公开(公告)号：CN101142529B

公开(公告)日：2012-02-22

申请号：CN200680008236.3

申请日：2006-03-14

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 谷口龙一郎 ,  三井博子 ,  诹方充史

IPC: G03F7/037 ,  G03F7/027 ,  G03F7/004 ,  C08G73/10 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/027 ,  C08G73/101 ,  G03F7/037 ,  G03F7/0751 ,  G03F7/0757

Abstract: 本发明通过感光性树脂组合物，可以形成可以进行碱性显影且具有优异的耐热性、强度和伸长率的聚酰亚胺膜，该组合物含有(a)在主链末端具有至少一个选自羧基、酚式羟基、磺酸基和巯基的基团的聚酰亚胺、(b1)通式(1)表示的含有不饱和键的聚合性化合物和(c)光聚合引发剂。

公开(公告)号：CN1782875A

公开(公告)日：2006-06-07

申请号：CN200510128651.X

申请日：2005-11-23

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 谷口龙一郎 ,  弓场智之 ,  富川真佐夫

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/008

CPC classification number: G03F7/0392 ,  G03F7/38

Abstract: 本发明涉及可以在碱性水溶液中显影，并且即使是厚膜，在分辨率、感光度、图形形状方面都很好的正型感光性树脂组合物。本发明的感光性树脂组合物，其特征为含有具有酚羟基的聚合物(a)，具有酚羟基，并且只含1个从羟甲基、烷氧基甲基中选择的基团的化合物(b)以及光敏产酸剂(c)。

公开(公告)号：CN1782875B

公开(公告)日：2012-05-23

申请号：CN200510128651.X

申请日：2005-11-23

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 谷口龙一郎 ,  弓场智之 ,  富川真佐夫

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/008

CPC classification number: G03F7/0392 ,  G03F7/38

Abstract: 本发明涉及可以在碱性水溶液中显影，并且即使是厚膜，在分辨率、感光度、图形形状方面都很好的正型感光性树脂组合物。本发明的感光性树脂组合物，其特征为含有具有酚羟基的聚合物(a)，具有酚羟基，并且只含1个从羟甲基、烷氧基甲基中选择的基团的化合物(b)以及光敏产酸剂(c)。

公开(公告)号：CN101142529A

公开(公告)日：2008-03-12

申请号：CN200680008236.3

申请日：2006-03-14

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 谷口龙一郎 ,  三井博子 ,  诹方充史

IPC: G03F7/037 ,  G03F7/027 ,  G03F7/004 ,  C08G73/10 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/027 ,  C08G73/101 ,  G03F7/037 ,  G03F7/0751 ,  G03F7/0757

Abstract: 本发明通过感光性树脂组合物，可以形成可以进行碱性显影且具有优异的耐热性、强度和伸长率的聚酰亚胺膜，该组合物含有(a)在主链末端具有至少一个选自羧基、酚式羟基、磺酸基和巯基的基团的聚酰亚胺、(b1)通式(1)表示的含有不饱和键的聚合性化合物和(c)光聚合引发剂。