公开(公告)号：CN104798190A

公开(公告)日：2015-07-22

申请号：CN201380060451.8

申请日：2013-07-17

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 威廉·T·维弗 ,  查理斯·T·卡尔森 ,  斯卡特·A·史密斯 ,  麦可·A·贝克 ,  亚隆·P·威波 ,  詹姆斯·D·史瑞斯奈 ,  罗伦斯·R·葛拉维 ,  麦可·C·席梦思

IPC: H01L21/673 ,  H01L21/687 ,  C23C14/04

CPC classification number: H01L21/67333 ,  C23C14/042 ,  C23C14/48 ,  C23C14/50 ,  H01L21/68728 ,  H01L21/68735 ,  H01L21/68778 ,  Y10T29/49899

Abstract: 揭示一种能够固持一个或一个以上工件的承载器。承载器包含沿着承载器中的每一单元的边定位的可移动突起。此承载器结合独立对准设备使用多步对准过程相对于若干对准销来对准相应单元内的每一工件，以保证单元中的工件的恰当定位。首先，使工件朝所述单元的一侧边移动。一旦工件已相对于此边对准，工件便接着朝邻近正交边移动，以使得工件与单元的两侧边对准。一旦对准，工件便由沿着每一单元的每一侧边定位的突起固持于适当位置。另外，对准销还用以对准相关联的罩幕，进而保证罩幕与工件恰当地对准。

公开(公告)号：CN104798190B

公开(公告)日：2017-04-05

申请号：CN201380060451.8

申请日：2013-07-17

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 威廉·T·维弗 ,  查理斯·T·卡尔森 ,  斯卡特·A·史密斯 ,  麦可·A·贝克 ,  亚隆·P·威波 ,  詹姆斯·D·史瑞斯奈 ,  罗伦斯·R·葛拉维 ,  麦可·C·席梦思

IPC: H01L21/673 ,  H01L21/687 ,  C23C14/04

CPC classification number: H01L21/67333 ,  C23C14/042 ,  C23C14/48 ,  C23C14/50 ,  H01L21/68728 ,  H01L21/68735 ,  H01L21/68778 ,  Y10T29/49899

Abstract: 揭示一种固持工件用的系统和承载器及对准承载器内的工件的方法。揭示一种能够固持一个或一个以上工件的承载器。承载器包含沿着承载器中的每一单元的边定位的可移动突起。此承载器结合独立对准设备使用多步对准过程相对于若干对准销来对准相应单元内的每一工件，以保证单元中的工件的恰当定位。首先，使工件朝所述单元的一侧边移动。一旦工件已相对于此边对准，工件便接着朝邻近正交边移动，以使得工件与单元的两侧边对准。一旦对准，工件便由沿着每一单元的每一侧边定位的突起固持于适当位置。另外，对准销还用以对准相关联的罩幕，进而保证罩幕与工件恰当地对准。