公开(公告)号：CN205595318U

公开(公告)日：2016-09-21

申请号：CN201490000908.6

申请日：2014-07-25

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 亚隆·P·威波 ,  查理斯·T·卡尔森 ,  麦克·河南 ,  陆伊基·G·亚玛多 ,  克里斯多夫·尼尔·葛兰特 ,  詹姆斯·D·史瑞斯奈

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01L21/682 ,  C23C14/04 ,  Y10T29/49895

Abstract: 本实用新型提供一种用于工件处理的系统。所述系统包括：罩幕框，包括其中具有开口的上部平板，以及将罩幕框支撑在工作表面上的两个或更多个的垂直侧壁；多个罩幕，每一个罩幕包括具有图案的中心部分，以及从中心部分的边缘延伸的一个或更多个突出部；固定器，穿过配置于一个或更多个突出部中的固定孔并连接至上部平板的底面，使得多个罩幕的每一个中心部分与上部平板中的个别开口对准；以及偏置元件，在上部平板的底面与每一个罩幕之间产生分离力。因此，本实用新型提供能够让多个罩幕对准至多个工件的系统，此对准可以快速而不昂贵的方式完成。