公开(公告)号：CN117413175B

公开(公告)日：2025-04-01

申请号：CN202280039657.1

申请日：2022-08-09

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： M·布伦德尔 ,  J·沃尔什

IPC: G01N21/88 ,  H01L21/66 ,  G01N21/956 ,  G01N21/95

Abstract: 一种设备包含：上部件；下部件，其安置于所述上部件下方；及弹簧，其安置于所述上部件与所述下部件之间。所述上部件具有从其向下延伸的销。所述下部件具有经配置以接收所述销的自由端的座部。所述弹簧包围所述销，且具有小于所述销的长度的自由长度。在卸载状态下，所述销的所述自由端接触所述座部且所述弹簧施加压缩力以防止所述上部件与所述下部件之间的相对横向移动。当所述下部件在负载状态下承载负载时，所述负载将在所述销的所述自由端与所述座部之间形成间隙的拉力施加于所述弹簧，其允许所述上部件与所述下部件之间的相对横向移动。

公开(公告)号：CN114222950A

公开(公告)日：2022-03-22

申请号：CN202080056686.X

申请日：2020-08-11

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： Z·马克斯 ,  G·R·德尔加多 ,  R·加西亚 ,  J·沃尔什 ,  M·霍夫曼

IPC: G03F7/20 ,  G03F1/84

Abstract: 本发明公开一种用于真空环境中的光学安装座的致动器，其包含围绕致动器隔室的波纹管。所述波纹管提供围绕所述致动器的密封。过滤器组合件定位于所述致动器隔室与真空室的内部之间。所述过滤器组合件包含第一颗粒过滤器、第二颗粒过滤器及所述第一颗粒过滤器与所述第二颗粒过滤器之间的净化剂介质。所述致动器隔室中的真空条件可由所述真空室的泵实现，但来自所述致动器或致动器隔室的颗粒及污染物由所述过滤器组合件捕获。

公开(公告)号：CN116670499A

公开(公告)日：2023-08-29

申请号：CN202280008758.2

申请日：2022-01-28

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： 黄海峰 ,  石瑞芳 ,  J·沃尔什 ,  M·林赛 ,  E·韦拉

IPC: G01N21/88

Abstract: 公开一种具有像差校正的光学系统。所述光学系统可包含照明源。所述光学系统可包含检测器。所述光学系统可包含经配置以基于来自所述照明源的照明将样本成像到所述检测器上的一或多个集光光学器件。所述光学系统可包含定位于所述一或多个集光光学器件的一或多个光瞳平面中的两个或更多个像差校正板。所述两个或更多个像差校正板可提供两个或更多个线性独立像差项的至少部分校正。所述两个或更多个像差校正板中的任一特定者可具有为所述两个或更多个线性独立像差项中的单个特定像差项提供选定校正量的空间变化厚度轮廓。

公开(公告)号：CN114222950B

公开(公告)日：2023-01-17

申请号：CN202080056686.X

申请日：2020-08-11

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： Z·马克斯 ,  G·R·德尔加多 ,  R·加西亚 ,  J·沃尔什 ,  M·霍夫曼

IPC: G03F7/20 ,  G03F1/84

Abstract: 本发明公开一种用于真空环境中的光学安装座的致动器，其包含围绕致动器隔室的波纹管。所述波纹管提供围绕所述致动器的密封。过滤器组合件定位于所述致动器隔室与真空室的内部之间。所述过滤器组合件包含第一颗粒过滤器、第二颗粒过滤器及所述第一颗粒过滤器与所述第二颗粒过滤器之间的净化剂介质。所述致动器隔室中的真空条件可由所述真空室的泵实现，但来自所述致动器或致动器隔室的颗粒及污染物由所述过滤器组合件捕获。

公开(公告)号：CN117413175A

公开(公告)日：2024-01-16

申请号：CN202280039657.1

申请日：2022-08-09

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： M·布伦德尔 ,  J·沃尔什

IPC: G01N21/88

Abstract: 一种设备包含：上部件；下部件，其安置于所述上部件下方；及弹簧，其安置于所述上部件与所述下部件之间。所述上部件具有从其向下延伸的销。所述下部件具有经配置以接收所述销的自由端的座部。所述弹簧包围所述销，且具有小于所述销的长度的自由长度。在卸载状态下，所述销的所述自由端接触所述座部且所述弹簧施加压缩力以防止所述上部件与所述下部件之间的相对横向移动。当所述下部件在负载状态下承载负载时，所述负载将在所述销的所述自由端与所述座部之间形成间隙的拉力施加于所述弹簧，其允许所述上部件与所述下部件之间的相对横向移动。

公开(公告)号：CN112567285B

公开(公告)日：2023-06-20

申请号：CN201980051251.3

申请日：2019-08-23

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： D·J·扎雷 ,  E·索托 ,  I-F·吴 ,  J·沃尔什 ,  K·麦克南 ,  J·阿姆斯特朗 ,  C·戴维斯 ,  G·罗斯 ,  D·卡瓦门 ,  B·布尔法因特 ,  A·埃萨尼

IPC: G02B27/00 ,  H01L21/67 ,  H01L21/66 ,  G01N21/95

Abstract: 环绕光学组件的外壳可与蒸气源连接。所述蒸气源可以从500ppm到15000ppm的蒸气水平将蒸气提供到所述外壳。所述外壳中的蒸气浓度可增加所述外壳中的所述光学组件的寿命。

公开(公告)号：CN112567285A

公开(公告)日：2021-03-26

申请号：CN201980051251.3

申请日：2019-08-23

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： D·J·扎雷 ,  E·索托 ,  I-F·吴 ,  J·沃尔什 ,  K·麦克南 ,  J·阿姆斯特朗 ,  C·戴维斯 ,  G·罗斯 ,  D·卡瓦门 ,  B·布尔法因特 ,  A·埃萨尼

IPC: G02B27/00 ,  H01L21/67 ,  H01L21/66 ,  G01N21/95

Abstract: 环绕光学组件的外壳可与蒸气源连接。所述蒸气源可以从500ppm到15000ppm的蒸气水平将蒸气提供到所述外壳。所述外壳中的蒸气浓度可增加所述外壳中的所述光学组件的寿命。