公开(公告)号：CN102947481A

公开(公告)日：2013-02-27

申请号：CN201080067571.7

申请日：2010-06-21

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 加藤裕子 ,  菊池正志 ,  龟崎厚治 ,  冈山智彦 ,  堀英介 ,  小泉和彦

IPC: C23C14/50

CPC classification number: C23C16/4585 ,  H01L21/68707 ,  H01L21/68742

Abstract: 提供在真空中使基板迅速反转的技术。本发明的基板反转装置（20）具有：在作为真空槽的腔室（21）内使基板（50）升降的升降机构（60）；具有以夹持基板（50）的方式保持基板的把持部（41a、42a）的基板保持机构（4A～4D）；以及使基板保持机构（4A～4D）的把持部（41a、42a）旋转来使基板（50）的上下关系反转的基板旋转机构（30）。在本发明中，在保持基板（50）的状态下，使基板旋转机构（30）以沿水平方向延伸的直线为旋转轴旋转180°。

公开(公告)号：CN107710397B

公开(公告)日：2021-02-19

申请号：CN201680034320.6

申请日：2016-06-07

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 织部爱美 ,  萩原宗源 ,  梅村博文 ,  糟谷宪昭 ,  小池润一郎 ,  小泉和彦 ,  藤野英二

IPC: H01L21/683 ,  C23C14/04

Abstract: 本发明提供一种能够确保掩膜与基板之间的紧贴性的基板保持装置。基板保持装置(30)具有掩膜板(311)、中间板(32)、保持板(33)和推压机构(34)。掩膜板(311)由磁性材料构成。中间板(32)构成为，具有与掩膜板(311)相向的第1表面、和与所述第1表面相反一侧的第2表面，所述第1表面能够与配置于掩膜板(311)上的基板(W)接触。保持板(33)以中间板(32)能够在与掩膜板(311)正交的轴向上作相对移动的方式支承该中间板(32)，并且具有磁铁(331)，该磁铁(331)构成为，能够隔着中间板(32)和基板(W)对掩膜板(311)进行磁吸附。推压机构(34)与所述第2表面相向配置，且其构成为能够沿所述轴向对所述第2表面的至少局部进行推压。

公开(公告)号：CN108138309B

公开(公告)日：2020-08-14

申请号：CN201680058441.4

申请日：2016-10-05

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 关根元气 ,  三上瞬 ,  小泉和彦 ,  山田新悦 ,  柳泽伸二 ,  小清水孝治 ,  樋口淳

IPC: C23C14/24

Abstract: 本发明的一个方式所涉及的材料供给装置具有材料供给室、熔化炉、至少一个容器、供给单元、以及输送单元。上述材料供给室设置在蒸镀室的外部，构成为能够维持成减压环境。上述熔化炉设置在上述材料供给室，将蒸发材料熔化。上述容器对在上述熔化炉中熔化的上述蒸发材料的熔融液进行收容。上述供给单元安装在上述熔化炉，从上述熔化炉向上述容器供给上述熔融液。上述输送单元构成为能够将从上述供给单元供给并在上述容器内凝固了的上述蒸发材料的铸块连同上述容器一起向上述蒸镀室输送。

公开(公告)号：CN108138309A

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201680058441.4

申请日：2016-10-05

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 关根元气 ,  三上瞬 ,  小泉和彦 ,  山田新悦 ,  柳泽伸二 ,  小清水孝治 ,  樋口淳

IPC: C23C14/24

Abstract: 本发明的一个方式所涉及的材料供给装置具有材料供给室、熔化炉、至少一个容器、供给单元、以及输送单元。上述材料供给室设置在蒸镀室的外部，构成为能够维持成减压环境。上述熔化炉设置在上述材料供给室，将蒸发材料熔化。上述容器对在上述熔化炉中熔化的上述蒸发材料的熔融液进行收容。上述供给单元安装在上述熔化炉，从上述熔化炉向上述容器供给上述熔融液。上述输送单元构成为能够将从上述供给单元供给并在上述容器内凝固了的上述蒸发材料的铸块连同上述容器一起向上述蒸镀室输送。

公开(公告)号：CN107710397A

公开(公告)日：2018-02-16

申请号：CN201680034320.6

申请日：2016-06-07

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 织部爱美 ,  萩原宗源 ,  梅村博文 ,  糟谷宪昭 ,  小池润一郎 ,  小泉和彦 ,  藤野英二

IPC: H01L21/683 ,  C23C14/04

Abstract: 本发明提供一种能够确保掩膜与基板之间的紧贴性的基板保持装置。基板保持装置(30)具有掩膜板(311)、中间板(32)、保持板(33)和推压机构(34)。掩膜板(311)由磁性材料构成。中间板(32)构成为，具有与掩膜板(311)相向的第1表面、和与所述第1表面相反一侧的第2表面，所述第1表面能够与配置于掩膜板(311)上的基板(W)接触。保持板(33)以中间板(32)能够在与掩膜板(311)正交的轴向上作相对移动的方式支承该中间板(32)，并且具有磁铁(331)，该磁铁(331)构成为，能够隔着中间板(32)和基板(W)对掩膜板(311)进行磁吸附。推压机构(34)与所述第2表面相向配置，且其构成为能够沿所述轴向对所述第2表面的至少局部进行推压。