公开(公告)号：CN108138309B

公开(公告)日：2020-08-14

申请号：CN201680058441.4

申请日：2016-10-05

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 关根元气 ,  三上瞬 ,  小泉和彦 ,  山田新悦 ,  柳泽伸二 ,  小清水孝治 ,  樋口淳

IPC: C23C14/24

Abstract: 本发明的一个方式所涉及的材料供给装置具有材料供给室、熔化炉、至少一个容器、供给单元、以及输送单元。上述材料供给室设置在蒸镀室的外部，构成为能够维持成减压环境。上述熔化炉设置在上述材料供给室，将蒸发材料熔化。上述容器对在上述熔化炉中熔化的上述蒸发材料的熔融液进行收容。上述供给单元安装在上述熔化炉，从上述熔化炉向上述容器供给上述熔融液。上述输送单元构成为能够将从上述供给单元供给并在上述容器内凝固了的上述蒸发材料的铸块连同上述容器一起向上述蒸镀室输送。

公开(公告)号：CN108138309A

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201680058441.4

申请日：2016-10-05

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 关根元气 ,  三上瞬 ,  小泉和彦 ,  山田新悦 ,  柳泽伸二 ,  小清水孝治 ,  樋口淳

IPC: C23C14/24

Abstract: 本发明的一个方式所涉及的材料供给装置具有材料供给室、熔化炉、至少一个容器、供给单元、以及输送单元。上述材料供给室设置在蒸镀室的外部，构成为能够维持成减压环境。上述熔化炉设置在上述材料供给室，将蒸发材料熔化。上述容器对在上述熔化炉中熔化的上述蒸发材料的熔融液进行收容。上述供给单元安装在上述熔化炉，从上述熔化炉向上述容器供给上述熔融液。上述输送单元构成为能够将从上述供给单元供给并在上述容器内凝固了的上述蒸发材料的铸块连同上述容器一起向上述蒸镀室输送。