水微结构层外表面；加热电极间有贯通整个温控膜的通孔。本发明的温控膜可用于水介质中对气泡的拦截或收集，由于水下拦截或收集主要关系到气泡的物理性质，而与气体种类无关，因而可拦截或收集多种气体，如空气、氧气、甲烷、氢气、氮气等。
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公开(公告)号：CN110787662B
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN201911045317.6
申请日：2019-10-30
Applicant: 西北工业大学
Abstract: 本发明公开了一种具有水下气体拦截或收集功能的温控膜及制备方法，属于功能材料技术领域。该温控膜由绝热层、两层超疏水/超亲气微结构层、两层加热电极、两层温敏层组成，两层加热电极层对称分布在绝热层上下表面；两层超疏水/超亲气微结构层将加热电极包裹并与绝热层组成三明治结构；温敏材料固定在两层超疏水微结构层外表面；加热电极间有贯通整个温控膜的通孔。本发明的温控膜可用于水介质中对气泡的拦截或收集，由于水下拦截或收集主要关系到气泡的物理性质，而与气体种类无关，因而可拦截或收集多种气体，如空气、氧气、甲烷、氢气、氮气等。
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公开(公告)号：CN115808260B
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202211507649.3
申请日：2022-11-29
Applicant: 西北工业大学
Abstract: 本发明公开了一种声表面波微传感器及其制备方法，所述微传感器包括：下层基底，下层基底上设有盲槽；上层基底，上层基底上设有第一通孔，第二通孔，连接第一通孔和第二通孔的第一应力释放桥、第二应力释放桥，及第一通孔、第二通孔、第一应力释放桥和第二应力释放桥围成的应力隔离梁，应力隔离梁靠近下层基底侧悬空；盲槽与上层基底密封为压力敏感单元，应力隔离梁与下层基底连接为温度敏感单元，压力敏感单元和温度敏感单元无重合区且其声表面波谐振频率、工作频段均不同；导电层，被配置为转换交流电信号为周期性电磁场并加载至上层基底中，获取压力敏感单元与温度敏感单元的声表面波。实现高温转子压力和温度测量，并提高了测量准确性。
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公开(公告)号：CN110787361A
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201911045358.5
申请日：2019-10-30
Applicant: 西北工业大学
Abstract: 本发明公开了一种空心倾斜金属微针阵列及其基于SU-8模具的制造方法，属于微纳制造工艺领域。该微针阵列，金属材料为可电镀金属，空心倾斜金属微针呈斜圆锥状，倾斜角度为50°～70°；垂直高度为500μm～650μm；空心倾斜金属微针底部到尖端为等壁厚结构，壁厚为8μm～10μm；空心倾斜金属微针底部外径为150μm～250μm；空心倾斜金属微针锥角为10°～15°，空心倾斜金属微针顶部带有尖端。本发明将SU-8模具掩膜图形转移到玻璃片上，避免了传统接触式曝光存在气隙的问题，提高到达各层光刻胶的紫外线光强，微针模具与基底结合力更强。充分利用OmniCoat，提高了SU-8模具与玻璃片的粘附性，同时工艺后期更容易去除SU-8模具。倾斜圆台微针经过RIE刻蚀获得尖端，实现了金属微针尖端结构。
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