一种沟槽栅半导体器件及其制备方法

    公开(公告)号:CN116646399A

    公开(公告)日:2023-08-25

    申请号:CN202310531126.0

    申请日:2023-05-11

    Abstract: 本发明涉及一种沟槽栅半导体器件及其制备方法,所述沟槽栅半导体器件包括:P+衬底;位于所述P+衬底上的N‑漂移区;位于所述N‑漂移区一侧的多阶介质层和P阱区,位于所述N‑漂移区另一侧的N+漏区;其中,所述多阶介质层内设有多晶硅栅,所述P阱区内设有N+阱区和P+区。在N‑漂移区引入多阶介质层,并利用台阶侧壁形成极薄的栅极氧化物,进而构成沟槽型的MOS结构,多晶硅下方和靠近漏极侧具有较厚的介质层;降低了LDMOS器件电场峰值和饱和电流密度,同时保持了器件优异的正向导通特性。

    一种单粒子翻转检测和自恢复的触发器结构

    公开(公告)号:CN120017022A

    公开(公告)日:2025-05-16

    申请号:CN202411892767.X

    申请日:2024-12-20

    Abstract: 本发明公开了一种单粒子翻转检测和自恢复的触发器结构,包括延时滤波结构,二输入数据选择器,时钟控制的异或门,反相器,时钟控制的信号传输结构和锁存结构。延时滤波结构用于对时钟信号进行单粒子瞬态加固,并生成软错误检测结构的时钟信号。二输入数据选择器用于选择适当的输入信号输入到锁存结构中。时钟控制的异或门用于检测触发器的输出是否出现单粒子翻转。反相器电路用于反相时钟信号及数据信号,保障电路逻辑功能。时钟控制的信号传输结构用于控制信号在电路中的传播。锁存结构用于锁存数据。本发明设计的电路结构,针对单粒子翻转进行检测和数据恢复,可应用于系统级整体设计,易实现。

    一种抗单粒子栅穿的SiC MOSFET及制备方法

    公开(公告)号:CN118763110A

    公开(公告)日:2024-10-11

    申请号:CN202410738115.4

    申请日:2024-06-07

    Abstract: 本发明提供一种抗单粒子栅穿的SiC MOSFET及制备方法,从下到上依次包括:漏极金属化层、N+衬底层、N‑漂移区、电流扩展区、P‑well区、第二N+源区、第二P‑base区、第一P‑base区、第一N+源区、栅氧、多晶硅栅、隔离氧、源极金属化层;所述第一N+源区、第二N+源区、P‑well区与源极金属化层接触;所述第二N+源区将沟槽栅氧的底部、两个拐角、一个侧壁包围;所述第二N+源区被P‑well区、第二P‑base区屏蔽,与电流扩展区、N‑漂移区隔离。本发明有效抑制了高能带电粒子辐射导致的栅氧强电场,极大提高了沟槽型SiC MOSFET的抗单粒子栅穿能力。

    一种抗单粒子多位翻转的锁存器电路

    公开(公告)号:CN118631216A

    公开(公告)日:2024-09-10

    申请号:CN202410589270.4

    申请日:2024-05-13

    Abstract: 本发明涉及一种抗单粒子多位翻转的锁存器电路,该锁存器电路包括:时钟控制反相器电路,由时钟信号CK1、CK2控制时钟控制反相器电路的导通或关闭,在导通时将数据信号传输至锁存单元;锁存单元,从时钟控制反相器电路接收数据信号,通过控制时钟信号CK1、CK2进行数据信号的锁存;SEU监控单元,监测锁存单元内部数据敏感节点是否发生单粒子翻转,若被监测锁存单元出现单粒子翻转,则通过片选控制单元将数据通道切换至其他锁存单元;片选控制单元,根据SEU监控单元的监测结果控制锁存单元输出的开启或关闭;反相器电路,对片选控制单元输出的数据信号,或时钟信号进行反相;本发明具有良好的单粒子加固能力,可实现抗单粒子多位翻转。

    一种碳化硅场效应晶体管结构
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118571936A

    公开(公告)日:2024-08-30

    申请号:CN202410723612.7

    申请日:2024-06-05

    Abstract: 本发明涉及一种碳化硅场效应晶体管结构,属于功率半导体技术领域;包括漏极金属电极、N+衬底区、第一N‑漂移区、埋置P区、埋置N+区、埋置多晶硅、隔离介质层、第二N‑漂移区、P‑base区、N+源区、源极金属电极、栅极多晶硅和栅极氧化层;埋置N+区、隔离介质层横向交替设置在第一N‑漂移区与第二N‑漂移区之间,其中埋置N+区作为连接两者的导电通道;“U”型分布的埋置P区位于隔离介质层下方,内部设置有与源极金属电极相连接的埋置多晶硅。本发明结构有效降低了由于高能带电粒子轰击引起的栅极氧化层强电场,大幅提升了碳化硅场效应晶体管的抗单粒子辐射能力。

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