接合结构和具有该接合结构的半导体装置

    公开(公告)号:CN116472136A

    公开(公告)日:2023-07-21

    申请号:CN202180072166.2

    申请日:2021-10-25

    Abstract: 本发明涉及例如将Si半导体等和基板作为被接合材料、通过液相扩散接合将这一对被接合材料接合时应形成的接合结构。该接合结构包含呈现出特殊的材料组织的接合部。该接合部的金属组成由78.0质量%以上且80.0质量%以下的Ag、20.0质量%以上且22.0质量%以下的Sn和不可避免的杂质元素构成。而且,对接合部的任意截面进行观察时,呈现出由含有95质量%以上的Ag的岛状Ag相以及包围上述岛状Ag相的由Ag3Sn金属间化合物构成的Ag3Sn相构成的特征性的材料组织。本发明的接合结构所具备的接合部的接合强度适当,由于上述材料组织,耐热性和耐久性优良。

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