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公开(公告)号：CN116057199B
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202180058339.5
申请日：2021-07-15
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: C23C14/34
Abstract: 本发明提供一种旋转式阴极单元的驱动块，其不但具有容易进行磁盒对驱动块的组装和分解的结构，而且无需对配置在靶的内侧的部件例如实施特殊的防水处理就可进行供电。旋转式阴极单元(Rc)用的驱动块(DB)设置在旋转式阴极单元的靶的X轴线方向前端，并支撑靶，所述旋转式阴极单元具有：配置在真空气氛中的筒状的靶(Tg)；以及插入该靶内的内筒体(35)；所述驱动块具备向设置在内筒体内的部件供电的供电装置，具备中空管(4)，其具有配置在内筒体的轴线方向的延长线上的直线部(62)，供电装置具备机械分离的：与所述部件连接的受电部(811)；以及与电源电路连接的供电部(931)，受电部和供电部以彼此相对的状态配置在内筒体的轴线方向的前端部和直线部的轴线方向的后端部。
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公开(公告)号：CN111971415A
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN201980024156.4
申请日：2019-09-02
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明提供一种能够在真空处理装置中抑制在运送基板保持器时产生粉尘的技术，所述真空处理装置，具有以相对于铅垂面的投影形状呈连续的环状的方式形成的运送路径，并沿着该运送路径运送多个基板保持器。在本发明中，在具有以相对于铅垂面的投影形状呈连续的环状的方式形成的运送路径并形成有单一的真空环境气体的真空槽2内，具有安装在第一驱动部36上的防下垂构件35，第一驱动部36设置在该运送路径的相对于运送方向的外侧。防下垂构件35的行驶滚轮54被引导部17引导支撑来进行行驶，引导部17设置在回程侧运送部33c的下方并沿着第二运送方向P2延伸，回程侧运送部33c位于基板保持器运送机构3的下方侧，第一驱动部36与基板保持器11的第一被驱动部12接触，从而沿着运送路径向第二运送方向P2驱动基板保持器11。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111971415B
公开(公告)日：2023-02-17
申请号：CN201980024156.4
申请日：2019-09-02
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明提供一种能够在真空处理装置中抑制在运送基板保持器时产生粉尘的技术，所述真空处理装置，具有以相对于铅垂面的投影形状呈连续的环状的方式形成的运送路径，并沿着该运送路径运送多个基板保持器。在本发明中，在具有以相对于铅垂面的投影形状呈连续的环状的方式形成的运送路径并形成有单一的真空环境气体的真空槽2内，具有安装在第一驱动部36上的防下垂构件35，第一驱动部36设置在该运送路径的相对于运送方向的外侧。防下垂构件35的行驶滚轮54被引导部17引导支撑来进行行驶，引导部17设置在回程侧运送部33c的下方并沿着第二运送方向P2延伸，回程侧运送部33c位于基板保持器运送机构3的下方侧，第一驱动部36与基板保持器11的第一被驱动部12接触，从而沿着运送路径向第二运送方向P2驱动基板保持器11。
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公开(公告)号：CN114981470A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202180009850.6
申请日：2021-03-22
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: C23C14/35 , C23C14/34 , H01L21/285 , H01L21/363
Abstract: 本发明的课题在于实现膜厚分布的均匀化。在成膜方法中，使用至少3个以上的多个旋转靶对基板进行溅射成膜，旋转靶具有中心轴和靶面，并在内部具备能够绕中心轴旋转的磁铁。多个旋转靶配置为中心轴相互平行并且中心轴与基板平行。一边对多个旋转靶通电一边使多个旋转靶各自的磁铁绕中心轴在具有到基板最近的A点的圆弧上移动，一边对基板进行溅射成膜，多个旋转靶内的至少配置在两端的一对旋转靶的磁铁在圆弧上在比A点更远离基板的中心的区域进行成膜的时间比在比A点更靠近基板的中心的区域进行成膜的时间短。
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公开(公告)号：CN117334602A
公开(公告)日：2024-01-02
申请号：CN202310787283.8
申请日：2023-06-29
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明提供一种能够稳定地对真空室内的颗粒进行集尘的集尘方法。以至少表面被绝缘物覆盖的产物作为集尘用输送物(Gs)，在大气气氛中通过电离器使集尘用输送物的表面带正电位或负电位。将此时的带电电位设置为比由帕邢定律决定的放电开始电位更低的电位(带电工序)。将带电状态的集尘用输送物运输到真空气氛的真空处理室(Lc、Pc1～Pc3)，使存在于其内部的颗粒附着在集尘用输送物上(集尘工序)。
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公开(公告)号：CN116057199A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202180058339.5
申请日：2021-07-15
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: C23C14/34
Abstract: 本发明提供一种旋转式阴极单元的驱动块，其不但具有容易进行磁盒对驱动块的组装和分解的结构，而且无需对配置在靶的内侧的部件例如实施特殊的防水处理就可进行供电。旋转式阴极单元(Rc)用的驱动块(DB)设置在旋转式阴极单元的靶的X轴线方向前端，并支撑靶，所述旋转式阴极单元具有：配置在真空气氛中的筒状的靶(Tg)；以及插入该靶内的内筒体(35)；所述驱动块具备向设置在内筒体内的部件供电的供电装置，具备中空管(4)，其具有配置在内筒体的轴线方向的延长线上的直线部(62)，供电装置具备机械分离的：与所述部件连接的受电部(811)；以及与电源电路连接的供电部(931)，受电部和供电部以彼此相对的状态配置在内筒体的轴线方向的前端部和直线部的轴线方向的后端部。
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