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公开(公告)号：CN116057199A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202180058339.5
申请日：2021-07-15
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: C23C14/34
Abstract: 本发明提供一种旋转式阴极单元的驱动块，其不但具有容易进行磁盒对驱动块的组装和分解的结构，而且无需对配置在靶的内侧的部件例如实施特殊的防水处理就可进行供电。旋转式阴极单元(Rc)用的驱动块(DB)设置在旋转式阴极单元的靶的X轴线方向前端，并支撑靶，所述旋转式阴极单元具有：配置在真空气氛中的筒状的靶(Tg)；以及插入该靶内的内筒体(35)；所述驱动块具备向设置在内筒体内的部件供电的供电装置，具备中空管(4)，其具有配置在内筒体的轴线方向的延长线上的直线部(62)，供电装置具备机械分离的：与所述部件连接的受电部(811)；以及与电源电路连接的供电部(931)，受电部和供电部以彼此相对的状态配置在内筒体的轴线方向的前端部和直线部的轴线方向的后端部。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116057200B
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202180058390.6
申请日：2021-06-11
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明提供一种旋转式阴极单元的驱动块，其无需实施防水加工就可对内管内部件进行电力供给。具有绕轴线旋转驱动靶(Tg)的第1驱动装置(92)的旋转式阴极单元(Rc)用驱动块(DB)具有中空管(4)，所述中空管(4)具有从内管(3)向轴线方向延伸的直线部；第1内筒体(5)，其外套在中空管的直线部上，限定与内管内的冷媒循环通道(Fp2)连通的第1通道(Fp3)；第2内筒体(6)，其外套在第1内筒体上，限定与靶和内管之间的冷媒循环通道(Fp1)连通的第2通道(Fp4)；以及外筒体(7)，其经轴承(Br2)外嵌在第2内筒体上，与靶的轴线方向一端连结，传递来自驱动装置的动力；还具有隔绝装置(Sv1～Sv3)，其在内管一端连结中空管的状态下使彼此连通的内管和中空管的内部空间与真空气氛隔绝。
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公开(公告)号：CN116057199B
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202180058339.5
申请日：2021-07-15
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: C23C14/34
Abstract: 本发明提供一种旋转式阴极单元的驱动块，其不但具有容易进行磁盒对驱动块的组装和分解的结构，而且无需对配置在靶的内侧的部件例如实施特殊的防水处理就可进行供电。旋转式阴极单元(Rc)用的驱动块(DB)设置在旋转式阴极单元的靶的X轴线方向前端，并支撑靶，所述旋转式阴极单元具有：配置在真空气氛中的筒状的靶(Tg)；以及插入该靶内的内筒体(35)；所述驱动块具备向设置在内筒体内的部件供电的供电装置，具备中空管(4)，其具有配置在内筒体的轴线方向的延长线上的直线部(62)，供电装置具备机械分离的：与所述部件连接的受电部(811)；以及与电源电路连接的供电部(931)，受电部和供电部以彼此相对的状态配置在内筒体的轴线方向的前端部和直线部的轴线方向的后端部。
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公开(公告)号：CN116057200A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202180058390.6
申请日：2021-06-11
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: C23C14/34
Abstract: 本发明提供一种旋转式阴极单元的驱动块，其无需实施防水加工就可对内管内部件进行电力供给。具有绕轴线旋转驱动靶(Tg)的第1驱动装置(92)的旋转式阴极单元(Rc)用驱动块(DB)具有中空管(4)，所述中空管(4)具有从内管(3)向轴线方向延伸的直线部；第1内筒体(5)，其外套在中空管的直线部上，限定与内管内的冷媒循环通道(Fp2)连通的第1通道(Fp3)；第2内筒体(6)，其外套在第1内筒体上，限定与靶和内管之间的冷媒循环通道(Fp1)连通的第2通道(Fp4)；以及外筒体(7)，其经轴承(Br2)外嵌在第2内筒体上，与靶的轴线方向一端连结，传递来自驱动装置的动力；还具有隔绝装置(Sv1～Sv3)，其在内管一端连结中空管的状态下使彼此连通的内管和中空管的内部空间与真空气氛隔绝。
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公开(公告)号：CN105555996B
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201480047603.5
申请日：2014-09-17
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: C23C14/34
CPC classification number: C23C14/34 , C23C14/568 , H01J37/32908 , H01J37/342 , H01J37/3435 , H01J37/3444
Abstract: 基板处理装置具备框体(21)以及位于框体内部的中空的摆动臂(23)。摆动臂包括与框体连接的中空的摆动中心轴部(23a)以及作为摆动端的中空的连结轴部(23b)。进一步，基板处理装置具备处理部(22)，该处理部(22)位于框体内部，并且在与基板面对的处理空间，沿与摆动中心轴部的轴向(P)正交的方向移动而对基板实施处理。处理部以追随处理部的移动而使连结轴部(23b)能够与处理部平移的方式与连结轴部连结。因此，通过处理部(22)的移动而使摆动臂线路，该连接线路位于摆动臂(23)内部，通过摆动中心轴部(23a)内部而与位于框体外部的共用设备连接、且通过连结轴部(23b)内部而与处理部连接。(23)进行摆动。进一步，基板处理装置具备连接
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公开(公告)号：CN105555996A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201480047603.5
申请日：2014-09-17
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: C23C14/34
CPC classification number: C23C14/34 , C23C14/568 , H01J37/32908 , H01J37/342 , H01J37/3435 , H01J37/3444
Abstract: 基板处理装置具备框体(21)以及位于框体内部的中空的摆动臂(23)。摆动臂包括与框体连接的中空的摆动中心轴部(23a)以及作为摆动端的中空的连结轴部(23b)。进一步，基板处理装置具备处理部(22)，该处理部(22)位于框体内部，并且在与基板面对的处理空间，沿与摆动中心轴部的轴向(P)正交的方向移动而对基板实施处理。处理部以追随处理部的移动而使连结轴部(23b)能够与处理部平移的方式与连结轴部连结。因此，通过处理部(22)的移动而使摆动臂(23)进行摆动。进一步，基板处理装置具备连接线路，该连接线路位于摆动臂(23)内部，通过摆动中心轴部(23a)内部而与位于框体外部的共用设备连接、且通过连结轴部(23b)内部而与处理部连接。
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