公开(公告)号：CN105340072B

公开(公告)日：2018-04-13

申请号：CN201480036122.4

申请日：2014-04-16

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 理查·V·起首恩 ,  史考特·E·派滋许 ,  麦可·埃斯波西托 ,  罗伯特·A·波特崔斯 ,  史蒂芬·M·恩尔拉 ,  丹尼尔·A·哈 ,  史考特·C·后登 ,  罗杰·B·费许

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/677

CPC classification number: B25J13/085 ,  H01L21/67288 ,  H01L21/68742 ,  Y10S901/02

Abstract: 本发明提供一种监测基板提升设备上的力的系统及方法。系统包括具有台及可动提升部分的台匣。可动提升部分包括耦合至多个提升梢的多个提升臂。多个力传感元件分别关联于这些提升臂及这些提升梢。控制器接收来自这些力传感元件的信号，将这些信号联系至分别施加于这些提升梢的力。被联系的力可指示错误状况的存在至控制器，例如被卡住的晶圆、损坏的晶圆、错置的晶圆或机械故障。

公开(公告)号：CN101657881A

公开(公告)日：2010-02-24

申请号：CN200880011769.6

申请日：2008-02-29

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 布兰特·S·宾斯 ,  凯文·丹尼尔斯 ,  罗伯特·A·波特崔斯

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/68

CPC classification number: H01L21/68 ,  H01L21/67201 ,  H01L21/67259

Abstract: 本发明揭示一种晶片搬运机器人、包括晶片搬运机器人的离子注入机系统以及相关方法。离子注入机系统可包括：离子注入站，其包括耦接至其的承载室；晶片搬运机器人，其至少部分地位于承载室内，所述晶片搬运机器人包括用于搬运至少一晶片的端部处理器以及用于使端部处理器垂直地移动的马达；以及传感器，其定位于承载室内以确定端部处理器的垂直位置。

公开(公告)号：CN105340072A

公开(公告)日：2016-02-17

申请号：CN201480036122.4

申请日：2014-04-16

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 理查·V·起首恩 ,  史考特·E·派滋许 ,  麦可·埃斯波西托 ,  罗伯特·A·波特崔斯 ,  史蒂芬·M·恩尔拉 ,  丹尼尔·A·哈 ,  史考特·C·后登 ,  罗杰·B·费许

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/677

CPC classification number: B25J13/085 ,  H01L21/67288 ,  H01L21/68742 ,  Y10S901/02

Abstract: 一种监测基板提升设备上的力的系统及方法。系统包括具有台及可动提升部分的台匣。可动提升部分包括耦合至多个提升梢的多个提升臂。多个力传感元件分别关联于这些提升臂及这些提升梢。控制器接收来自这些力传感元件的信号，将这些信号联系至分别施加于这些提升梢的力。被联系的力可指示错误状况的存在至控制器，例如被卡住的晶圆、损坏的晶圆、错置的晶圆或机械故障。

公开(公告)号：CN101657881B

公开(公告)日：2012-01-25

申请号：CN200880011769.6

申请日：2008-02-29

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 布兰特·S·宾斯 ,  凯文·丹尼尔斯 ,  罗伯特·A·波特崔斯

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/68

CPC classification number: H01L21/68 ,  H01L21/67201 ,  H01L21/67259

Abstract: 本发明揭示一种晶片搬运机器人、包括晶片搬运机器人的离子注入机系统以及相关方法。离子注入机系统可包括：离子注入站，其包括耦接至其的承载室；晶片搬运机器人，其至少部分地位于承载室内，所述晶片搬运机器人包括用于搬运至少一晶片的端部处理器以及用于使端部处理器垂直地移动的马达；以及传感器，其定位于承载室内以确定端部处理器的垂直位置。

公开(公告)号：CN101563767A

公开(公告)日：2009-10-21

申请号：CN200780042842.1

申请日：2007-09-21

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 查理斯·A·泰欧多尔赤克 ,  詹姆斯·R·麦克廉 ,  罗伯特·A·波特崔斯

IPC: H01L21/67

CPC classification number: H01L21/682 ,  C23C14/042 ,  C23C14/48 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/31711 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/68707

Abstract: 一种系统包括：转移臂，其界定一固持平面；以及至少三个传感器，其安置于转移臂上且用于检测光罩相对于固持平面之位置。该至少三个传感器可用于判定光罩是否正确地定位于转移臂上以及判定光罩是否正确地定位于屏蔽位置。可在离子注入机中使用光罩来屏蔽工件之一些部分使其免受离子注入。