公开(公告)号：CN105340072B

公开(公告)日：2018-04-13

申请号：CN201480036122.4

申请日：2014-04-16

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 理查·V·起首恩 ,  史考特·E·派滋许 ,  麦可·埃斯波西托 ,  罗伯特·A·波特崔斯 ,  史蒂芬·M·恩尔拉 ,  丹尼尔·A·哈 ,  史考特·C·后登 ,  罗杰·B·费许

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/677

CPC classification number: B25J13/085 ,  H01L21/67288 ,  H01L21/68742 ,  Y10S901/02

Abstract: 本发明提供一种监测基板提升设备上的力的系统及方法。系统包括具有台及可动提升部分的台匣。可动提升部分包括耦合至多个提升梢的多个提升臂。多个力传感元件分别关联于这些提升臂及这些提升梢。控制器接收来自这些力传感元件的信号，将这些信号联系至分别施加于这些提升梢的力。被联系的力可指示错误状况的存在至控制器，例如被卡住的晶圆、损坏的晶圆、错置的晶圆或机械故障。

公开(公告)号：CN105340072A

公开(公告)日：2016-02-17

申请号：CN201480036122.4

申请日：2014-04-16

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 理查·V·起首恩 ,  史考特·E·派滋许 ,  麦可·埃斯波西托 ,  罗伯特·A·波特崔斯 ,  史蒂芬·M·恩尔拉 ,  丹尼尔·A·哈 ,  史考特·C·后登 ,  罗杰·B·费许

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/677

CPC classification number: B25J13/085 ,  H01L21/67288 ,  H01L21/68742 ,  Y10S901/02

Abstract: 一种监测基板提升设备上的力的系统及方法。系统包括具有台及可动提升部分的台匣。可动提升部分包括耦合至多个提升梢的多个提升臂。多个力传感元件分别关联于这些提升臂及这些提升梢。控制器接收来自这些力传感元件的信号，将这些信号联系至分别施加于这些提升梢的力。被联系的力可指示错误状况的存在至控制器，例如被卡住的晶圆、损坏的晶圆、错置的晶圆或机械故障。