正型感光性树脂组合物
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104641291A

    公开(公告)日:2015-05-20

    申请号:CN201280075939.3

    申请日:2012-09-24

    CPC classification number: G03F7/039 G03F7/0226 G03F7/0233 G03F7/40

    Abstract: 本发明涉及一种正型感光性树脂组合物,其含有(a)碱溶性聚酰亚胺、(b)在一分子中具有2个以上的环氧基的化合物、和(c)光酸产生剂,并且相对于100重量份的(a)碱溶性聚酰亚胺,(b)在一分子中具有2个以上的环氧基的化合物的含量为5~50重量份。本发明提供一种正型感光性树脂组合物,其在200℃以下的低温加热处理时,可以获得低翘曲、并且不产生由回流导致的图案掩埋、高分辨率的固化膜。

    感光性树脂组合物
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1782875B

    公开(公告)日:2012-05-23

    申请号:CN200510128651.X

    申请日:2005-11-23

    CPC classification number: G03F7/0392 G03F7/38

    Abstract: 本发明涉及可以在碱性水溶液中显影,并且即使是厚膜,在分辨率、感光度、图形形状方面都很好的正型感光性树脂组合物。本发明的感光性树脂组合物,其特征为含有具有酚羟基的聚合物(a),具有酚羟基,并且只含1个从羟甲基、烷氧基甲基中选择的基团的化合物(b)以及光敏产酸剂(c)。

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