公开(公告)号：CN111511956A

公开(公告)日：2020-08-07

申请号：CN201980007085.7

申请日：2019-06-12

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 阪上弘敏 ,  大野哲宏 ,  尾崎萌

IPC: C23C14/00

Abstract: 本发明提供能够抑制在真空处理时从配置于放电空间的防附着部件产生的微粒的技术。本发明是防止在真空处理时产生的物质向真空槽内附着的防附着部件(30)，具备框状的防附着主体部件(10)和保持防附着主体部件(10)的保持部件(20)。防附着主体部件(10)具有在基板的周围设置的板状的第一至第四构成部件1-4，并且第一至第四构成部件1-4在与真空槽内的放电空间相向的面相反侧的面上分别设有第一至第四勾挂部，第一至第四勾挂部用于勾挂并安装于在保持部件(20)设置的第一至第四钩部。

公开(公告)号：CN117334602A

公开(公告)日：2024-01-02

申请号：CN202310787283.8

申请日：2023-06-29

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 尾崎萌 ,  高木大 ,  大野哲宏

IPC: H01L21/67 ,  B03C3/32

Abstract: 本发明提供一种能够稳定地对真空室内的颗粒进行集尘的集尘方法。以至少表面被绝缘物覆盖的产物作为集尘用输送物(Gs)，在大气气氛中通过电离器使集尘用输送物的表面带正电位或负电位。将此时的带电电位设置为比由帕邢定律决定的放电开始电位更低的电位(带电工序)。将带电状态的集尘用输送物运输到真空气氛的真空处理室(Lc、Pc1～Pc3)，使存在于其内部的颗粒附着在集尘用输送物上(集尘工序)。

公开(公告)号：CN111511956B

公开(公告)日：2022-08-23

申请号：CN201980007085.7

申请日：2019-06-12

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 阪上弘敏 ,  大野哲宏 ,  尾崎萌

IPC: C23C14/00

Abstract: 本发明提供能够抑制在真空处理时从配置于放电空间的防附着部件产生的微粒的技术。本发明是防止在真空处理时产生的物质向真空槽内附着的防附着部件(30)，具备框状的防附着主体部件(10)和保持防附着主体部件(10)的保持部件(20)。防附着主体部件(10)具有在基板的周围设置的板状的第一至第四构成部件1‑4，并且第一至第四构成部件1‑4在与真空槽内的放电空间相向的面相反侧的面上分别设有第一至第四勾挂部，第一至第四勾挂部用于勾挂并安装于在保持部件(20)设置的第一至第四钩部。