公开(公告)号：CN114222950B

公开(公告)日：2023-01-17

申请号：CN202080056686.X

申请日：2020-08-11

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： Z·马克斯 ,  G·R·德尔加多 ,  R·加西亚 ,  J·沃尔什 ,  M·霍夫曼

IPC: G03F7/20 ,  G03F1/84

Abstract: 本发明公开一种用于真空环境中的光学安装座的致动器，其包含围绕致动器隔室的波纹管。所述波纹管提供围绕所述致动器的密封。过滤器组合件定位于所述致动器隔室与真空室的内部之间。所述过滤器组合件包含第一颗粒过滤器、第二颗粒过滤器及所述第一颗粒过滤器与所述第二颗粒过滤器之间的净化剂介质。所述致动器隔室中的真空条件可由所述真空室的泵实现，但来自所述致动器或致动器隔室的颗粒及污染物由所述过滤器组合件捕获。

公开(公告)号：CN114222950A

公开(公告)日：2022-03-22

申请号：CN202080056686.X

申请日：2020-08-11

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： Z·马克斯 ,  G·R·德尔加多 ,  R·加西亚 ,  J·沃尔什 ,  M·霍夫曼

IPC: G03F7/20 ,  G03F1/84

Abstract: 本发明公开一种用于真空环境中的光学安装座的致动器，其包含围绕致动器隔室的波纹管。所述波纹管提供围绕所述致动器的密封。过滤器组合件定位于所述致动器隔室与真空室的内部之间。所述过滤器组合件包含第一颗粒过滤器、第二颗粒过滤器及所述第一颗粒过滤器与所述第二颗粒过滤器之间的净化剂介质。所述致动器隔室中的真空条件可由所述真空室的泵实现，但来自所述致动器或致动器隔室的颗粒及污染物由所述过滤器组合件捕获。