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公开(公告)号：CN111937130B
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN201980024138.6
申请日：2019-03-28
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
Inventor： 保罗·E·佩尔甘德 , 詹姆斯·D·史瑞斯奈
IPC: H01L21/67 , H01L21/687
Abstract: 本文中提供用于冷却处理腔室窗的方式，具体而言，公开一种腔室窗冷却用系统及冷却装置。在一些实施例中，一种处理腔室窗冷却用系统可包括用于处理晶片的处理腔室，其中所述处理腔室包括窗。在一些实施例中，所述窗容许来自灯总成的光被递送到晶片。所述系统还包括能够与所述处理腔室一起操作的冷却装置，所述冷却装置用于将气体递送到所述窗。所述冷却装置包括用于支撑所述窗的支撑环。所述支撑环包括周边壁、以及透过所述周边壁形成的多个狭槽。所述多个狭槽可穿过所述窗递送气体(例如，空气)。
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公开(公告)号：CN104798190A
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201380060451.8
申请日：2013-07-17
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H01L21/673 , H01L21/687 , C23C14/04
CPC classification number: H01L21/67333 , C23C14/042 , C23C14/48 , C23C14/50 , H01L21/68728 , H01L21/68735 , H01L21/68778 , Y10T29/49899
Abstract: 揭示一种能够固持一个或一个以上工件的承载器。承载器包含沿着承载器中的每一单元的边定位的可移动突起。此承载器结合独立对准设备使用多步对准过程相对于若干对准销来对准相应单元内的每一工件，以保证单元中的工件的恰当定位。首先，使工件朝所述单元的一侧边移动。一旦工件已相对于此边对准，工件便接着朝邻近正交边移动，以使得工件与单元的两侧边对准。一旦对准，工件便由沿着每一单元的每一侧边定位的突起固持于适当位置。另外，对准销还用以对准相关联的罩幕，进而保证罩幕与工件恰当地对准。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111937130A
公开(公告)日：2020-11-13
申请号：CN201980024138.6
申请日：2019-03-28
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
Inventor： 保罗·E·佩尔甘德 , 詹姆斯·D·史瑞斯奈
IPC: H01L21/67 , H01L21/687
Abstract: 本文中提供用于冷却处理腔室窗的方式。在一些实施例中，一种处理腔室窗冷却用系统可包括用于处理晶片的处理腔室，其中所述处理腔室包括窗。在一些实施例中，所述窗容许来自灯总成的光被递送到晶片。所述系统还包括能够与所述处理腔室一起操作的冷却装置，所述冷却装置用于将气体递送到所述窗。所述冷却装置包括用于支撑所述窗的支撑环。所述支撑环包括周边壁、以及透过所述周边壁形成的多个狭槽。所述多个狭槽可穿过所述窗递送气体(例如，空气)。
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公开(公告)号：CN107078012A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201580049321.3
申请日：2015-09-04
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
Inventor： 亚隆·P·威波 , 提摩西·J·米勒 , 泰美·州·普赖德 , 克里斯多夫·N·葛兰特 , 詹姆斯·D·史瑞斯奈 , 查理斯·T·卡尔森
IPC: H01J37/304 , H01J37/317 , H01L21/68
CPC classification number: H01L21/681 , C23C14/48 , G06K9/6202 , G06T7/001 , G06T7/74 , G06T2207/30148 , H01J37/20 , H01J37/22 , H01J37/3045 , H01J37/3171
Abstract: 本发明提供一种用于离子注入机的主动式衬底对准系统，衬底系统包含压板；对齐装置，其经调适以选择性地移动邻近于压板安置的衬底接合表面，用于限制安置在压板上的衬底的移动；相机，其经配置以在衬底安置在压板上之前获取衬底的图像；以及控制器，其与相机和对齐装置通信，控制器可以经配置以命令对齐装置基于图像移动衬底接合表面，以用预定的方式限制衬底的移动。
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公开(公告)号：CN107078012B
公开(公告)日：2019-01-22
申请号：CN201580049321.3
申请日：2015-09-04
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
Inventor： 亚隆·P·威波 , 提摩西·J·米勒 , 泰美·州·普赖德 , 克里斯多夫·N·葛兰特 , 詹姆斯·D·史瑞斯奈 , 查理斯·T·卡尔森
IPC: H01J37/304 , H01J37/317 , H01L21/68
Abstract: 本发明提供一种用于离子注入机的主动式衬底对准系统以及一种对准衬底的方法，衬底系统包含压板；对齐装置，其经调适以选择性地移动邻近于压板安置的衬底接合表面，用于限制安置在压板上的衬底的移动；相机，其经配置以在衬底安置在压板上之前获取衬底的图像；以及控制器，其与相机和对齐装置通信，控制器可以经配置以命令对齐装置基于图像移动衬底接合表面，以用预定的方式限制衬底的移动。本发明使用上述系统使衬底定向，以使得投射到衬底上的掺杂剂图案将置中于衬底上。
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公开(公告)号：CN104798190B
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201380060451.8
申请日：2013-07-17
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H01L21/673 , H01L21/687 , C23C14/04
CPC classification number: H01L21/67333 , C23C14/042 , C23C14/48 , C23C14/50 , H01L21/68728 , H01L21/68735 , H01L21/68778 , Y10T29/49899
Abstract: 揭示一种固持工件用的系统和承载器及对准承载器内的工件的方法。揭示一种能够固持一个或一个以上工件的承载器。承载器包含沿着承载器中的每一单元的边定位的可移动突起。此承载器结合独立对准设备使用多步对准过程相对于若干对准销来对准相应单元内的每一工件，以保证单元中的工件的恰当定位。首先，使工件朝所述单元的一侧边移动。一旦工件已相对于此边对准，工件便接着朝邻近正交边移动，以使得工件与单元的两侧边对准。一旦对准，工件便由沿着每一单元的每一侧边定位的突起固持于适当位置。另外，对准销还用以对准相关联的罩幕，进而保证罩幕与工件恰当地对准。
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公开(公告)号：CN205595318U
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201490000908.6
申请日：2014-07-25
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
Inventor： 亚隆·P·威波 , 查理斯·T·卡尔森 , 麦克·河南 , 陆伊基·G·亚玛多 , 克里斯多夫·尼尔·葛兰特 , 詹姆斯·D·史瑞斯奈
IPC: H01L21/68
CPC classification number: H01L21/682 , C23C14/04 , Y10T29/49895
Abstract: 本实用新型提供一种用于工件处理的系统。所述系统包括：罩幕框，包括其中具有开口的上部平板，以及将罩幕框支撑在工作表面上的两个或更多个的垂直侧壁；多个罩幕，每一个罩幕包括具有图案的中心部分，以及从中心部分的边缘延伸的一个或更多个突出部；固定器，穿过配置于一个或更多个突出部中的固定孔并连接至上部平板的底面，使得多个罩幕的每一个中心部分与上部平板中的个别开口对准；以及偏置元件，在上部平板的底面与每一个罩幕之间产生分离力。因此，本实用新型提供能够让多个罩幕对准至多个工件的系统，此对准可以快速而不昂贵的方式完成。
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