公开(公告)号：CN102947481A

公开(公告)日：2013-02-27

申请号：CN201080067571.7

申请日：2010-06-21

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 加藤裕子 ,  菊池正志 ,  龟崎厚治 ,  冈山智彦 ,  堀英介 ,  小泉和彦

IPC: C23C14/50

CPC classification number: C23C16/4585 ,  H01L21/68707 ,  H01L21/68742

Abstract: 提供在真空中使基板迅速反转的技术。本发明的基板反转装置（20）具有：在作为真空槽的腔室（21）内使基板（50）升降的升降机构（60）；具有以夹持基板（50）的方式保持基板的把持部（41a、42a）的基板保持机构（4A～4D）；以及使基板保持机构（4A～4D）的把持部（41a、42a）旋转来使基板（50）的上下关系反转的基板旋转机构（30）。在本发明中，在保持基板（50）的状态下，使基板旋转机构（30）以沿水平方向延伸的直线为旋转轴旋转180°。