公开(公告)号：CN105340072A

公开(公告)日：2016-02-17

申请号：CN201480036122.4

申请日：2014-04-16

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 理查·V·起首恩 ,  史考特·E·派滋许 ,  麦可·埃斯波西托 ,  罗伯特·A·波特崔斯 ,  史蒂芬·M·恩尔拉 ,  丹尼尔·A·哈 ,  史考特·C·后登 ,  罗杰·B·费许

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/677

CPC classification number: B25J13/085 ,  H01L21/67288 ,  H01L21/68742 ,  Y10S901/02

Abstract: 一种监测基板提升设备上的力的系统及方法。系统包括具有台及可动提升部分的台匣。可动提升部分包括耦合至多个提升梢的多个提升臂。多个力传感元件分别关联于这些提升臂及这些提升梢。控制器接收来自这些力传感元件的信号，将这些信号联系至分别施加于这些提升梢的力。被联系的力可指示错误状况的存在至控制器，例如被卡住的晶圆、损坏的晶圆、错置的晶圆或机械故障。

公开(公告)号：CN111247631B

公开(公告)日：2023-07-18

申请号：CN201880068623.9

申请日：2018-09-10

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 史考特·E·派滋许

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/324

Abstract: 本发明公开一种减少热转变对工件的损坏的系统、可读存储介质及方法。本发明公开的减少在热转变期间对设置在台板上的工件的背面的损坏的系统及方法。所述系统包括控制器，控制器在热转变期间对夹持电压及背面气体压力进行调节。通过对夹持电压进行调节，工件在某些时刻可不紧紧地固持到台板，由此减少可能由驻留在台板的顶表面上的粒子造成的损坏。另外，对背面气体压力进行的调节仍允许台板与工件之间具有良好的导热性。

公开(公告)号：CN105340072B

公开(公告)日：2018-04-13

申请号：CN201480036122.4

申请日：2014-04-16

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 理查·V·起首恩 ,  史考特·E·派滋许 ,  麦可·埃斯波西托 ,  罗伯特·A·波特崔斯 ,  史蒂芬·M·恩尔拉 ,  丹尼尔·A·哈 ,  史考特·C·后登 ,  罗杰·B·费许

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/677

CPC classification number: B25J13/085 ,  H01L21/67288 ,  H01L21/68742 ,  Y10S901/02

Abstract: 本发明提供一种监测基板提升设备上的力的系统及方法。系统包括具有台及可动提升部分的台匣。可动提升部分包括耦合至多个提升梢的多个提升臂。多个力传感元件分别关联于这些提升臂及这些提升梢。控制器接收来自这些力传感元件的信号，将这些信号联系至分别施加于这些提升梢的力。被联系的力可指示错误状况的存在至控制器，例如被卡住的晶圆、损坏的晶圆、错置的晶圆或机械故障。

公开(公告)号：CN111247631A

公开(公告)日：2020-06-05

申请号：CN201880068623.9

申请日：2018-09-10

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 史考特·E·派滋许

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/324

Abstract: 本发明公开一种减少在热转变期间对设置在台板上的工件的背面的损坏的系统及方法。所述系统包括控制器，控制器在热转变期间对夹持电压及背面气体压力进行调节。通过对夹持电压进行调节，工件在某些时刻可不紧紧地固持到台板，由此减少可能由驻留在台板的顶表面上的粒子造成的损坏。另外，对背面气体压力进行的调节仍允许台板与工件之间具有良好的导热性。